一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中,集成電路測(cè)試是惟一一個(gè)貫穿集成電路生產(chǎn)和應(yīng)用全過(guò)程的產(chǎn)業(yè)。如果集成電路設(shè)計(jì)沒(méi)有通過(guò)原型的驗(yàn)證測(cè)試,就不可能投入量產(chǎn);量產(chǎn)中,如果沒(méi)有通過(guò)探針測(cè)試臺(tái)的中測(cè),就無(wú)法在下一個(gè)工序中進(jìn)行封裝;而封裝后的成品測(cè)試(成測(cè))又是集成電路產(chǎn)品的最后工序,只有測(cè)試合格的電路才可能作為正式的集成電路產(chǎn)品出廠(chǎng)。而在隨后的市場(chǎng)流通和工程應(yīng)用中,集成電路還必須經(jīng)過(guò)多種不同應(yīng)用目標(biāo)和不同使用條件的綜合性或特需性測(cè)試。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的集成電路的檢測(cè)都是通過(guò)具有探針的測(cè)試儀,測(cè)試時(shí),探針被壓到電子產(chǎn)品的電路板上。其主要功能為檢測(cè)電子產(chǎn)品在制造過(guò)程中所發(fā)生的缺陷,電子產(chǎn)品的缺陷勢(shì)必要在出貨前完成篩選,以增加產(chǎn)品的良率,否則會(huì)使產(chǎn)品無(wú)法發(fā)揮預(yù)期的功能,更嚴(yán)重者,可能因?yàn)橐粋€(gè)不當(dāng)?shù)漠a(chǎn)品而使整批產(chǎn)品遭到退貨,斷送商機(jī),甚至影響商譽(yù)。所以電子產(chǎn)品的檢測(cè)成功與否很大程度上取決于探針質(zhì)量的好壞,探針在使用過(guò)程中,容易出現(xiàn)與產(chǎn)品接觸不良或者在使用多次后,出現(xiàn)磨損等現(xiàn)象從而導(dǎo)致測(cè)試不穩(wěn)定,這對(duì)電子產(chǎn)品的測(cè)試具有非常大的影響。
[0004]因此亟需研究出一種能夠降低上述缺點(diǎn)的檢測(cè)系統(tǒng)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠防止探針接觸不良或磨損等導(dǎo)致測(cè)試不穩(wěn)定的測(cè)試系統(tǒng)。
[0006]為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其設(shè)置在工件固定臺(tái)上方,包括由四根相互垂直的橫桿組成的方形橫梁,其特征在于,還包括:
[0007]-軸臂,至少設(shè)有兩個(gè),且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿滑動(dòng)連接;
[0008]-探針組件,其滑動(dòng)連接在軸臂的底部,所述探針組件包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針;
[0009]-測(cè)量臂,位于所述軸臂的正下方,且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿滑動(dòng)連接,所述測(cè)量臂的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭,所述光電測(cè)頭上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿距離的測(cè)距裝置;
[0010]-第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置,分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂在所述橫桿上的滑動(dòng)以及所述探針組件在所述軸臂上的滑動(dòng),第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng);
[0011]-第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置,分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂在所述橫桿上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂上的滑動(dòng)。
[0012]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn),所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。
[0013]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn),所述升降裝置為氣缸。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于,本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì),采用活動(dòng)探針,并在每一次檢測(cè)過(guò)程中,對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定,從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]其中:1_固定臺(tái);2-橫桿;4-橫梁;6-軸臂;8-探針組件;10-測(cè)量臂;12-光電測(cè)頭。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0018]如圖1所示,本發(fā)明包括由四根相互垂直的橫桿2組成的方形橫梁4,其特征在于,還包括:
[0019]-軸臂6,至少設(shè)有兩個(gè),且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿2滑動(dòng)連接;
[0020]-探針組件8,其滑動(dòng)連接在軸臂6的底部,所述探針組件8包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針;
[0021]-測(cè)量臂10,位于所述軸臂6的正下方,且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿2滑動(dòng)連接,所述測(cè)量臂10的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭12,所述光電測(cè)頭12上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿2距離的測(cè)距裝置;
[0022]-第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置,分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂6在所述橫桿2上的滑動(dòng)以及所述探針組件8在所述軸臂6上的滑動(dòng),第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng);
