一種集成電路防腐蝕研磨劑的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及研磨劑領(lǐng)域，尤其涉及一種集成電路防腐蝕研磨劑。
【背景技術(shù)】
[0002]集成電路蝕研磨劑是集成電路生產(chǎn)與制造的重要組成，但是現(xiàn)有的集成電路蝕研磨劑的防腐蝕性能較差，無(wú)法達(dá)到用戶的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種集成電路防腐蝕研磨劑。
[0004]本發(fā)明所采用的技術(shù)解決方案是一種集成電路防腐蝕研磨劑，包括氧化鋁和水性介質(zhì)，還加入了二氧化氯10-15份、氫氧化鈣1-5份、多聚甲醛5-10份、除油粉1-5份。
[0005]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所具有的有益效果為:本發(fā)明通過(guò)加入二氧化氯、氫氧化鈣、多聚甲醛、除油粉，使得該發(fā)明具有良好的防腐蝕性能的優(yōu)點(diǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0006]本發(fā)明詳細(xì)內(nèi)容結(jié)合實(shí)施例加以說(shuō)明:
實(shí)施例1: 一種集成電路防腐蝕研磨劑，包括氧化鋁和水性介質(zhì)，還加入了二氧化氯15份、氫氧化鈣5份、多聚甲醛10份、除油粉5份。
[0007]實(shí)施例2: —種集成電路防腐蝕研磨劑，包括氧化鋁和水性介質(zhì)，還加入了二氧化氯10份、氫氧化鈣I份、多聚甲醛5份、除油粉I份。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種集成電路防腐蝕研磨劑，包括氧化鋁和水性介質(zhì)，其特征在于:還加入了二氧化氯10-15份、氫氧化鈣1-5份、多聚甲醛5-10份、除油粉1-5份。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路防腐蝕研磨劑，其特征在于:其中除油粉2-4份。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種集成電路防腐蝕研磨劑。本發(fā)明所采用的技術(shù)解決方案是一種集成電路防腐蝕研磨劑，包括氧化鋁和水性介質(zhì)，還加入了二氧化氯10-15份、氫氧化鈣1-5份、多聚甲醛5-10份、除油粉1-5份。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所具有的有益效果為：本發(fā)明通過(guò)加入二氧化氯、氫氧化鈣、多聚甲醛、除油粉，使得該發(fā)明具有良好的防腐蝕性能的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C09K3/14
【公開(kāi)號(hào)】CN105623598
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410622064
【發(fā)明人】楊博葳
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)信達(dá)信息科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2014年11月7日