專利名稱：防逆流閥的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種防逆流閥，尤其是一種設置在真空室與真空泵之間的防逆流閥，其包括閥體；第一和第二連接部分，其自所述閥體的兩端延伸并分別連接至自所述真空室和真空泵延伸的排氣管； 一旋轉軸，其鉸接至所述閥體內(nèi)部上端以圍繞一鉸軸旋轉； 一連接至所述旋轉軸的一端的隔板，其直徑大于所述第一連接部分的內(nèi)徑而小于所述閥體的內(nèi)徑，并朝向所述第一連接部分旋轉以便在真空管線中發(fā)生異常時防止流體流動；及一動力源，其連接至所述旋轉軸的另一端，提供驅動力以驅動所述隔板。
背景技術：
當制造半導體或等離子顯示器面板(DPD)時，進行蝕刻、沉積、排氣等類似過程。當進行此類過程時，使用包括真空室及類似裝置的各種裝置。此外，利用一真空泵來維持真空狀態(tài)。然而，當所述真空泵由于故障或電源中斷而不工作時，空氣中諸如蒸氣等類似的污染材料可能逆流進入所述真空室，導致所生產(chǎn)的產(chǎn)品的污染。
因此，已提出各種方法，通過這些方法，當真空泵停止時，防止此類逆流，并且阻隔所述真空室的內(nèi)部與外部空氣，以保護所述真空室內(nèi)的產(chǎn)品。韓國專利提前公開公開號2004-0085926已經(jīng)公開了 一種具有防逆流閥的半導體制造裝置。所述防逆流閥包括 一排氣部件，其具有一開關閥并設置處理室的環(huán)境；一清洗部件，其清洗所述排氣部件排放的雜質(zhì)；及一防逆流部件，其設在所述排氣部件與所述清洗部件之間，以防止所述雜質(zhì)逆向流動。所述防逆流部件由第一凸起件和第二凸起件，所述第一凸起件由管道的一端向內(nèi)凸起，所述第二凸起由所述管道的另一端向內(nèi)凸起。所述防逆流部件被形成于所述管道中，所述管道把從所述排氣部件排放的雜質(zhì)導入所述清洗部件中。所述防逆流部件可以防止從所述清洗部件反向流至所述排氣部件的諸如水的雜質(zhì)推進。韓國實用新型專利提前公開公開號1993-016166已經(jīng)公開了一種防護閥，其包括 一滑塊，其連接至真空管上形成的噴射口的外側以沿一軸滑動； 一葉片，其形成于所述滑塊的外周邊上以承受大氣壓力的作用； 一軸承，其被嵌入所述滑塊的內(nèi)表面以便操作可平滑地進行；及一O形圈，其被嵌入并被固定至所述噴射口與所述滑塊之間的連接面以保持氣密性。韓國專利提前公開公開號2000-0007260已經(jīng)公開了一種防逆流閥，其包括 一支撐軸，其被固定至橫穿排氣管的內(nèi)部通道； 一左側旋轉葉片，其一端鉸接至所述支撐軸的左側且另一端通過大氣壓力旋轉以當外部空氣反向流動時在所述支撐軸的左側阻塞所述內(nèi)部通道； 一右側旋轉葉片，其一端鉸接至所述支撐軸的右側且另一端被旋轉以在所述支撐軸的右側阻塞所述內(nèi)部通道；及一塞子，其在外部空氣反向流動時固定所述左側和右側葉片至阻塞所述內(nèi)部通道的位置。
根據(jù)上述的發(fā)明所述的防護閥沒有能夠實現(xiàn)雙向防護的結構。因此，很難防止由于真空泵驟停造成的損害。在本發(fā)明申請之前，本發(fā)明人己經(jīng)申請了一防逆流閥的專利(韓國專利提前公開公開號2004-0104557)，以解決此問題。