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一種石墨膜燒結(jié)爐的制作方法

文檔序號:9104616閱讀:445來源:國知局
一種石墨膜燒結(jié)爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及燒結(jié)爐技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種石墨膜燒結(jié)爐。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,以及數(shù)碼產(chǎn)品如手機(jī)、平板電腦等對便攜性能提出越來越高的要求,這使得相關(guān)廠家迫切需要提高電子產(chǎn)品內(nèi)部空間的利用率。但是,當(dāng)提高電子產(chǎn)品內(nèi)部空間利用率時,會使得電子產(chǎn)品內(nèi)部元件變得緊湊,導(dǎo)致在運行中所產(chǎn)生的熱量不易排出。沒有及時排出的熱量會迅速積累形成高溫,高溫會降低電子產(chǎn)品性能和可靠性,并會縮短電子產(chǎn)品的壽命。
[0003]因此,當(dāng)前電子行業(yè)對作為熱控系統(tǒng)核心部件的散熱材料提出越來越高的要求,并迫切需要一種能夠迅速將電子產(chǎn)品內(nèi)部熱量傳遞出去的輕便、高效的導(dǎo)熱材料,以保障電子設(shè)備的正常運行。傳統(tǒng)的散熱材料有銅、銀、鋁等高導(dǎo)熱的金屬,但是隨著電子元件發(fā)熱量的提高,這類金屬導(dǎo)熱材料已無法滿足電子產(chǎn)品散熱的需求。
[0004]石墨膜由于其更高的導(dǎo)熱系數(shù)、較低的密度及良好的材料穩(wěn)定性,而逐漸在電子行業(yè)里得到越來越廣泛的應(yīng)用。人工制造的石墨膜通常由超高溫的燒結(jié)爐通過一系列工藝制備而成,而所用到的燒結(jié)爐會配備有用于抽真空和排氣的排氣管,但是,現(xiàn)有技術(shù)中燒結(jié)爐的排氣管一般設(shè)置簡單,排氣過程不能使燒結(jié)爐內(nèi)的氣流均勻流動,使得燒結(jié)出來的石墨膜質(zhì)量不佳。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種石墨膜燒結(jié)爐,能夠提高石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)的排氣效率,并使得爐內(nèi)的氣流均勻流動,以保證燒結(jié)出來的石墨膜的質(zhì)量。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]—種石墨膜燒結(jié)爐,包括爐體、過濾箱、第一排氣管以及第二排氣管,所述過濾箱設(shè)置于所述爐體腔內(nèi),所述第一排氣管和所述第二排氣管分別與所述過濾箱連通。該石墨膜燒結(jié)爐在傳統(tǒng)只有第一排氣管的燒結(jié)爐的基礎(chǔ)上,另外設(shè)置第二排氣管,提高石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)的排氣效率,加快了石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)氣體流動速度,使得石墨膜能夠均勻碳化結(jié)膜,以保證制備的石墨膜的質(zhì)量。
[0008]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述第一排氣管連接在所述過濾箱的下端,所述第二排氣管連接在所述過濾箱的上端。避免爐內(nèi)的氣體只從所述過濾箱的下端或上端流入過濾箱,防止氣體流動過于集中。連接于所述過濾箱下端的第一排氣管和連接于所述過濾箱上端的第二排氣管同時排氣,不僅提高了排氣的效率,還能使得爐內(nèi)的氣體流動更加均勻,以保證制備出來的石墨膜均勻統(tǒng)一,質(zhì)量穩(wěn)定。
[0009]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述第一排氣管包括第一排氣前管和第一排氣后管。通過兩段管的結(jié)構(gòu)代替原來的斜管,使得組裝容易,靈活,并易于拆卸清潔。
[0010]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述第二排氣管包括第二排氣前管和第二排氣后管。通過兩段管的結(jié)構(gòu)代替原來的斜管,使得組裝容易,靈活,并易于拆卸清潔。
[0011]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述石墨膜燒結(jié)爐還包括抗污栗和滑閥栗。所述抗污栗和滑閥栗為抽真空和排氣提供動力。
[0012]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述第一排氣管一端與所述過濾箱連通,另一端與所述抗污栗和滑閥栗連通。
[0013]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述第二排氣管一端與所述過濾箱連通,另一端與所述抗污栗和滑閥栗連通。
[0014]作為本實用新型一種石墨膜燒結(jié)爐的改進(jìn),所述石墨膜燒結(jié)爐還包括控制單元。
