一種石英舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型提出一種結(jié)構(gòu)合理且不影響緊迫氧化擴(kuò)散的石英舟。
【背景技術(shù)】
[0002]石英舟是集成電路制作中晶片運(yùn)輸裝置；進(jìn)行集成電路的制作時，需要對行晶片進(jìn)行氧化擴(kuò)散；
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，傳輸裝置上的卡槽需要比晶片的厚度寬，放置卡片等問題的出現(xiàn)，因此導(dǎo)致在進(jìn)行晶片的運(yùn)輸過程中晶片在放置槽中處于各種的方向，直接影響氧化擴(kuò)散的均勻性和一致性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提出一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)輸裝置結(jié)構(gòu)不合理，影響晶片氧化擴(kuò)散的均勻性和一致性的問題。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0006]一種石英舟，包括:
[0007]用于與外部連接的支撐裝置；
[0008]用于放置晶片的若干第一槽棒，設(shè)置在支撐裝置上；
[0009]支撐架體，活動設(shè)置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直線運(yùn)動；
[0010]若干第二槽棒，分別設(shè)置在支撐架體兩側(cè)，且若干第二槽棒與若干第一槽棒平行設(shè)置。
[0011]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，第一槽棒包括:
[0012]第一槽桿，設(shè)置在支撐裝置上；
[0013]若干第一放置槽，設(shè)置在第一槽桿上。
[0014]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，第二槽棒包括:
[0015]第二槽桿，設(shè)置在支撐架體上；
[0016]若干第二放置槽，設(shè)置在第二槽桿上。
[0017]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，還包括:
[0018]第一定位裝置和第二定位裝置，設(shè)置在支撐裝置上，且若干第一槽棒置于第一定位裝置和第二定位裝置之間。
[0019]作為進(jìn)一步的技術(shù)方案，還包括:
[0020]用于限制支撐架體移動距離的第一限位裝置和第二限位裝置，活動設(shè)置在第一槽棒上。
[0021]本實(shí)用新型技術(shù)方案中通過第一槽棒和第二槽棒進(jìn)行晶片的放置，且在放置晶片后，進(jìn)行支撐架體的位置調(diào)整，由于第一槽棒設(shè)置在支撐架體上，因此支撐架體改變其在第一槽棒時，第一槽棒同樣進(jìn)行位置的改變，進(jìn)而使得晶片在第二槽棒和第一槽棒之間形成以角度，且能夠使得第一槽棒和第二槽棒之間的晶片設(shè)置方向及角度均相同，由此能夠更為均勻的進(jìn)行氧化擴(kuò)散。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1為本實(shí)用新型一種石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為俯視圖1后，石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為右視圖1后，石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中:
[0027]1、支撐裝置；2、第一槽棒；21、第一槽桿；22、第一放置槽；3、支撐架體；4、第二槽棒；41、第二槽桿；42、第二放置槽；51、第一定位裝置；52、第二定位裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0029]如圖1-3所示，本實(shí)用新型提出的一種石英舟，包括:
[0030]支撐裝置I與外部連接，本實(shí)用新型中與外部傳送裝置連接，通過支撐裝置I與外部裝置進(jìn)行固定，并通過運(yùn)輸帶動支撐裝置I進(jìn)行整體的傳送；
[0031]若干第一槽棒2設(shè)置在支撐裝置I上，在使用時，將晶片放置在第一槽棒2上；
[0032]其中，
[0033]第一槽棒2包括:第一槽桿21和若干第一放置槽22，該第一槽桿21設(shè)置在支撐裝置I上；若干第一放置槽22設(shè)置在第一槽桿21上；本實(shí)用新型中優(yōu)選的設(shè)置兩個第一槽棒2，則本實(shí)用新型中第一槽桿21具體為兩個，在兩個第一槽桿21上分別設(shè)置若干第一放置槽22 ;
[0034]支撐架體3活動設(shè)置在若干第一槽棒2上，并可在若干第一槽棒2上做直線運(yùn)動；
[0035]若干第二槽棒4分別設(shè)置在支撐架體3兩側(cè)，且若干第二槽棒4與若干第一槽棒2平行設(shè)置，在使用時與第一槽棒2共同使用進(jìn)行晶片的放置；且通過平行設(shè)置保證第二槽棒4與第一槽棒2同時放置晶片時，能夠更好的控制晶片的位置；
[0036]其中，
