一種固體樣品的直接分析裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種固體樣品的直接分析裝置，樣品池安裝在三維移動(dòng)平臺(tái)上，顯微成像系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)樣品池內(nèi)的固體樣品，皮秒激光器發(fā)出的激光束通過激光光學(xué)系統(tǒng)聚焦到樣品池內(nèi)的樣品表面，被激光燒蝕后產(chǎn)生的粒子經(jīng)過氣溶膠傳輸系統(tǒng)進(jìn)入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀中，其優(yōu)點(diǎn)是激光波長1064nm、532nm、355nm、266nm可選，脈沖寬度30ps，脈沖頻率20Hz，脈沖能量連續(xù)可調(diào)，266nm最大脈沖能量達(dá)3.0mJ；樣品池的位置三維可控，三通電磁閥切換的氣溶膠傳輸系統(tǒng)，傳輸管路短；采用非同軸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)樣品燒蝕位置的快速聚焦定位。分析低合金鋼、純銅和純鋁等中的各元素基本沒有元素分餾效應(yīng)，對(duì)鐵基、銅基、鋁基等中的各元素基本沒有基體效應(yīng)。
【專利說明】一種固體樣品的直接分析裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種成分分析裝置，尤其是涉及一種固體樣品的直接分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)是20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的一種以ICP作為離子源、一般以四極桿作為質(zhì)量分析器的元素和同位素分析技術(shù)。ICP-MS可進(jìn)行定性分析、半定量分析、定量分析、同位素比分析、與分離技術(shù)聯(lián)用的元素形態(tài)分析。ICP-MS檢出限低(PPt級(jí))，線性動(dòng)態(tài)范圍寬(可達(dá)9個(gè)數(shù)量級(jí))，譜圖相對(duì)簡單，精密度良好，檢測(cè)的質(zhì)量范圍6?260，幾乎可分析所有的元素，可替代原子吸收光譜法、電感耦合等離子體光譜法、X射線熒光光譜法及更多傳統(tǒng)的質(zhì)譜法，是一種強(qiáng)有力的無機(jī)元素分析工具。
[0003]ICP-MS沖破了傳統(tǒng)質(zhì)譜離子源需在高真空環(huán)境下工作的程序，ICP離子源是在常壓下進(jìn)樣，樣品更換很方便，并且液體、氣體、固體樣品都可以引入，因而ICP-MS的樣品引入方法有液體進(jìn)樣法、氣體進(jìn)樣法和固體進(jìn)樣法。
[0004]激光燒蝕(燒蝕、濺射、熔蝕)電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)(LA-1CP-MS, LaserAblation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry 的縮寫)是一種固體進(jìn)樣的電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)，隨著ICP-MS的產(chǎn)生和激光器的發(fā)展而得以產(chǎn)生和發(fā)展。
[0005]激光具有聞定向性、聞單色性和聞売度等特點(diǎn)，因而自I960年激光實(shí)現(xiàn)后不久，激光就曾被用于將提取物質(zhì)傳輸?shù)揭粋€(gè)電離源或原子化器，或被用作離子源，進(jìn)行了激光微光學(xué)發(fā)射光譜(LM-OES)和激光濺射質(zhì)譜(LA-MS)的研究，應(yīng)用于固體樣品中定性和定量元素分析。1981年有人將激光燒蝕采樣技術(shù)作為ICP-AES的樣品引入，1984年第一臺(tái)ICP-MS商品儀器問世，1985年Gray就首先發(fā)表了用于ICP-MS的激光濺射固體進(jìn)樣的文章，開創(chuàng)了 一個(gè)新的研究領(lǐng)域。
