本發(fā)明涉及對由生產(chǎn)線制造出的基板的合格與否進行檢查的檢查裝置及檢查方法。

背景技術：

作為配置在生產(chǎn)線的檢查裝置，已知下述檢查裝置，其針對生產(chǎn)線的各工序，對全部基板進行拍攝而進行不合格解析(例如，參照專利文獻1)。在專利文獻1所記載的檢查裝置中，根據(jù)每個工序的拍攝圖像檢查基板的合格與否，針對每個工序篩選出合格品圖像和不合格品圖像而用于不合格解析。另外，作為檢查裝置，已知下述檢查裝置，其對基板的檢查結果進行統(tǒng)計處理而進行不合格解析(例如，參照專利文獻2)。在專利文獻2所記載的檢查裝置中，基板的檢查結果和識別信息相關聯(lián)地儲存在數(shù)據(jù)庫，數(shù)據(jù)庫內的儲存信息的統(tǒng)計結果用于不合格解析。

專利文獻1：日本特開2005－142552號公報

專利文獻2：日本特開2002－368411號公報

另外，關于判定為合格品的基板，雖然從工廠出廠至市場，但有時在市場針對基板會發(fā)現(xiàn)某種缺陷。在專利文獻1、2所記載的檢查裝置中，能夠使用出廠前的基板進行不合格解析，但關于作為合格品出廠后的基板，無法追查不合格的原因。為了對判定為合格品的基板的缺陷進行檢驗，必須由檢查裝置的制造商改寫檢查邏輯。雖然還想到由生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員通過目視對基板的缺陷進行檢驗，但存在操作員的負擔增大的問題。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明就是鑒于上述方面而提出的，其目的在于提供一種能夠在生產(chǎn)現(xiàn)場對已出廠至市場的合格品基板的缺陷進行檢驗的檢查裝置及檢查方法。

本發(fā)明的檢查裝置在生產(chǎn)線的運轉中針對基板實施通常檢查，能夠對在所述通常檢查中遺漏的所述基板的不合格進行檢驗，該檢查裝置的特征在于，具有：存儲部，其存儲有檢查過程的一覽；確定部，其確定所述基板的檢查位置；接受部，其從所述檢查過程的一覽，針對所述基板的每個檢查位置接受檢查過程的選擇；以及執(zhí)行部，其對所述基板的檢查位置執(zhí)行由通過所述接受部選擇出的檢查過程組成的檢查邏輯。

本發(fā)明的檢查方法由檢查裝置執(zhí)行，該檢查裝置在生產(chǎn)線的運轉中針對基板實施通常檢查，能夠對在所述通常檢查中遺漏的所述基板的不合格進行檢驗，該檢查方法的特征在于，具有下述步驟：確定所述基板的檢查位置的步驟；從存儲在存儲部的檢查過程的一覽，針對所述基板的每個檢查位置選擇檢查過程的步驟；以及對所述基板的檢查位置執(zhí)行由選擇出的檢查過程組成的檢查邏輯的步驟。

根據(jù)這些結構，生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員能夠對應于基板的不合格自由地選擇檢查過程，重新組成檢查邏輯。通過使用操作員親自組成的檢查邏輯，從而能夠針對在檢查裝置的通常檢查中遺漏的基板的不合格進行再檢查，能夠由操作員對基板的缺陷的原因進行檢驗，而不依賴于檢查裝置的制造商。另外，僅通過選擇檢查過程就能夠組成檢查邏輯，因此能夠對應于不合格的內容而靈活地進行檢驗，而不會對操作員造成負擔。

在上述的檢查裝置中，所述接受部接受檢查過程的參數(shù)的調整。根據(jù)該結構，能夠調整檢查過程的檢查的靈敏度，能夠針對基板的不合格更靈活地進行檢驗。

在上述的檢查裝置中，所述執(zhí)行部除了所述檢查邏輯以外，還能夠執(zhí)行所述通常檢查所使用的已有的檢查邏輯。根據(jù)該結構，能夠使用已有的檢查邏輯對在檢查裝置的通常檢查中遺漏的基板的不合格進行再檢查。