所述防逆流閥包括第一圓柱形主體，其被第一蓋和第二蓋密封，所述第一蓋具有連接至真空室上的管的入口，所述第二蓋具有連接至真空泵上的管的入口 ，所述第一圓柱形主體具有形成于其中的真空區(qū)；第二圓柱形主體，其被嵌入并裝配在所述第一圓柱形主體的所述真空區(qū)內(nèi)并具有形成于其中央的具有預定直徑的真空區(qū)；第三圓柱形主體，其被嵌入并裝配在所述第二圓柱形主體的所述中央真空區(qū)內(nèi)；及一隔板，其被安裝在所述第三圓柱形主體與所述第一蓋之間，并當由于所述真空室與所述真空泵之間的壓差而垂直移動時打開和關閉一流徑。所述第二圓柱形主體，其形成為環(huán)狀，具有形成于其外表面的凸起。當所述第二圓柱形主體被嵌入所述第一圓柱形主體中時，在所述第一和第二圓柱形主體二者的圓周表面之間形成一垂直流徑。此外，所述第二圓柱形主體具有在其頂部和底部表面形成的流徑形成導向，以形成一水平流徑。所述第三圓柱形主體具有在其圓周表面形成的凸起，以便在所述第二和第三圓柱形主體的圓周表面二者之間的間隙中形成一垂直流徑。此外，所述第三圓柱形主體具有在其中央提供的真空區(qū)，以便朝向所述第二蓋的入口形成一流徑。
然而，上述的發(fā)明，包括本發(fā)明人的發(fā)明中公開的所述防逆流閥在所述闊的軸承不平滑運行時不可以在需要的時間操作。此外，在此類防逆流閥中，所述隔板設置在管道的中間。此結構即使當施加反壓時用來阻塞流體流動并驅動所述隔板。然而，流體的流動被阻塞，所以排氣流導被降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供一種防逆流閥，其在真空泵停止時防止反向流動并阻隔真空室的內(nèi)部與外部空氣。當隔板不被操作時，所述防逆流閥推動所述隔板至一位置，在該位置流體的流動不被阻塞，從而增強排氣流導。此外， 一氣壓缸被用來快速打開和關閉所述閥，從而增強所述閥的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種設置在真空室與真空泵之間的防逆流閥，其包括 一閥體；第一和第二連接部分，其自所述閥體的兩端延伸并分別連接至自所述真空室和真空泵延伸的排氣管； 一旋轉軸，其鉸接至所述閥體內(nèi)部上端以圍繞一鉸軸旋轉； 一連接至所述旋轉軸的一端的隔板，其直徑大于所述第一連接部分的內(nèi)徑而小于所述闊體的內(nèi)徑，并朝向所述第一連接部分旋轉以便在真空管線中發(fā)生異常時防止流體流動；及一動力源，其連接至所述旋轉軸的另一端，提供驅動力以驅動所述隔板。
優(yōu)選地，所述防逆流閥還包括一在所述閥體的所述第一連接部分的開口的內(nèi)邊緣形成的環(huán)狀彈性件，其與所述隔板相接觸以增強氣密性。
優(yōu)選地，所述隔板被成形為圓盤或圓錐形狀。
優(yōu)選地，所述隔板與所述旋轉軸之間的連接通過連接所述旋轉軸的所述端至所述隔板的圓周部分或連接所述隔板的下部的中央部分至所述旋轉軸的所述端來實現(xiàn)。
優(yōu)選地，所述旋轉軸的旋轉角度在20-90度范圍內(nèi)。優(yōu)選地，所述動力源是一氣壓缸。
優(yōu)選地，所述防逆流閥還包括一由與所述隔板接觸的所述第一連接部分至所述閥體的旁路路徑及一用于打開和關閉該旁路路徑的旁通閥。優(yōu)選地，所述旁通閥通過一氣壓缸打開和關閉。
本發(fā)明有益效果根據(jù)本發(fā)明，所述防逆流閥利用一氣壓缸來操作所述隔板。因此，可以快速且安全地防止由于所述真空泵驟停而導致的反向流動，從而防止所述真空室被污染。當所述隔板不被操作時，所述隔板被強制推動以關閉所述閥，從而增加可靠性。


圖l是本發(fā)明實施例所述的防逆流閥的透視圖2是所述防逆流閥的橫截面示意圖，表示所述防逆流閥被操作之前及之后的狀態(tài)；
圖3是用于說明隔板與旋轉軸相互連接的一個例子的透視圖4是用于說明隔板與旋轉軸相互連接的另一例子的透視底視圖。