[0006]隨著激光器的不斷發(fā)展，采用激光直接氣化固體樣品的激光熔蝕固體進(jìn)樣技術(shù)(Laser Ablation)具有一等系列優(yōu)點(diǎn):(I)樣品和激發(fā)/檢測(cè)條件可以分開優(yōu)化，產(chǎn)生的信號(hào)僅依靠濺射出的質(zhì)量，(2)需要樣品量少(小)，能基本做到無損分析，(3)樣品制備簡單，(4)高樣品通量，(5)高的空間分辨率，具有微區(qū)分析的功能，(6)能進(jìn)行主量、次量、痕量元素的檢測(cè)，(7)能進(jìn)行同位素分析，(8)沒有溶劑和水引入ICP，譜圖更為簡單，(9)適用于所有的固體物質(zhì)(包括絕緣材料)。因而近幾年LA-1CP-MS技術(shù)得到飛速發(fā)展，正成為直接固體樣品分析的最主要技術(shù)。
[0007]對(duì)激光性能的研究主要是基于激光波長和脈沖寬度對(duì)燒蝕樣品基體效應(yīng)和分餾效應(yīng)研究的需要。在激光燒蝕進(jìn)樣中理解和消除基體效應(yīng)和分餾效應(yīng)已成為最主要的研究內(nèi)容。
[0008]最初Gray使用的是紅寶石(Ruby, 694nm)激光器,接著很多研究指出:較短的波長更適用于LA-1CP-MS，主要是能減少分餾效應(yīng)。因而二十幾年來，人們幾乎嘗試了各個(gè)可得波長的激光與ICP-MS聯(lián)用。Gui I long采用Nd: YAG激光器，在波長不一樣其它都相同的條件下，比較了 266nm、213nm、193nm激光的濺射情況，認(rèn)為:隨著激光波長變短，穿透深度變小，氣溶膠中粒度分布明顯變小，有利于氣溶膠在ICP中的蒸發(fā)、原子化和離子化，減少元素分餾效應(yīng)，提高與樣品傳輸和激發(fā)效率相關(guān)的靈敏度；不透明樣品對(duì)激光的吸收率要大于透明物質(zhì)；193nm能減少基體效應(yīng)。
[0009]雖然現(xiàn)在用于化學(xué)分析的商用激光系統(tǒng)采用納秒脈沖的Nd:YAG或準(zhǔn)分子激光器，但目前的研究趨勢(shì)是對(duì)皮秒和飛秒脈沖激光的研究。
[0010]本發(fā)明研制一套目前世界上尚沒有商品化的皮秒紫外激光燒蝕固體進(jìn)樣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)與ICP-MS聯(lián)用，并進(jìn)行調(diào)試和優(yōu)化，用于固定樣品的直接分析。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種利用皮秒激光對(duì)固體樣品進(jìn)行燒蝕的固體樣品的直接分析裝置。
[0012]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于包括皮秒激光器、激光光學(xué)系統(tǒng)、樣品池、三維移動(dòng)平臺(tái)、顯微成像系統(tǒng)、氣溶膠傳輸系統(tǒng)和電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，所述的樣品池安裝在三維移動(dòng)平臺(tái)上，顯微成像系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)樣品池內(nèi)的固體樣品，皮秒激光器發(fā)出的激光束通過激光光學(xué)系統(tǒng)聚焦到樣品池內(nèi)的樣品表面，被激光燒蝕后產(chǎn)生的粒子經(jīng)過氣溶膠傳輸系統(tǒng)進(jìn)入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀中。
[0013]所述的激光光學(xué)系統(tǒng)包括光闌、反射鏡和聚焦透鏡，皮秒激光器發(fā)出的激光分別經(jīng)過光闌、反射鏡和聚焦透鏡后聚焦到樣品池的樣品表面。激光光學(xué)系統(tǒng)要求能把激光有效的傳輸?shù)綐悠繁砻妫桓淖兒涂刂乒怅@的大小可以改變和控制光斑的大小，即燒蝕孔徑的大小；通過三維移動(dòng)平臺(tái)調(diào)節(jié)聚焦透鏡的位置可以調(diào)整激光的聚焦或散焦?fàn)顟B(tài)。