在上述的檢查裝置中，具備拍攝部，該拍攝部在所述生產(chǎn)線的運轉中對所述基板進行拍攝，所述存儲部存儲針對所述基板的拍攝圖像的檢查過程的一覽，所述確定部確定所述基板的拍攝圖像中的檢查位置，所述執(zhí)行部針對所述基板的拍攝圖像的檢查位置執(zhí)行所述檢查邏輯。根據(jù)該結構，能夠使用基板的拍攝圖像對基板的不合格進行再檢查，因此即使沒有基板，也能夠對基板的缺陷進行檢驗。

在上述的檢查裝置中，具備提取部，該提取部根據(jù)所述基板的追溯信息而提取該基板的拍攝圖像，在所述生產(chǎn)線的運轉中由所述拍攝部拍攝到的全部基板的拍攝圖像，分別與該基板的追溯信息相關聯(lián)地保存。根據(jù)該結構，能夠將全部基板的拍攝圖像保留而作為用于以后對在生產(chǎn)線的運轉中產(chǎn)生的基板的不合格進行檢驗的客觀證據(jù)。另外，能夠根據(jù)追溯信息對再檢查所需的基板的拍攝圖像進行提取。

在上述的檢查裝置中，所述基板的追溯信息包含該基板的種類、和針對該基板的通常檢查的檢查日期及時間。根據(jù)該結構，能夠根據(jù)基板的種類和通常檢查的檢查日期及時間，容易地提取再檢查所需的基板的拍攝圖像。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，通過在生產(chǎn)現(xiàn)場對應于基板的不合格自由地選擇檢查過程而重新組成檢查邏輯，從而能夠在操作員側對在檢查裝置的通常檢查中所遺漏的基板的不合格的原因進行檢驗，而不依賴檢查裝置的制造商。

附圖說明

圖1是本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)的示意圖。

圖2是本實施方式所涉及的檢查裝置的框圖。

圖3是表示本實施方式所涉及的拍攝圖像的提取處理的一個例子的圖。

圖4是表示本實施方式所涉及的針對拍攝圖像的再檢查處理的一個例子的圖。

標號的說明

1 生產(chǎn)系統(tǒng)

14 檢查裝置

15 圖像保存服務器

16 檢查信息保存服務器

21 拍攝部

22 通常檢查部

23 再檢查部

24 提取部

25 確定部

26 存儲部

27 接受部

28 執(zhí)行部

31 執(zhí)行區(qū)域

32 參數(shù)區(qū)域

具體實施方式

下面，參照附圖，對本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)進行說明。圖1是本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)的示意圖。此外，本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)只是一個例子，能夠適當變更。

如圖1所示，本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)1的生產(chǎn)線，經(jīng)由印刷工序、印刷后的檢查工序、安裝工序、安裝后的檢查工序、回流焊工序、回流焊后的檢查工序這些工序，對基板W進行生產(chǎn)。在印刷工序中，由印刷裝置11在基板W上的規(guī)定位置印刷膏狀的焊料，在印刷后的檢查工序中，由檢查裝置14a通過圖像處理等對基板W上的焊料的印刷狀態(tài)進行檢查。在安裝工序中，由安裝裝置12在基板W的規(guī)定位置安裝部件，在安裝后的檢查工序中，由檢查裝置14b通過圖像處理等對基板W上的部件的安裝狀態(tài)進行檢查。

在回流焊工序中，由回流焊裝置13將規(guī)定位置的焊料熔融而將部件軟釬焊至基板W，在回流焊后的檢查工序中，由檢查裝置14c通過圖像處理等對基板W上的部件的軟釬焊狀態(tài)進行檢查。另外，在生產(chǎn)系統(tǒng)1中設置有圖像保存服務器15和檢查信息保存服務器16。在圖像保存服務器15保存有在各檢查工序拍攝到的基板W的拍攝圖像，在檢查信息保存服務器16中保存有各檢查工序中的基板W的檢查結果等檢查信息。此外，基板W可以是由多個單位基板構成的集合基板，也可以是單一基板。