[0023]-第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置,分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂10在所述橫桿2上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂10上的滑動(dòng)。
[0024]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn),所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。
[0025]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn),所述升降裝置為氣缸。
[0026]本發(fā)明的具體原來(lái)如下:
[0027](1)待測(cè)點(diǎn)定位,通過(guò)第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置分別驅(qū)動(dòng)測(cè)量臂10和光電測(cè)頭12運(yùn)動(dòng),當(dāng)光電測(cè)頭12位于待測(cè)點(diǎn)正上方時(shí),光電測(cè)頭12控制第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置停止運(yùn)動(dòng),然后測(cè)距裝置測(cè)量其分別到垂直的橫桿2的距離,XI,Y1,建立坐標(biāo)系(XI,¥1),如此獲得每個(gè)待測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)02,¥2)、03,¥3)...(Χη,Υη)。
[0028](2)探針運(yùn)動(dòng),每個(gè)橫桿2、軸臂6上第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置分別在PLC的作用下,運(yùn)動(dòng)到上述的坐標(biāo)01,¥1)(乂2,¥2)、(乂3,¥3)...(乂11,¥11)的正上方,通過(guò)升降氣缸運(yùn)動(dòng),與待測(cè)點(diǎn)接觸,完成測(cè)量。
[0029]本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方,包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4),其特征在于,還包括:軸臂(6),至少設(shè)有兩個(gè),且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接;探針組件(8),其滑動(dòng)連接在軸臂(6)的底部,所述探針組件(8)包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針以及測(cè)量臂(10),本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì),采用活動(dòng)探針,并在每一次檢測(cè)過(guò)程中,對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定,從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方,包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4),其特征在于,還包括: -軸臂(6),至少設(shè)有兩個(gè),且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接; -探針組件(8),其滑動(dòng)連接在軸臂(6)的底部,所述探針組件(8)包括升降機(jī)構(gòu)以及連接在所述升降機(jī)構(gòu)下方的探針; -測(cè)量臂(10),位于所述軸臂(6)的正下方,且其首尾分別與兩根相互平行的所述橫桿(2)滑動(dòng)連接,所述測(cè)量臂(10)的下方滑動(dòng)連接有能夠感測(cè)到工件上被測(cè)試點(diǎn)的光電測(cè)頭(12),所述光電測(cè)頭(12)上還設(shè)有用于測(cè)量其分別到兩個(gè)相互垂直的所述橫桿(2)距離的測(cè)距裝置; -第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置,分別用于驅(qū)動(dòng)所述軸臂(6)在所述橫桿(2)上的滑動(dòng)以及所述探針組件(8)在所述軸臂(6)上的滑動(dòng),第一動(dòng)力裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置均通過(guò)PLC控制運(yùn)動(dòng); -第三動(dòng)力裝置和第四動(dòng)力裝置,分別用于分別驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量臂(10)在所述橫桿(2)上的滑動(dòng)以及所述光電側(cè)頭在所測(cè)量臂(10)上的滑動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述所述第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置均為直線(xiàn)電機(jī)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述升降裝置為氣缸。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)探針檢測(cè)系統(tǒng),其設(shè)置在工件固定臺(tái)(1)上方,包括由四根相互垂直的橫桿(2)組成的方形橫梁(4),其特征在于,還包括軸臂(6),探針組件(8),測(cè)量臂(10)第一動(dòng)力裝置、第二動(dòng)力裝置、第三動(dòng)力裝置以及第四動(dòng)力裝置,本發(fā)明摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中探針位置固定不可調(diào)的設(shè)計(jì),采用活動(dòng)探針,并在每一次檢測(cè)過(guò)程中,對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行位置確定,從而防止因位置不準(zhǔn)確而影響測(cè)試結(jié)果。
【IPC分類(lèi)】G01R31/28
【公開(kāi)號(hào)】CN105467298
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510918181
【發(fā)明人】張磊
【申請(qǐng)人】蘇州世紀(jì)福智能裝備股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月6日
【申請(qǐng)日】2015年12月10日