[0014]樣品池包括具有樣品擺放臺(tái)的塞入體和下端開口的固定筒體，所述的樣品擺放臺(tái)位于塞入體的上端，所述的固定筒體的上方有一個(gè)對(duì)激光波長是透明的窗口，該窗口允許激光能量穿過并聚焦到樣品表面，所述的塞入體從固定筒體的下端開口部塞入，使所述的固定筒體內(nèi)形成一個(gè)密閉空腔，所述的樣品擺放臺(tái)位于所述的密閉空腔內(nèi)，所述的固定筒體上設(shè)置有與所述的密閉空腔相通的進(jìn)氣口和出氣口。樣品擺放臺(tái)設(shè)置在塞入體上，取放樣品不需要對(duì)固定筒體進(jìn)行操作。
[0015]傳統(tǒng)的樣品池包括底座和蓋體，蓋體蓋在底座上后形成密閉空腔，進(jìn)氣口設(shè)置在底座，出氣口設(shè)置在蓋體，當(dāng)需要將樣品放入或取出時(shí)，需要將蓋體從底座上擰開，這會(huì)使與進(jìn)氣口和出氣口相連的通氣管轉(zhuǎn)動(dòng)，會(huì)造成氣路的泄漏，蓋體也有可能脫落墜地造成損壞，由于激光入射窗口位于蓋體上，蓋體的頻繁動(dòng)作，會(huì)造成窗口的不平衡，激光聚焦受影響，重現(xiàn)性比較差。本發(fā)明的出氣口和進(jìn)氣口固定設(shè)置在固定筒體上，取放樣品時(shí)，不涉及出氣口和進(jìn)氣口的位置變化，進(jìn)出氣管是一直固定的，保證氣路的正常狀態(tài)。本發(fā)明的窗口是一直固定，聚焦不會(huì)受到影響，重現(xiàn)性比較好。樣品池要求是封閉氣密的，以避免樣品的損失及空氣的摻入。
[0016]塞入體包括一體設(shè)置的底座和螺桿，所述的固定筒體的下端為螺紋孔，所述的螺桿與所述的螺紋孔配合，所述的底座位于所述的固定筒體下方。螺桿和螺紋孔的相互配合，塞入體的安裝或取出也比較方便，通過調(diào)整螺桿的伸入量來調(diào)整密閉空間的大小，同時(shí)密閉空間的體積比較小，大約為8 cm3，該樣品池中除螺桿可移動(dòng)外，其余部分全部固定，這樣可以確保激光的聚焦?fàn)顟B(tài)，改善方法的重現(xiàn)性。
[0017]所述的樣品擺放臺(tái)位于密閉空腔的中間，所述的樣品擺放臺(tái)與固定筒體的內(nèi)壁之間具有環(huán)形間隙，所述的進(jìn)氣口對(duì)準(zhǔn)所述的樣品擺放臺(tái)的側(cè)壁，所述的出氣口靠近所述的窗口。從進(jìn)氣口進(jìn)來的氬氣先吹到樣品擺放臺(tái)的側(cè)壁上，然后再將樣品池?zé)g出來的氣溶膠送入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀內(nèi)。由于激光在燒蝕樣品過程中，物質(zhì)呈現(xiàn)團(tuán)塊，分子、原子和離子狀態(tài)，相比于氬氣直接吹樣品，氬氣先吹到樣品擺放臺(tái)的側(cè)壁后再將氣溶膠帶出具有一個(gè)時(shí)間差，氣溶膠更有利于形成初級(jí)等離子體。
[0018]所述的固定筒體外設(shè)置有環(huán)狀安裝板，所述的環(huán)狀安裝板位于進(jìn)氣口以下位置，所述的環(huán)狀安裝板位置處的固定筒體上設(shè)置進(jìn)樣通道。進(jìn)樣通道用于取放固定樣品，只要將螺桿稍微往下擰一點(diǎn)就可以，這樣可以確保激光的聚焦?fàn)顟B(tài)，改善方法的重現(xiàn)性。
[0019]所述的窗口為石英窗口，所述的石英窗口呈傾斜狀固定在固定筒體的上端，所述的石英窗口的傾斜角度為8度-12度。不會(huì)反射激光返回激光器內(nèi)部，使激光光學(xué)系統(tǒng)簡單，降低生產(chǎn)激光燒蝕固體進(jìn)樣系統(tǒng)的成本。
[0020]所述的螺桿上設(shè)置有一臺(tái)階，所述的螺紋孔與所述的密閉空腔之間設(shè)置有擋壁，所述的臺(tái)階上設(shè)置有密封圈，所述的密封圈緊靠在所述的擋壁上。密封圈的設(shè)置是進(jìn)一步保證空腔的氣密性。