另外，經(jīng)過生產(chǎn)線被判定為合格品并已出廠至市場的基板W，有時在市場會被發(fā)現(xiàn)不合格。在該情況下，在檢查裝置現(xiàn)場經(jīng)常沒有作為檢查對象的基板W，無法針對基板W進行再檢查。另外，即使作為檢查對象的基板W在檢查裝置現(xiàn)場，為了進行再檢查而花費了工時。因此，本實施方式所涉及的生產(chǎn)系統(tǒng)1構成為，對在生產(chǎn)線的運轉中產(chǎn)生的基板W的不合格進行拍攝而作為此后用于檢驗的客觀證據(jù)，將各檢查工序的基板W的拍攝圖像與各基板W的追溯信息相關聯(lián)地保存。

但是，即使對基板W的拍攝圖像進行了保存，也難以在生產(chǎn)線的現(xiàn)場對在市場所發(fā)現(xiàn)的基板W的不合格進行檢驗。一般來說，檢查邏輯大多不會被檢查裝置的制造商公開，這導致生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員無法掌握通過生產(chǎn)線的通常檢查遺漏了基板W的不合格的原因。因此，必須依賴檢查裝置的制造商進行缺陷的檢驗，并重新組成新的檢查邏輯。操作員雖然也能夠根據(jù)基板W的拍攝圖像通過目視對基板W的不合格進行確認，但確認作業(yè)必須花費大量的時間。

因此，在本實施方式所涉及的各檢查裝置14a－14c中，使得在生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員側能夠對應于基板W的不合格容易地組成檢查邏輯。通過將操作員親自組成的檢查邏輯使用于基板W的拍攝圖像，從而能夠使操作員親自檢驗出在各檢查裝置14a－14c的通常檢查中遺漏的基板W的不合格。此外，在本實施方式中，構成為使用在市場發(fā)現(xiàn)了缺陷的基板W的拍攝圖像，對基板W的不合格進行檢驗，但通過將實際的基板W寄回而由檢查裝置14a－14c進行再檢查，也能夠對不合格進行檢驗。

下面，參照圖2，對檢查裝置的詳細結構進行說明。圖2是本實施方式所涉及的檢查裝置的框圖。此外，在下面的說明中，以安裝后的檢查工序中的檢查裝置為例示進行說明，但印刷后的檢查工序、回流焊后的檢查工序的檢查裝置也同樣地構成。另外，圖2所示的檢查裝置的框圖為了說明本發(fā)明而進行了簡化，假設該檢查裝置具備檢查裝置通常所具備的結構。

如圖2所示，檢查裝置14具備：拍攝部21，其在生產(chǎn)線的運轉中對全部基板W進行拍攝；通常檢查部22，其在生產(chǎn)線的運轉中針對全部基板W實施通常檢查；以及再檢查部23，其針對在通常檢查中遺漏不合格的基板W實施再檢查。拍攝部21從正上方對各基板W上的多個部位進行拍攝，將各基板W的拍攝圖像輸出至通常檢查部22。通常檢查部22針對各基板W的拍攝圖像使用已有的檢查邏輯實施圖像處理，對是否在各基板W適當?shù)匕惭b了部件進行檢查。關于部件的安裝狀態(tài)差的基板W，判定為不合格而不會出廠。

通常檢查時的各基板W的拍攝圖像保存在圖像保存服務器15，各基板W的檢查信息保存在檢查信息保存服務器16。在圖像保存服務器15中，各基板W的拍攝圖像保存在存儲介質的規(guī)定的地址。在檢查信息保存服務器16中，各基板W的追溯信息與圖像保存服務器15中的各基板W的拍攝圖像的保存目的地的地址相關聯(lián)地保存而作為檢查信息。作為追溯信息，例如包含基板W的種類、通常檢查的檢查日期及時間、由通常檢查得到的判定結果、由操作員的目視得到的判定結果。此外，通常檢查部22也可以創(chuàng)建壓縮圖像而發(fā)送至圖像保存服務器15，在該情況下，能夠抑制用于保存圖像的服務器容量。

再檢查部23使用在市場發(fā)現(xiàn)了缺陷的基板W的拍攝圖像進行再檢查，具有提取部24、確定部25、存儲部26、接受部27、執(zhí)行部28。提取部24通過將操作員的檢查日期及時間等追溯信息設定為提取條件，從而訪問檢查信息保存服務器16和圖像保存服務器15而提取滿足提取條件的拍攝圖像。在該情況下，在檢查信息保存服務器16中，對與滿足提取條件的追溯信息相關聯(lián)的拍攝圖像的地址進行確定，在圖像保存服務器15中，將保存在該地址的拍攝圖像進行提取。