圖中主要部件的說明
10、閥體；11、 O形圈；20、第一連接部分；30、第二連接部分；40、隔板；50、旋轉軸；51、鉸軸；60、氣壓缸；100、防逆流閥。
具體實施例方式
下文將通過本發(fā)明的優(yōu)選的實施例以及結合附圖更加詳細地說明本發(fā)明的防逆流閥。
圖1是本發(fā)明實施例所述的防逆流閥100的透視圖。圖2是所述防逆流閥100的橫截面示意圖，表示所述防逆流閥100被操作之前及之后的狀態(tài)。如圖1和2所示，本發(fā)明實施例所述的防逆流閥設置在真空室(未示出)與真空泵(未示出)之間，其包括閥體10;第一和第二連接部分20和30，其自所述閥體10的兩端延伸并分別連接至自所述真空室和真空泵延伸的排氣管； 一旋轉軸50，其鉸接至所述閥體10內(nèi)部上端以圍繞鉸軸51旋轉； 一連接至所述旋轉軸50的一端的隔板40，其直徑大于所述第一連接部分20的內(nèi)徑而小于所述閥體10的內(nèi)徑，并朝向所述第一連接部分20旋轉以便在真空管線中發(fā)生異常時防止流體流動；及一動力源60，其連接至所述旋轉軸50的另一端，提供驅動力以驅動所述隔板40。
如上所述，所述防逆流閥100設置在所述真空室與真空泵之間并用于防止空氣的反向流動。在一些情形中，所述防逆流閥可被用作閘閥。在常規(guī)的防護閥中，所述隔板40被設置在流體流動的中間部分。因此，自所述真空室向所述真空泵的流體流動在所屬閥體內(nèi)部形成曲流，因而減少了排氣流導。所述常規(guī)防護閥的隔板40用作即使在逆流形成時通過形成曲流減慢逆流。然而，因為氣流導的減少，處理時間增加了且排氣效率降低。此外，當自所述真空泵反向流動的空氣壓力被用作動力源以驅動所述常規(guī)防護閥中的隔板時，所述隔板不可避免地被置于所述隔板阻塞流體流動的位置。然而，當在本發(fā)明的所述防護閥中利用分離的動力源來驅動所述隔板時，所述隔板被設置以不減少排氣流導。
本發(fā)明的所述防逆流閥IOO包括圓柱形閥體10;第一和第二連接部分20和30，其自所述閥體10的兩端延伸以分別連接至自所述真空室和真空泵延伸的排氣管。所述第一和第二連接部分與所述排氣管之間的連接可以通過以凸緣形或類似來實現(xiàn)。此結構與常規(guī)防護閥沒有差別。因此在本說明書中省去該結構的描述。
本發(fā)明的所述防逆流閥包括旋轉軸50，其鉸接至所述閥體10內(nèi)部上端以圍繞一鉸軸旋轉。如圖2所示，所述旋轉軸50鉸接至所述閥體10內(nèi)部上端以圍繞所述鉸軸旋轉。所述隔板40連接至所述旋轉軸50的一端，所述動力源60連接至所述旋轉軸50的另一端。基于所述動力源60的運動，所述旋轉軸50及與所述旋轉軸50連接的所述隔板40被轉動。所述旋轉軸50與所述防護軸40 之間的連接以及所述防護軸40與所述動力源60之間的連接通過己知的連接方 法實施，即通過諸如銅悍或壓焊的焊接、螺栓連接、或鉸鏈與諸如軸承、鏈環(huán) 或類似的連接器的適當組合。對所述連接方法沒有特別的限制。如圖2-4所示， 應用于本發(fā)明的所述防逆流閥的所述旋轉軸50被成形為一形狀，從所述鉸軸延 伸至兩側的軸形成一預定角度。所述旋轉軸50的形狀增加所述旋轉軸50在一 有限區(qū)域內(nèi)的旋轉角度。在本說明書中所述旋轉軸50的旋轉角度指在所述隔板 40朝向所述第一連接部分20移動以使所述防逆流閥100關閉的狀態(tài)與所述防 逆流閥100被打開的狀態(tài)之間的一角度。換而言之，所述旋轉軸50的旋轉角度 指一角度，在該角度所述隔板40與所述第一連接部分20分離。