[0015]本實用新型的有益效果在于:提供一種石墨膜燒結(jié)爐,包括爐體、過濾箱、第一排氣管以及第二排氣管,所述過濾箱設(shè)置于所述爐體腔內(nèi),所述第一排氣管和所述第二排氣管分別與所述過濾箱連通。在傳統(tǒng)只有第一排氣管的燒結(jié)爐的基礎(chǔ)上,另外設(shè)置第二排氣管,提高石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)的排氣效率,加快了石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)氣體流動速度,使得石墨膜能夠均勻碳化結(jié)膜,以保證制備的石墨膜均勻統(tǒng)一,質(zhì)量穩(wěn)定。而且所提供的石墨膜燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)簡單,易于實現(xiàn),效果明顯。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中,1.爐體,2.過濾箱,3.第一排氣管,31.第一排氣前管,32.第一排氣后管,4.第二排氣管,41.第二排氣前管,42.第二排氣后管,5.抗污栗,6.滑閥栗,7.控制單元。
【具體實施方式】
[0018]下面將結(jié)合【具體實施方式】和說明書附圖對本實用新型及其有益效果作進(jìn)一步詳細(xì)說明,但是,本實用新型的【具體實施方式】并不局限于此。
[0019]如圖1所示,一種石墨膜燒結(jié)爐,包括爐體1、過濾箱2、第一排氣管3、第二排氣管4、抗污栗5、滑閥栗6以及控制單元7,過濾箱2設(shè)置于爐體I腔內(nèi),第一排氣管3包括第一排氣前管31和第一排氣后管32,第二排氣管4包括第二排氣前管41和第二排氣后管42,第一排氣管3的第一排氣前管31與過濾箱2的下端連通,第一排氣管3的第一排氣后管32與抗污栗5和滑閥栗6連通,第二排氣管4的第二排氣前管41與過濾箱2上端連通,第二排氣管4的第二排氣后管42與抗污栗5和滑閥栗6連通。
[0020]工作時,在控制單元7的控制下,抗污栗5和滑閥栗6為燒結(jié)爐的排氣提供動力,使得連接于所述過濾箱2下端的第一排氣管3和連接于所述過濾箱2上端的第二排氣管4同時排氣,不僅提高了排氣的效率,還能使得爐內(nèi)的氣體流動更加均勻,以保證制備出來的石墨膜均勻統(tǒng)一,質(zhì)量穩(wěn)定。
[0021]根據(jù)上述說明書的揭示和教導(dǎo),本實用新型所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還能夠?qū)ι鲜鰧嵤┓绞竭M(jìn)行變更和修改。因此,本實用新型并不局限于上述的【具體實施方式】,凡是本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實用新型的基礎(chǔ)上所作出的任何顯而易見的改進(jìn)、替換或變型均屬于本實用新型的保護(hù)范圍。此外,盡管本說明書中使用了一些特定的術(shù)語,但這些術(shù)語只是為了方便說明,并不對本實用新型構(gòu)成任何限制。
【主權(quán)項】
1.一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:包括爐體、過濾箱、第一排氣管以及第二排氣管,所述過濾箱設(shè)置于所述爐體腔內(nèi),所述第一排氣管和所述第二排氣管分別與所述過濾箱連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:所述第一排氣管連接在所述過濾箱的下端,所述第二排氣管連接在所述過濾箱的上端。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:所述第一排氣管包括第一排氣前管和第一排氣后管。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:所述第二排氣管包括第二排氣前管和第二排氣后管。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:還包括抗污栗和滑閥栗。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:所述第一排氣管的一端與所述過濾箱連通,另一端與所述抗污栗和滑閥栗連通。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:所述第二排氣管的一端與所述過濾箱連通,另一端與所述抗污栗和滑閥栗連通。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨膜燒結(jié)爐,其特征在于:還包括控制單元。
【專利摘要】本實用新型涉及燒結(jié)爐技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種石墨膜燒結(jié)爐,包括爐體、過濾箱、第一排氣管以及第二排氣管,所述過濾箱設(shè)置于所述爐體腔內(nèi),所述第一排氣管和所述第二排氣管分別與所述過濾箱連通。在實用新型提供的石墨膜燒結(jié)爐在傳統(tǒng)只有第一排氣管的燒結(jié)爐的基礎(chǔ)上,另外設(shè)置第二排氣管,提高石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)的排氣效率,加快了石墨膜燒結(jié)爐內(nèi)氣體流動速度,使得石墨膜能夠均勻碳化結(jié)膜,以保證制備的石墨膜均勻統(tǒng)一,質(zhì)量穩(wěn)定。而且該石墨膜燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)簡單,易于實現(xiàn),效果明顯。
【IPC分類】F27B5/16
【公開號】CN204757651
【申請?zhí)枴緾N201520417972
【發(fā)明人】朱全紅, 周招團(tuán)
【申請人】東莞市鴻億導(dǎo)熱材料有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年6月17日
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