如上所述，檢查信息保存服務器16的追溯信息與圖像保存服務器15的拍攝圖像相關聯(lián)，利用提取部24基于從操作員指定的追溯信息對拍攝圖像進行提取。由此，即使在操作員的檢查裝置現(xiàn)場沒有作為檢查對象的基板W的情況下，也能夠根據(jù)追溯信息提取作為檢查對象的基板W的拍攝圖像而進行再檢查。此外，追溯信息和拍攝圖像可以保存在同一個外部服務器，也可以保存在不同的外部服務器。

確定部25對由提取部24提取出的基板W的拍攝圖像中的檢查位置進行確定。在該情況下，在檢查裝置14設定有基板W上的部件的位置信息、坐標軸，通過輸入確定坐標等位置信息、部件名而確定拍攝圖像中的檢查位置。在存儲部26存儲有檢查過程的一覽，該檢查過程成為用于構建檢查邏輯的處理單位。在檢查過程的一覽中包含有多種檢查過程，即，長度測定、面積測定、體積測定、亮度測定、顏色識別、文字識別、加權濾波器設定、二值化處理、判定處理等。

接受部27從檢查過程的一覽針對拍攝圖像的每個檢查位置接受檢查過程的選擇。在該情況下，針對每個檢查位置由操作員從檢查過程的一覽選擇期望的檢查過程，所選擇的檢查過程在執(zhí)行區(qū)域31(參照圖4C)按照執(zhí)行順序排列而組成檢查邏輯。即，接受部27形成有檢查邏輯的組成畫面(參照圖4C)。另外，接受部27接受各檢查過程的參數(shù)的調整。作為參數(shù)，例如設定加權濾波器的系數(shù)、二值化處理、判定處理的閾值等。如上所述，通過檢查過程的選擇，從而能夠容易地組成檢查邏輯。

執(zhí)行部28針對拍攝圖像的檢查位置，執(zhí)行由通過接受部27選擇出的檢查過程組成的檢查邏輯。在該情況下，按照在接受部27的執(zhí)行區(qū)域31排列的順序執(zhí)行檢查過程，對由提取部24提取出的拍攝圖像的檢查位置進行再檢查。如上所述，通過操作員對應于基板W的不合格自由地選擇檢查過程而組成的檢查邏輯，能夠進行再檢查，操作員能夠追查通常檢查遺漏的基板W的不合格的原因。此外，執(zhí)行部28也能夠執(zhí)行在通常檢查時使用的已有的檢查邏輯。

印刷裝置11的通常檢查部22及再檢查部23的各部，由執(zhí)行各部的各種處理的處理器、存儲器等構成。存儲器根據(jù)用途由ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等一個或者多個存儲介質構成，在存儲器中除了本實施方式所涉及的印刷裝置的通常檢查用的程序以外，還存儲有拍攝圖像的提取處理用的程序、再檢查處理用的程序、后面敘述的檢查邏輯的組成畫面等。

參照圖3及圖4，對拍攝圖像的提取處理及針對拍攝圖像的再檢查處理進行說明。圖3是表示本實施方式所涉及的拍攝圖像的提取處理的一個例子的圖。圖4是表示本實施方式所涉及的針對拍攝圖像的再檢查處理的一個例子的圖。

如圖3A所示，在檢查裝置14(參照圖3B)中，在直至1/1的0：00－0：50為止的期間，針對MODEL：A、B的2個種類的基板Wa－Wf實施通常檢查。在通常檢查中，針對全部這些基板Wa－Wf執(zhí)行已有的檢查邏輯，基板Wa－Wf的拍攝圖像保存在圖像保存服務器15(參照圖3B)，基板Wa－Wf的追溯信息保存在檢查信息保存服務器16(參照圖3B)。在該通常檢查中，基板Wa－Wf全部作為了合格品出廠，但在1/1的0：30－1：00被檢查的MODEL：B的基板發(fā)現(xiàn)了缺陷，實施由提取部24(參照圖2)進行的對作為檢查對象的基板W的提取處理。