[0021]所述的氣溶膠傳輸系統(tǒng)包括輸入管、輸出管、三通電磁閥、第一連接管和第二連接管，氬氣通過輸入管與所述的進(jìn)氣口連通，輸出管一端接出氣口，輸出管的另一端接三通電磁閥的第一端，三通電磁閥的第二端通過第一連接管接到水槽，三通電磁閥的第三端通過第二連接管接到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。在分析裝置開啟前，先將三通電磁閥切換到水槽一路，用氬氣將樣品池和氣路內(nèi)的空氣排空。防止空氣進(jìn)入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀內(nèi)。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是皮秒激光燒蝕固體進(jìn)樣系統(tǒng)，激光波長1064nm、532 nm、355 nm、266 nm可選，脈沖寬度30 ps，脈沖頻率20 Hz (有連續(xù)和固定脈沖數(shù)量兩種模式)，脈沖能量連續(xù)可調(diào)，266 nm最大脈沖能量達(dá)3.0 mj ;光闌孔徑在I?12mm之間連續(xù)可調(diào)，光斑大小可控；樣品池的位置三維可控，能快速準(zhǔn)確定位，X軸精度3.125 μ m,Y、z軸精度都為0.625 μ m ;三通電磁閥切換的氣溶膠傳輸系統(tǒng),傳輸管路短；米用非同軸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)樣品燒蝕位置的快速聚焦定位。該皮秒激光的空間分辨率小于30 μ m,時(shí)間分辨率優(yōu)于2 S，深度分辨率優(yōu)于0.05 μ m。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明的框架圖；
圖2為本發(fā)明的激光光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；
圖3為本發(fā)明的樣品池的立體圖；
圖4為本發(fā)明的塞入體的立體圖；
圖5為本發(fā)明的樣品池的剖視圖；
圖6為固定筒體的剖視圖；
圖7為本發(fā)明的樣品池安裝于固定板上的結(jié)構(gòu)圖；
圖8為CETAC公司標(biāo)準(zhǔn)樣品池nsLA采集單脈沖的時(shí)間分辨率； 圖9為本發(fā)明psLA采集單脈沖的時(shí)間分辨率；
圖10為本發(fā)明的低脈沖能量psLA燒蝕銅鍍銀標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的時(shí)間分辨圖；
圖11為傳統(tǒng)的nsLA燒蝕銅鍍銀標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的時(shí)間分辨圖；
圖12為本發(fā)明的psLA采集的信號(hào)強(qiáng)度圖；
圖13為傳統(tǒng)的nsLA采集的信號(hào)強(qiáng)度圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0025]一種固體樣品的直接分析裝置，包括皮秒激光器1、激光光學(xué)系統(tǒng)2、樣品池3、三維移動(dòng)平臺(tái)4、顯微成像系統(tǒng)5、氣溶膠傳輸系統(tǒng)6和電感耦合等離子體質(zhì)譜儀7，樣品池3安裝在三維移動(dòng)平臺(tái)4上，顯微成像系統(tǒng)5對(duì)準(zhǔn)樣品池3內(nèi)的固體樣品，皮秒激光器I發(fā)出的激光束通過激光光學(xué)系統(tǒng)2聚焦到樣品池3內(nèi)的樣品表面，被激光燒蝕后產(chǎn)生的粒子經(jīng)過氣溶膠傳輸系統(tǒng)6進(jìn)入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀7中。
[0026]激光光學(xué)系統(tǒng)包括光闌8、反射鏡9和聚焦透鏡10，皮秒激光器I發(fā)出的激光分別經(jīng)過光闌8、反射鏡9和聚焦透鏡10后聚焦到樣品池3的樣品表面。