[0037]第二槽棒4包括:第二槽桿41和若干第二放置槽42，該第二槽桿41設(shè)置在支撐架體3上；若干第二放置槽42設(shè)置在第二槽桿41上，本實(shí)用新型中優(yōu)選的設(shè)置兩個第二槽桿41，分別設(shè)置在支撐架體3的兩側(cè)，在支撐架體3兩側(cè)的第一槽桿21上均設(shè)置有若干第二放置槽42 ;通過與第一放置槽22的配合實(shí)現(xiàn)晶片的防止；
[0038]工作階段，將晶片防止與第一槽棒2和第二槽棒4上，并調(diào)整支撐架體3在第一槽棒2上的位置，進(jìn)而通過支撐架體3調(diào)整第二槽棒4的位置，進(jìn)而使得晶片的上端產(chǎn)生位移，實(shí)現(xiàn)晶片呈一定角度放置在第一槽棒2和第二槽棒4上，且放置在第一槽棒2和第二槽棒4上的晶片會因為支撐架體3的調(diào)整其放置方向變?yōu)榻y(tǒng)一朝向，進(jìn)而使得在氧化擴(kuò)散是能夠保證其均勻性和一致性。
[0039]另外，
[0040]本實(shí)用新型中，還包括第一定位裝置51和第二定位裝置52，設(shè)置在支撐裝置I上，且若干第一槽棒2置于第一定位裝置51和第二定位裝置52之間；通過將第一定位裝置51和第二定位裝置52分別設(shè)置在第一槽棒2兩側(cè)的架體上，實(shí)現(xiàn)通過第一定位裝置51和第二定位裝置52控制并限制第一槽板的位置，避免其在支撐架體3的調(diào)整時出現(xiàn)變形，進(jìn)而造成第一槽棒2的損壞；
[0041]當(dāng)然為更好的控制支撐架體3的調(diào)整，本實(shí)用新型中，有限的設(shè)置第一限位裝置和第二限位裝置，該第一限位裝置和第二限位裝置活動設(shè)置在第一槽棒2上，用于限制支撐架體3移動距離；根據(jù)不同尺寸的晶片支撐架體3的調(diào)整距離相同，但是如果調(diào)整距離過大，有可能對晶片造成損壞，因此，本實(shí)用新型中通過第一限位裝置和第二限位裝置控制支撐架體3的調(diào)整距離；
[0042]該第一限位裝置和第二限位裝置分別設(shè)置在第一槽棒2的兩端，當(dāng)然根據(jù)需要可以在每個第一槽棒2上均設(shè)置第一限位裝置和第二限位裝置，且，第一限位裝置和第二限位裝置可以在第一槽棒2上動作，以保證支撐架體3能夠調(diào)整不同的距離，并在調(diào)整距離時能夠把卡住支撐架體3的位置，避免調(diào)整距離過大，對晶片造成損壞。
[0043]以上僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種石英舟，其特征在于，包括: 用于與外部連接的支撐裝置(I); 用于放置晶片的若干第一槽棒(2)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上； 支撐架體(3)，活動設(shè)置在若干所述第一槽棒(2)上，并可在若干所述第一槽棒(2)上做直線運(yùn)動； 若干第二槽棒，分別設(shè)置在所述支撐架體(3)兩側(cè)，且若干所述第二槽棒與若干所述第一槽棒(2)平行設(shè)置。2.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一槽棒(2)包括: 第一槽桿(21)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上； 若干第一放置槽(22)，設(shè)置在所述第一槽桿(21)上。3.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第二槽棒包括: 第二槽桿(41)，設(shè)置在所述支撐架體(3)上； 若干第二放置槽(42)，設(shè)置在所述第二槽桿(41)上。4.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，還包括: 第一定位裝置(51)和第二定位裝置(52)，設(shè)置在所述支撐裝置(I)上，且若干所述第一槽棒(2)置于所述第一定位裝置(51)和所述第二定位裝置(52)之間。5.如權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，還包括: 用于限制所述支撐架體(3)移動距離的第一限位裝置和第二限位裝置，活動設(shè)置在所述第一槽棒(2)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)輸裝置結(jié)構(gòu)不合理，影響晶片氧化擴(kuò)散的均勻性和一致性的問題；包括用于與外部連接的支撐裝置；用于放置晶片的若干第一槽棒，設(shè)置在支撐裝置上；支撐架體，活動設(shè)置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直線運(yùn)動；若干第二槽棒，分別設(shè)置在支撐架體兩側(cè)，且若干第二槽棒與若干第一槽棒平行設(shè)置，本實(shí)用新型提出的石英舟能夠使得第一槽棒和第二槽棒之間的晶片設(shè)置方向及角度均相同，由此能夠更為均勻的進(jìn)行氧化擴(kuò)散。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205177801
【申請?zhí)枴緾N201520845197
【發(fā)明人】張忠恕, 張娟, 陳強(qiáng), 孫云濤, 馮繼瑤, 邊占寧, 趙曉亮, 于洋, 李寶軍, 王笑波, 王連連, 張連興, 李翔星, 于立臣
【申請人】北京凱德石英股份有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年10月29日