在該情況下，如圖3B所示，基板W的種類MODEL：B、檢查日期及時間1/1的0：30－1：00作為提取條件而從檢查裝置14發(fā)送至檢查信息保存服務器16(步驟S01)。在檢查信息保存服務器16中，對滿足提取條件的追溯信息進行檢索，將在1/1的0：30被檢查的MODEL：B的基板Wd確定為檢查對象(步驟S02)。將成為基板Wd的保存目的地的地址從檢查信息保存服務器16發(fā)送至檢查裝置14(步驟S03)。然后，由檢查裝置14對在圖像保存服務器15的基板Wd的地址保存的拍攝圖像進行讀取(步驟S04)。

接下來，實施針對基板Wd的再檢查處理。如圖4A所示，在通常檢查中，由拍攝部21(參照圖2)對各基板W的多個部位進行拍攝。因此，從基板Wd的多個拍攝圖像中，由確定部25(參照圖2)將包含不合格部位的拍攝圖像I確定為檢查對象。并且，如圖4B所示，在拍攝圖像I內包含多個部件，由確定部25從多個部件中將成為不合格部位的部件P確定為檢查對象。如上述所示，由于對各部件關聯(lián)有位置信息，因此通過輸入部件名，從而能夠確定檢查位置。另外，通過輸入檢查位置的坐標，從而也能夠直接地確定檢查位置而并不限定于部件。

如圖4C所示，在檢查邏輯的組成畫面中，從存儲部26(參照圖2)的檢查過程的一覽33選擇任意的檢查過程，各檢查過程按照執(zhí)行順序設定在執(zhí)行區(qū)域31。在圖的例子中，針對拍攝圖像I的部件P選擇亮度測定、二值化處理、長度測定、判定處理，這些檢查過程按照執(zhí)行順序設定在執(zhí)行區(qū)域31而組成1個檢查邏輯。由此，根據(jù)拍攝圖像I的部件P的亮度而提取輪廓，生成部件P是否為適當?shù)拈L度的判定邏輯。此外，由于在參數(shù)區(qū)域32沒有進行任何設定，因此作為二值化處理、判定處理的閾值而設定了規(guī)定值。

然后，由執(zhí)行部28(參照圖2)對由設定在執(zhí)行區(qū)域31的多個檢查過程組成的檢查邏輯進行執(zhí)行，針對拍攝圖像I的部件P，依次實施亮度測定、二值化處理、長度測定、判定處理。由此，即使在沒有檢查對象的基板W的情況下，也能夠根據(jù)在通常檢查時所保存的拍攝圖像針對基板W的部件P實施再檢查。另外，操作員由于能夠在執(zhí)行區(qū)域自由地設定檢查過程，因此能夠對應于基板W的不合格而靈活地組成檢查邏輯，操作員能夠對不合格進行檢驗。

另外，在基板W的生產(chǎn)現(xiàn)場，也能夠根據(jù)需要將在再檢查時所組成的檢查邏輯加入至生產(chǎn)線的運轉時的通常檢查。由此，在通常檢查時能夠發(fā)現(xiàn)基板W的不合格，能夠將有可能發(fā)生不合格的基板W出廠至市場的情況防患于未然。在該情況下，雖然對應于基板W的種類而設定了各自不同的程序，但可以自動地變更程序，以使得即使基板W的種類改變，也能夠針對同一部件適用相同的檢查邏輯。作為再檢查時的拍攝圖像，可以使用在通常檢查中使用的原始圖像，也可以使用壓縮圖像。

另外，檢查裝置14在除了針對基板W的再檢查以外也能夠使用。例如，在組成了針對新的部件的檢查邏輯的情況下，能夠對與該新的部件相似的已有部件的拍攝圖像嘗試檢查邏輯。在已有部件發(fā)生了故障的情況下，通過事先實施檢查，從而能夠事先避免新的部件的故障。在該情況下，操作員為了使檢查邏輯容易使用，按照每個部件的種類或者每個系統(tǒng)而管理檢查邏輯。并且，通過使用已有的拍攝圖像、檢查邏輯，從而還能夠針對經(jīng)驗不足的操作員在進行培訓時使用，該培訓用于使操作員辨別出特定部件的不合格。