[0027]樣品池3包括具有樣品擺放臺(tái)11的塞入體12和下端開口的固定筒體13，樣品擺放臺(tái)11位于塞入體12的上端，固定筒體13的上方有一個(gè)對(duì)激光波長是透明的窗口 14，該窗口 14允許激光能量穿過并聚焦到樣品表面，塞入體12從固定筒體13的下端開口部塞入，使固定筒體13內(nèi)形成一個(gè)密閉空腔15，樣品擺放臺(tái)11位于密閉空腔15內(nèi)，固定筒體13上設(shè)置有與密閉空腔15相通的進(jìn)氣口 16和出氣口 17。
[0028]塞入體12包括一體設(shè)置的底座18和螺桿19，固定筒體13的下端為螺紋孔20，螺桿19與螺紋孔20配合，底座18位于固定筒體13下方。
[0029]樣品擺放臺(tái)11位于密閉空腔15的中間，樣品擺放臺(tái)11與固定筒體13的內(nèi)壁之間具有環(huán)形間隙32，進(jìn)氣口 16對(duì)準(zhǔn)樣品擺放臺(tái)11的側(cè)壁，出氣口 16靠近窗口 14。
[0030]固定筒體13外設(shè)置有環(huán)狀安裝板21，環(huán)狀安裝板21位于進(jìn)氣口 16以下位置，環(huán)狀安裝板21位置處的固定筒體13上設(shè)置進(jìn)樣通道22。環(huán)形安裝板21通過螺釘33固定在三維移動(dòng)平臺(tái)的固定板34上。
[0031]窗口為石英窗口 14，石英窗口 14呈傾斜狀固定在固定筒體13的上端，石英窗口14的傾斜角度為8度或10度或12度。
[0032]螺桿19上設(shè)置有一臺(tái)階23，螺紋孔20與密閉空腔15之間設(shè)置有擋壁24，臺(tái)階23上設(shè)置有密封圈25，密封圈25緊靠在擋壁24上。
[0033]氣溶膠傳輸系統(tǒng)包括輸入管26、輸出管27、三通電磁閥28、第一連接管29和第二連接管30，氬氣通過輸入管26與進(jìn)氣口 16連通，輸出管27—端接出氣口 17，輸出管27的另一端接三通電磁閥28的第一端，三通電磁閥28的第二端通過第一連接管29接到水槽31，三通電磁閥28的第三端通過第二連接管30接到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀7。
[0034]時(shí)間分辨率是衡量激光器的重要指標(biāo)，是指先后兩激光脈沖燒蝕出來的氣溶膠信號(hào)無任何疊加的最短時(shí)間間隔，圖8是納秒激光器(nsLA)采集單脈沖的時(shí)間分辨圖，圖9為本發(fā)明采集單脈沖的時(shí)間分辨率，從圖8可以看出n sLA燒蝕出來的氣溶膠到達(dá)電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP)已散開稀釋，呈現(xiàn)帶狀的信號(hào)；單脈沖從產(chǎn)生脈沖至氣溶膠離開ICP并被信號(hào)采集，時(shí)間達(dá)到16 s之多，從圖9可以看出本發(fā)明燒蝕出來的氣溶膠能快速地到達(dá)ICP，呈現(xiàn)尖銳的信號(hào)；單脈沖從產(chǎn)生脈沖至氣溶膠離開ICP并被信號(hào)采集，時(shí)間只有不到2 S，說明皮秒激光器(psLA)有極好的時(shí)間分辨率。
[0035]圖10，可以知道nsLA燒蝕物中的銀不能由ICP-MS盡快測(cè)定，出現(xiàn)信號(hào)疊加、逐漸變大的現(xiàn)象，銅信號(hào)出現(xiàn)時(shí)，銀信號(hào)也不能快速下降，前后燒蝕物有相混的跡象，深度分辨率雖然只有0.4 μ m左右，但邊界很難界定。
[0036]相比較圖9顯示，psLA具備成功進(jìn)行深度分析的前提條件，邊界容易界定，深度分辨率好，可以獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。
[0037]從圖12和圖13可以看出，psLA采集的信號(hào)比nsLA的要高出2個(gè)數(shù)量級(jí)，有利于改善該分析方法的靈敏度，提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確度。
[0038]下表為本發(fā)明裝置性能綜合表:
【權(quán)利要求】
