半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工裝置領(lǐng)域，特別提供了一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，是一種要求能長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，具有優(yōu)異的控溫精度及良好的可靠性、穩(wěn)定性的自動(dòng)控制設(shè)備，適用于集成電路制造過(guò)程中各種氧化、退火和薄膜生長(zhǎng)等工藝。
[0003]目前國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備大多是臥式結(jié)構(gòu)的，其各項(xiàng)功能的控制精度、靈活性和自動(dòng)化程度等需要改進(jìn)。特別是石英舟進(jìn)出爐的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)自動(dòng)化程度低、污染工藝環(huán)境，無(wú)法滿足300_工藝的需求，因此需要改進(jìn)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備。
[0004]現(xiàn)有的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置大多如專利300mm立式氧化爐石英舟旋轉(zhuǎn)裝置(專利號(hào):CN101813410A)，該石英舟旋轉(zhuǎn)裝置在工藝門的下方設(shè)有密封腔，采用氣體密封的方式，配套結(jié)構(gòu)復(fù)雜，占用空間大，支撐石英舟的為一根固定轉(zhuǎn)軸，固定軸的下方設(shè)有同步帶輪，在電機(jī)的帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)自身的旋轉(zhuǎn)。由于滿載硅片的石英舟重量較大，因此，僅采用一根固定軸的支撐，支撐剛性較低，不容易保證石英舟的水平性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0006]本實(shí)用新型要解決的是現(xiàn)有采用氮?dú)饷芊獾姆绞绞⒅坌D(zhuǎn)裝置，雖然密封性較好，但是支撐剛性不足，結(jié)構(gòu)不緊湊，占空間大，石英舟旋轉(zhuǎn)的控制精度不足的技術(shù)問(wèn)題。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置，用于帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤及旋轉(zhuǎn)盤上的石英舟旋轉(zhuǎn)，包括旋轉(zhuǎn)軸、軸套以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);所述軸套與固定機(jī)構(gòu)連接;所述旋轉(zhuǎn)軸由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，中部插設(shè)在所述軸套中，頂部與所述旋轉(zhuǎn)盤連接;所述軸套內(nèi)設(shè)有極靴，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述軸套之間通過(guò)磁流體密封。
[0009]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接板、電機(jī)、第一同步帶輪、第二同步帶輪以及齒形帶，所述連接板與所述軸套連接，所述電機(jī)通過(guò)所述連接板安裝在所述軸套的側(cè)方;所述第一同步帶輪設(shè)置在所述電機(jī)的輸出軸上，所述第二同步帶輪設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸的底部，所述第一同步帶輪與所述第二同步帶輪之間通過(guò)所述齒形帶傳動(dòng)連接。
[0010]優(yōu)選的，還包括爐門；所述軸套的頂部設(shè)有法蘭，所述爐門為環(huán)形，所述爐門套設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸的頂部外、并位于所述旋轉(zhuǎn)盤與所述法蘭之間，且與所述法蘭連接，所述爐門內(nèi)設(shè)有水冷腔，所述水冷腔內(nèi)設(shè)有循環(huán)的冷卻水。
[0011]優(yōu)選的，還包括緩沖機(jī)構(gòu)，所述爐門的底部設(shè)有環(huán)狀的滑道;所述固定機(jī)構(gòu)包括夾持端和固定端，所述加持端夾設(shè)在軸套的中部外，所述固定端與固定基體連接;所述緩沖機(jī)構(gòu)為三組，三組所述緩沖機(jī)構(gòu)在所述軸套外圓周均布，每組所述緩沖機(jī)構(gòu)均包括彈簧、彈簧腔以及活塞塊，所述彈簧腔為筒狀結(jié)構(gòu)，豎直設(shè)置在所述加持端上，所述彈簧設(shè)置在所述彈簧腔內(nèi)，所述彈簧的底端抵在所述加持端上，所述活塞塊滑動(dòng)設(shè)置在所述彈簧腔內(nèi)，并與所述彈簧的另一端相抵，所述活塞塊的頂面上設(shè)有凸塊，所述凸塊探出于所述彈簧腔，并滑動(dòng)插設(shè)在所述滑道內(nèi)。