如上所述，作為本實施方式所涉及的檢查裝置14，生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員能夠對應于基板W的不合格自由地選擇檢查過程，重新組成檢查邏輯。通過使用操作員親自組成的檢查邏輯，從而能夠針對在檢查裝置14的通常檢查中遺漏的基板的不合格進行再檢查，能夠由操作員對基板W的缺陷的原因進行檢驗，而不依賴于檢查裝置14的制造商。另外，僅通過選擇檢查過程就能夠組成檢查邏輯，因此能夠對應于不合格的內容而靈活地進行檢驗，而不會對操作員造成負擔。

此外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，能夠進行各種變更而實施。在上述實施方式中，關于附圖所圖示出的大小、形狀等，并不限定于此，能夠在實現(xiàn)本發(fā)明的效果的范圍內進行適當變更。此外，只要不脫離本發(fā)明的目的的范圍，就能夠適當變更而實施。

例如，在本實施方式中，檢查裝置14的存儲部26構成為，在檢查過程的一覽中存儲針對拍攝圖像的檢查過程、即圖像處理，但并不限定于該結構。在存儲部26，作為檢查過程也可以存儲激光測量長度等除了圖像處理以外的檢查過程。由此，在作為檢查對象的基板W處在檢查裝置現(xiàn)場的情況下，能夠針對基板W執(zhí)行包含激光測量長度等檢查過程在內的檢查邏輯。

另外，在本實施方式中，確定部25構成為對基板W的拍攝圖像中的檢查位置進行確定，但并不限定于該結構。確定部25是能夠對基板W的檢查位置進行確定的結構即可，在作為檢查對象的基板W處在檢查裝置現(xiàn)場的情況下，可以是對實際的基板W的檢查位置進行確定的結構。

另外，在本實施方式中，接受部27構成為，針對基板W的拍攝圖像中的每個檢查位置接受檢查過程的選擇，但并不限定于該結構。接受部27是針對基板W的每個檢查位置接受檢查過程的結構即可，在檢查對象的基板W處在檢查裝置現(xiàn)場的情況下，可以是針對實際的基板W的每個檢查位置接受檢查過程的選擇的結構。另外，接受部27也可以是接受檢查過程的參數(shù)的調整的結構。并且，參數(shù)并不限定于對各檢查過程的閾值進行設定，也可以調整檢查靈敏度。

另外，在本實施方式中，執(zhí)行部28構成為對基板W的拍攝圖像中的檢查位置執(zhí)行檢查邏輯，但并不限定于該結構。執(zhí)行部28是針對基板W的每個檢查位置執(zhí)行檢查邏輯的結構即可，在檢查對象的基板W處在檢查裝置現(xiàn)場的情況下，可以是針對實際的基板W的每個檢查位置執(zhí)行檢查邏輯的結構。

另外，在本實施方式中，基板W并不限定于印刷基板，也可以是載置于工具基板上的柔性基板。

另外，在本實施方式中，構成為由實施通常檢查的檢查裝置14，對通常檢查中遺漏的基板W的不合格進行檢驗，但并不限定于該結構。檢查裝置14也可以是與通常檢查所使用的裝置獨立的再檢查用的裝置。

另外，在本實施方式中，拍攝部21構成為對全部基板W進行拍攝，但并不限定于該結構。拍攝部21也可以構成為僅對一部分的基板W進行拍攝。

另外，在本實施方式中，構成為在檢查裝置對執(zhí)行本發(fā)明的檢查方法的程序進行存儲，但也可以使獨立于檢查裝置的檢查程序創(chuàng)建個人計算機對執(zhí)行檢查方法的程序進行存儲。

工業(yè)實用性

如以上說明所述，本發(fā)明具有下述效果，即，能夠由生產(chǎn)現(xiàn)場的操作員對已出廠至市場的合格品基板的缺陷進行檢驗，特別地，對檢查由生產(chǎn)線制造出的基板的合格與否的檢查裝置、檢查方法及檢查裝置所使用的程序有效。