一種光刻膠吹涂裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光刻膠涂覆領(lǐng)域，具體涉及一種光刻膠吹涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在光刻膠涂覆領(lǐng)域，普遍采取甩膠機(jī)進(jìn)行光刻膠涂覆，該類裝置需將基底裝夾在甩膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)主軸上，并在基底上放入適量光刻膠，開啟甩膠機(jī)后產(chǎn)生繞中心的高速旋轉(zhuǎn)，利用旋轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生的離心力在基底上均勻涂覆一層光刻膠。這種傳統(tǒng)的甩膠設(shè)備適用于平面工藝，針對(duì)具有復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)的三維基底，由于基底各處膠層所受力的大小、方向不一致，傳統(tǒng)的甩膠機(jī)不能實(shí)現(xiàn)光刻膠的均勻涂覆，限制了光刻工藝在具有復(fù)雜曲面三維結(jié)構(gòu)方面的使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了實(shí)現(xiàn)具有復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)三維基底的均勻涂膠，同時(shí)也適用于平面基底的光刻膠涂覆，本實(shí)用新型提供一種光刻膠吹涂裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:
[0005]本實(shí)用新型的光刻膠吹涂裝置，其特點(diǎn)是，所述的裝置含有滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組、滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、擠膠機(jī)構(gòu)、滴膠器、吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組、吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸、氣管、減壓閥、壓縮空氣噴嘴、偏轉(zhuǎn)電機(jī)、空壓機(jī)組、容膠池、底座，其中，擠膠機(jī)構(gòu)包括拉桿、應(yīng)變片。其連接關(guān)系是，所述的底座外形為凹狀，底座兩方凸出的部分對(duì)稱設(shè)置。底座凸出的一方依次設(shè)置有與底座底面平行的滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸，所述的滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸外側(cè)與滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組的齒輪連接，其中滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組由電機(jī)、軸承和齒輪組成，滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸的中心軸設(shè)置有拉桿，拉桿的頂端連接有應(yīng)變片，滴膠器嵌入在滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸的內(nèi)側(cè)端頭。在滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)拉桿的旋轉(zhuǎn)電機(jī)。底座凸出的另一方依次設(shè)置有與底座底面平行的吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸，吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸的外側(cè)與吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組的齒輪連接，其中吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組由電機(jī)、軸承和齒輪組成，吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸的內(nèi)側(cè)端頭設(shè)有壓縮空氣噴嘴，壓縮空氣噴嘴的上方與偏轉(zhuǎn)電機(jī)固定連接，下方設(shè)置有減壓閥。所述的吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸與滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸對(duì)應(yīng)設(shè)置，端頭相對(duì)。所述的空壓機(jī)組設(shè)置在底座內(nèi)，空壓機(jī)組通過氣管與壓縮空氣噴嘴連接。在底座的凹處設(shè)置有容膠池，容膠池為“W”型結(jié)構(gòu)，容膠池中心設(shè)置有用于安裝工件的凸起部分，容膠池內(nèi)四周設(shè)置有用于收集散落光刻膠的凹陷處。
[0006]所述的滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、拉桿為同軸心設(shè)置。
[0007]本實(shí)用新型中的滴膠器向工件表面滴涂光刻膠，壓縮空氣噴嘴向光刻膠表面吹送壓縮空氣，控制膠層厚度。滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組驅(qū)動(dòng)其帶動(dòng)滴膠器運(yùn)動(dòng)至目標(biāo)位置。旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)擠膠機(jī)構(gòu)沿水平方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)擠膠機(jī)構(gòu)末端擠壓滴膠器外部，擠出儲(chǔ)存在滴膠器內(nèi)部的光刻膠，滴落在工件表面。吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組驅(qū)動(dòng)其帶動(dòng)壓縮空氣噴嘴運(yùn)動(dòng)至目標(biāo)位置。偏轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)壓縮空氣噴嘴轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)出風(fēng)口的方向。氣管連接空壓機(jī)組和壓縮空氣噴嘴，設(shè)置在壓縮空氣噴嘴上的減壓閥調(diào)節(jié)出風(fēng)口的空氣壓力。
[0008]本實(shí)用新型中的滴膠器進(jìn)行工件表面的滴膠，其中滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組驅(qū)動(dòng)滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)行軸、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸在兩個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)滴膠器到達(dá)指定區(qū)域，滴膠器由軟材料制成，內(nèi)部?jī)?chǔ)存光刻膠，頂部加蓋密封，下部開孔，擠膠機(jī)構(gòu)壓縮滴膠器外部，光刻膠沿滴膠器下部通孔處滴落，使工件表面覆蓋一層光刻膠。通過滴膠器涂覆在工件表面的光刻膠厚度存在不均勻分布，厚度的不均勻分布通過向膠層表面吹送壓縮空氣進(jìn)行解決。由吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組驅(qū)動(dòng)吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸、吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸，帶動(dòng)壓縮空氣噴嘴到指定區(qū)域，通過氣管將空壓機(jī)組產(chǎn)生的壓縮氣體導(dǎo)入到壓縮空氣噴嘴，實(shí)現(xiàn)指定區(qū)域的壓縮氣體吹送，并設(shè)置偏轉(zhuǎn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)壓縮空氣噴口調(diào)整氣流方向，設(shè)置與氣路連接的減壓閥調(diào)節(jié)出氣口的氣體壓力。
[0009]本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)平面、復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)三維基底的均勻涂膠，具有功能強(qiáng)、應(yīng)用范圍廣等特點(diǎn)。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的光刻膠吹涂裝置的主視圖；
[0011]圖中，1.滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組2.滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸3.滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸4.旋轉(zhuǎn)電機(jī)5.拉桿6.滴膠器7.吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組8.吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸9.吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸10.氣管11.減壓閥12.壓縮空氣噴嘴13.偏轉(zhuǎn)電機(jī)14.空壓機(jī)組15.容膠池16.底座17.應(yīng)變片18.工件。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作具體描述。
[0013]實(shí)施例1
[0014]圖1為本實(shí)用新型的光刻膠吹涂裝置的主視圖。在圖1中，本實(shí)用新型的光刻膠吹涂裝置，含有滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組1、滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸3、旋轉(zhuǎn)電機(jī)4、擠膠機(jī)構(gòu)、滴膠器6、吹氣平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組7、吹氣平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸8、吹氣平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸9、氣管10、減壓閥11、壓縮空氣噴嘴12、偏轉(zhuǎn)電機(jī)13、空壓機(jī)組14、容膠池15、底座16，其中，擠膠機(jī)構(gòu)包括拉桿5、應(yīng)變片17。其連接關(guān)系是，所述的底座16外形為凹狀，底座16兩方凸出的部分對(duì)稱設(shè)置。底座16凸出的一方依次設(shè)置有與底座16底面平行的滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸3，所述的滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2、滴膠平臺(tái)垂直方向直線運(yùn)動(dòng)軸3外側(cè)與滴膠平臺(tái)二維直線驅(qū)動(dòng)機(jī)組1的齒輪連接，滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2的中心軸設(shè)置有拉桿5，拉桿5的頂端連接有應(yīng)變片17，滴膠器6嵌入在滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2的內(nèi)側(cè)端頭。在滴膠平臺(tái)水平方向直線運(yùn)動(dòng)軸2上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)拉桿5的旋轉(zhuǎn)電機(jī)4。底座16凸出的另一方依次設(shè)置有與底座1