所述旋轉角度 可以根據(jù)所述防逆流閥中要求的應用特性改變。即，但要求最大的排氣流導時， 所述旋轉軸50的旋轉角度增加以使排氣阻力減小。另外，如果必要，所述旋轉 軸50的旋轉角度可以減小。在本發(fā)明的防逆流閥中，不限制所述旋轉軸的旋轉 角度。然而，根據(jù)所述防逆流閥的應用環(huán)境，旋轉角度優(yōu)選20-90度。所述旋 轉軸的旋轉角度越大，所述排氣流導越高。尤其是，但要求高排氣流導時，所 述旋轉軸50的旋轉角度優(yōu)選設置為接近90度。在此情形下，但所述閥打開時， 旋轉軸50以及連接至所述旋轉軸50的所述隔板40緊靠所述閥體10的內(nèi)壁， 以諸塞流體的流動。此外，在所述閥中應當提供所述旋轉軸旋轉所需要的空間 以防止逆流。
本發(fā)明的所述防逆流閥100包括連接至所述旋轉軸50的一端的所述隔板 40，所述隔板40的直徑大于所述第一連接部分的內(nèi)徑而小于所述第二連接部分 的內(nèi)徑，并朝向所述第一連接部分旋轉以便在真空管線中發(fā)生異常時防止流體 流動。如上所述，但所述真空泵正常操作時，所述隔板40附著在所述閥體10 的內(nèi)壁上以增加排氣流導。接著，當真空泵的壓力由于真空泵的故障或類似而 降低時，所述隔板40自動朝向所述真空室移動，即朝向所述第一鏈接部分20， 以隔開所述真空室。不特別限制所述隔板40的形狀。所述隔板可以成形為任何形狀，只要能實現(xiàn)隔開所述第一連接部分20與所述闊體10。然而，考慮到氣 密性或類似，所述隔板40優(yōu)選被成形為圓盤或圓錐形狀。此外，所述隔板40 的防護直徑可被設置成朝向所述第一或第二連接部分并不特別限制。然而，考 慮到逆流，所述防護直徑優(yōu)選被設置朝向所述第一連接部分，即由應用壓力的 所述真空泵朝向所述真空室。此外，為了增加氣密性，優(yōu)選地， 一組如O形圈 11的彈性件設置在所述閥體10與所述隔板40之間。所述隔板40與所述旋轉 軸50的連接可以通過已知方法實施并不特別限制。圖3是用于說明所述隔板 40與所述旋轉軸50相互連接的一個例子的透視圖；圖4是用于說明所述隔板 40與所述旋轉軸50相互連接的另一例子的透視底視圖。在前面的例子中，所 述圓盤形狀的隔板40的圓周部分與所述旋轉軸50的所述端部可以被制成一個 部件，或通過焊接或類似相互連接，如圖3所示。在后面的例子中，所述圓盤 形狀的隔板40的下部的中央部分與所述旋轉軸50的所述端部可以通過焊接連 接或通過一鉸鏈連接，如圖4所示。在所述的兩個例子中，所述后面的例子(所 述隔板40的下部的中央部分與所述旋轉軸50的所述端部連接)更優(yōu)選增加氣 密性，因為壓力被均勻施加在所述隔板40上。
如上所述，常規(guī)的防逆流閥通過壓差打開與關閉，無任何動力源。因此， 但所述閥的軸承不平滑運行時，所述闊不可以在需要的時間操作，這不可能防 止所述真空室被污染。然而，本發(fā)明的防逆流閥(100)通過使用所述分離的動 力源60來驅動所述隔板40。因此，所述真空室可以被快速而精確地隔開。此 外，也可以增加可靠性，且增強了所述真空室的氣密性。至于所述動力源60， 可以使用諸如彈簧的彈性件、氣壓缸等。在本實施例的防逆流閥100中，采用 一氣壓缸。用作動力源60的所述氣壓缸60通過一軸承連接至所述旋轉軸50的 另一端，以便旋轉所述旋轉軸50。通過考慮所述隔板40和所述旋轉軸50的尺 寸和重量計算需要的壓力可正確地設計所述氣壓缸60的配置和尺寸。所述氣壓 缸60根據(jù)來自一分離的控制器(未示出)的打開和關閉信號操作。但所述真空 泵中發(fā)生異常時，接收一互鎖信號以驅動所述氣壓缸。接著，所述氣壓缸被操作以旋轉所述旋轉軸50,以使所述隔板40以與所述氣壓缸運行方向相反的方 向移動，從而快速關閉所述閥。