1.一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于包括皮秒激光器、激光光學(xué)系統(tǒng)、樣品池、三維移動(dòng)平臺(tái)、顯微成像系統(tǒng)、氣溶膠傳輸系統(tǒng)和電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，所述的樣品池安裝在三維移動(dòng)平臺(tái)上，顯微成像系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)樣品池內(nèi)的固體樣品，皮秒激光器發(fā)出的激光束通過激光光學(xué)系統(tǒng)聚焦到樣品池內(nèi)的樣品表面，被激光燒蝕后產(chǎn)生的粒子經(jīng)過氣溶膠傳輸系統(tǒng)進(jìn)入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的激光光學(xué)系統(tǒng)包括光闌、反射鏡和聚焦透鏡，皮秒激光器發(fā)出的激光分別經(jīng)過光闌、反射鏡和聚焦透鏡后聚焦到樣品池的樣品表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于樣品池包括具有樣品擺放臺(tái)的塞入體和下端開口的固定筒體，所述的樣品擺放臺(tái)位于塞入體的上端，所述的固定筒體的上方有一個(gè)對(duì)激光波長是透明的窗口，該窗口允許激光能量穿過并聚焦到樣品表面，所述的塞入體從固定筒體的下端開口部塞入，使所述的固定筒體內(nèi)形成一個(gè)密閉空腔，所述的樣品擺放臺(tái)位于所述的密閉空腔內(nèi)，所述的固定筒體上設(shè)置有與所述的密閉空腔相通的進(jìn)氣口和出氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于塞入體包括一體設(shè)置的底座和螺桿，所述的固定筒體的下端為螺紋孔，所述的螺桿與所述的螺紋孔配合，所述的底座位于所述的固定筒體下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的樣品擺放臺(tái)位于密閉空腔的中間，所述的樣品擺放臺(tái)與固定筒體的內(nèi)壁之間具有環(huán)形間隙，所述的進(jìn)氣口對(duì)準(zhǔn)所述的樣品擺放臺(tái)的側(cè)壁，所述的出氣口靠近所述的窗口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的固定筒體外設(shè)置有環(huán)狀安裝板，所述的環(huán)狀安裝板位于進(jìn)氣口以下位置，所述的環(huán)狀安裝板位置處的固定筒體上設(shè)置進(jìn)樣通道。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的窗口為石英窗口，所述的石英窗口呈傾斜狀固定在固定筒體的上端，所述的石英窗口的傾斜角度為8度-12度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的螺桿上設(shè)置有一臺(tái)階，所述的螺紋孔與所述的密閉空腔之間設(shè)置有擋壁，所述的臺(tái)階上設(shè)置有密封圈，所述的密封圈緊靠在所述的擋壁上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種固體樣品的直接分析裝置，其特征在于所述的氣溶膠傳輸系統(tǒng)包括輸入管、輸出管、三通電磁閥、第一連接管和第二連接管，IS氣通過輸入管與所述的進(jìn)氣口連通，輸出管一端接出氣口，輸出管的另一端接三通電磁閥的第一端，三通電磁閥的第二端通過第一連接管接到水槽，三通電磁閥的第三端通過第二連接管接到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。
【文檔編號(hào)】G01N27/62GK103698385SQ201310656437
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】金獻(xiàn)忠, 陳建國, 謝健梅, 郭亮 申請(qǐng)人:寧波檢驗(yàn)檢疫科學(xué)技術(shù)研究院