[0012]優(yōu)選的，所述爐門的底部設(shè)有凹槽，所述凹槽用于與所述凸塊插接配合以對(duì)所述凸塊形成固定。
[0013]優(yōu)選的，還包括光電傳感器，所述連接板向下延伸出有支架，所述光電傳感器通過(guò)所述支架設(shè)置在所述第一同步帶輪的側(cè)方，所述第一同步帶輪向側(cè)方延伸出有擋片，在所述第一同步帶輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述擋片經(jīng)過(guò)所述光電傳感器的待檢測(cè)區(qū)域。
[0014](三)有益效果
[0015]本實(shí)用新型提供的一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置，用于帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤及旋轉(zhuǎn)盤上的石英舟旋轉(zhuǎn)，該裝置包括旋轉(zhuǎn)軸、軸套以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);軸套與固定機(jī)構(gòu)連接;旋轉(zhuǎn)軸由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，中部插設(shè)在軸套中，頂部與旋轉(zhuǎn)盤連接;軸套內(nèi)設(shè)有極靴，旋轉(zhuǎn)軸與軸套之間通過(guò)磁流體密封。當(dāng)把磁流體注入到由高性能的永久磁鐵，導(dǎo)磁良好的極靴與旋轉(zhuǎn)軸I所構(gòu)成的磁回路間隙中，在磁場(chǎng)的作用下，磁流體在間隙中形成數(shù)個(gè)液態(tài)的“O”型圈，從而起到密封作用，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中采用如氣密封結(jié)構(gòu)等方式，本裝置運(yùn)行靈活精確，平穩(wěn)可靠，保證工藝效果好的前提下，使其具備高剛性、高可靠性、結(jié)構(gòu)緊湊和占據(jù)空間小等特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置的軸側(cè)視圖。
[0017]圖2是圖1的半剖圖。
[0018]圖3是動(dòng)力機(jī)構(gòu)的示意圖。
[0019]附圖標(biāo)記:
[0020]1、旋轉(zhuǎn)軸;2、旋轉(zhuǎn)盤;3、爐門；4、電機(jī);41、連接板;42、安裝板;5、固定機(jī)構(gòu);6、緩沖機(jī)構(gòu);7、軸套;81、第一同步帶輪;82、第二同步帶輪;83、齒形帶;84、支架;85、光電傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。
[0022]在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0023]結(jié)合圖1和圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟旋轉(zhuǎn)裝置，用于帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤2及旋轉(zhuǎn)盤2上的石英舟旋轉(zhuǎn)，該裝置包括旋轉(zhuǎn)軸1、軸套7以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);軸套7與固定機(jī)構(gòu)5連接;旋轉(zhuǎn)軸I由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，中部插設(shè)在軸套7中，頂部與旋轉(zhuǎn)盤2連接;軸套7內(nèi)設(shè)有極靴，旋轉(zhuǎn)軸I與軸套7之間通過(guò)磁流體密封。
[0024]磁性流體是以液體形式存在的導(dǎo)磁材料，它是由直徑為10納米量級(jí)的導(dǎo)磁固體顆粒均勻分散到基載液中而形成的一種穩(wěn)定的液體，既具有液體的流動(dòng)性，又具有良好的導(dǎo)磁性。根據(jù)基載液的不同可分為酯基類、水基類、硅油基類等。磁性流體的密封原理就是利用磁流體對(duì)磁場(chǎng)的良好響應(yīng)特性而實(shí)現(xiàn)的。當(dāng)把磁流體注入到由高性能的永久磁鐵，導(dǎo)磁良好的極靴與旋轉(zhuǎn)軸I所構(gòu)成的磁回路間隙中，在磁場(chǎng)的作用下，磁流體在間隙中形成數(shù)個(gè)液態(tài)的“O”型圈，從而起到密封作用。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中采用如氣密封結(jié)構(gòu)等方式，本裝置利用磁流體密封形式，運(yùn)行靈活精確，平穩(wěn)可靠，保證工藝效果好的前提下