本發(fā)明的所述防逆流閥100還可以包括一由所述第一連接部分20至所述閥 體10的旁路路徑(未示出)及一能夠打開和關閉該旁路路徑的旁通閥(未示出)。 但所述防逆流閥100被打開位于大氣壓力被維持在所述防逆流閥100的上部部 分而真空被維持在所述防逆流閥100的下部部分的狀態(tài)時， 一個大的載荷被施 加給所述泵，使所述泵可能出故障。因此，所述旁路路徑和旁通閥被構造成慢 慢地流動流體。因為所述旁路路徑和旁通閥的結構和位置對本領域技術人員是 顯而易見的，所以在本說明書中省去其詳細說明。所述旁路路徑和旁通閥被打 開一定時器指定的時間。在所述指定的時間過去之后，連接至所述旋轉軸50的 所述隔板40被轉動并朝向所述閥體IO的壁表面移動，以進行主抽吸。
盡管本發(fā)明已參考典型實施例進行了說明，應當明白的是，本領域的技術人 員可以進行修改和改變，當所述的修改和改變對本領域人員是顯而易見時，此 類修改和改變將被包含在本發(fā)明所附權利要求的范圍內(nèi)。
權利要求
1、一種防逆流閥，其設置在真空室與真空泵之間，包括一閥體；第一和第二連接部分，其自所述閥體的兩端延伸并分別連接至自所述真空室和真空泵延伸的排氣管；一旋轉軸，其鉸接至所述閥體內(nèi)部上端以圍繞一鉸軸旋轉；一連接至所述旋轉軸的一端的隔板，其直徑大于所述第一連接部分的內(nèi)徑而小于所述閥體的內(nèi)徑，并朝向所述第一連接部分旋轉以在真空管線中發(fā)生異常時防止流體流動；及一動力源，其連接至所述旋轉軸的另一端，提供驅動力以驅動所述隔板。
2、 根據(jù)權利要求1所述的防逆流閥，還包括一在所述閥體的所述第一連接部分的開口的內(nèi)邊緣形成的環(huán)狀彈性件，其與所述隔板相接觸以增強氣密性。
3、 根據(jù)權利要求1所述的防逆流閥，其特征在于所述隔板被成形為圓盤或圓錐形狀。
4、 根據(jù)權利要求1所述的防逆流閥，其特征在于通過連接所述旋轉軸的所述端至所述隔板的圓周部分或連接所述隔板的下部的中央部分至所述旋轉鄰的所述端實現(xiàn)所述隔板與所述旋轉軸之間的連接。
5、 根據(jù)權利要求1所述的防逆流閥，其特征在于所述旋轉軸的旋轉角度在20-90度范圍內(nèi)。
6、 根據(jù)權利要求1-5任一項所述的防逆流閥，其特征在于所述動力源是一氣壓缸。
7、 根據(jù)權利要求6所述的防逆流閥，所述防逆流閥還包括一由與所述隔板接觸的所述第一連接部分至所述閥體的旁路路徑及一用于打開和關閉該旁路路徑的旁通閥。
8、 根據(jù)權利要求7所述的防逆流闊，其特征在于通過一氣壓缸控制所述旁通閥的打開和關閉。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種防逆流閥，利用一氣壓缸操作隔板。本發(fā)明所述的用于驅動所述隔板的分離的動力源及所述閥的內(nèi)部結構的由此的幾何形狀能夠使所述隔板被放置以減小排氣流導。由于增加了本發(fā)明所述的防逆流閥的排氣流導，因此處理時間減少，排氣效率提高并可快速而安全地防止由于所述真空泵的驟停而造成的逆流，從而防止所述真空室被污染。
文檔編號H01L21/02GK101461036SQ200780020374
公開日2009年6月17日 申請日期2007年5月29日 優(yōu)先權日2006年5月30日
發(fā)明者徐俊英 申請人:Astone技術有限公司