探針卡盒和探針卡輸送方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及探針卡盒和探針卡輸送方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件的制造步驟中，使用用于進(jìn)行形成在半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體器件的電檢查的探針裝置。在這樣的探針裝置中，使用配置有與半導(dǎo)體晶片上的電極極板接觸的多個(gè)探針的探針卡(例如參照專利文獻(xiàn)I。)。
[0003]在上述的探針卡中，開發(fā)有使探針與形成在半導(dǎo)體晶片上的多個(gè)半導(dǎo)體器件一起接觸的探針卡，來實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件檢查的效率化。在這樣的探針卡中，有時(shí)在從探針裝置取下的狀態(tài)下作業(yè)員將探針卡拿在手中進(jìn)行輸送。
[0004]但是，在使探針一起與半導(dǎo)體器件接觸的探針卡中，存在大型化、其重量也變重的趨勢(shì)。另外，在用手保持探針卡時(shí)，也需要使手不與探針接觸。因此，以在探針的配置區(qū)域的外側(cè)確保一定程度的較寬的區(qū)域的方式配置構(gòu)成部件，或者設(shè)置用于保持探針卡的把手等。
[0005]但是，在上述的構(gòu)成中，產(chǎn)生探針卡進(jìn)一步大徑化(大型化)，重量也變重，制造成本也增大等的問題。另一方面，為了避免這樣的問題，當(dāng)使探針卡小徑化(小型化)時(shí)，存在對(duì)其的操作處理變得困難的問題。
[0006]此外，也已知有將探針卡收納于盒來保護(hù)探針等的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)2、專利文獻(xiàn)3。)。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-80775號(hào)公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開平7-169800號(hào)公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)3:日本特開2003-100821號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明想要解決的技術(shù)問題
[0013]如上所述，在現(xiàn)有技術(shù)中，存在探針卡的大徑化(大型化)的問題，另外，從使對(duì)其的操作處理變得容易的觀點(diǎn)出發(fā)，存在探針卡的小徑化(小型化)困難的問題。
[0014]本發(fā)明是針對(duì)上述現(xiàn)有的情況而完成的，其目的在于提供一種能夠容易地進(jìn)行探針卡的操作處理且也能夠應(yīng)對(duì)小徑化(小型化)的探針卡的探針卡盒和探針卡輸送方法。
[0015]用于解決技術(shù)課題的技術(shù)方案
[0016]根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于收納探針卡的探針卡盒，其特征在于，包括:第I盒部件，其能夠?qū)⑸鲜鎏结樋ㄝd置在規(guī)定位置；第2盒部件，其能夠與上述第I盒部件的上側(cè)嵌合，具有用于固定上述探針卡的探針卡固定機(jī)構(gòu)；和盒固定機(jī)構(gòu)，其用于固定上述第I盒部件和上述第2盒部件，能夠在將上述探針卡收納在上述探針卡盒的內(nèi)部、且將上述第I盒部件和上述第2盒部件固定了的狀態(tài)下進(jìn)行輸送，并且，能夠在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態(tài)下，將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送。
[0017]本發(fā)明中，優(yōu)選能夠通過上述探針卡固定機(jī)構(gòu)從上述第2盒部件的外側(cè)固定上述探針卡，能夠?qū)⒈还潭ǖ纳鲜鎏结樋◤纳鲜龅?盒部件脫離。
[0018]本發(fā)明中，優(yōu)選上述第2盒部件的至少一部分為透明，從外部能夠目視收納于上述探針卡盒的內(nèi)部的上述探針卡。
[0019]本發(fā)明中，優(yōu)選在上述第2盒部件設(shè)置有多個(gè)用于搬運(yùn)的把手。
[0020]本發(fā)明中，優(yōu)選在上述第2盒部件的上表面和上述第I盒部件的下表面各自配置有在將多個(gè)上述探針卡盒重疊時(shí)相互嵌合的嵌合部。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，提供一種輸送探針卡的探針卡輸送方法，上述探針卡包括:絕緣性的基板；配置在上述基板的下表面的探針；配置在上述基板的上表面且通過與上述探針電連接而與電測(cè)定裝置連接的電連接部；和包圍上述基板的周圍的框體，上述探針卡輸送方法包括:在上述的探針卡盒內(nèi)收納上述探針卡的步驟；和在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態(tài)下，將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送的步驟。
[0022]發(fā)明效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明，能夠容易地進(jìn)行探針卡的操作處理且還能夠應(yīng)對(duì)小徑化(小型化)了的探針卡。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡盒的上側(cè)盒的俯視圖。
[0025]圖2是本實(shí)施方式的探針卡盒的下側(cè)盒的俯視圖。
[0026]圖3探針卡的俯視圖。
[0027]圖4是表示將探針卡載置在下側(cè)盒的狀態(tài)的俯視圖。
[0028]圖5是表示將探針卡收納在探針卡盒的狀態(tài)的俯視圖。
[0029]圖6A是圖5的探針卡盒的仰視圖。
[0030]圖6B是沿圖5和圖6A中的線A-A的截面圖。
[0031]圖7是表示將探針卡固定在上側(cè)盒的狀態(tài)的俯視圖。
[0032]圖8是用于說明探針卡的搬運(yùn)步驟的圖。
[0033]圖9是用于說明探針卡的搬運(yùn)步驟的圖。
[0034]圖10是用于說明探針卡的搬運(yùn)步驟的圖。
[0035]圖11是表示晶片檢查裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0036]圖12是表示沿圖11的晶片檢查裝置中的線B-B的截面概略構(gòu)成的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0038]圖1是構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡盒100 (參照?qǐng)D5)的上側(cè)盒(第2盒部件)200的俯視圖，圖2是表示構(gòu)成探針卡盒100的下側(cè)盒(第I盒部件)300的構(gòu)成的俯視圖。
[0039]本實(shí)施方式中，上側(cè)盒200至少一部分或整體由透明的樹脂構(gòu)成，呈大致矩形形狀。上側(cè)盒200具有板狀的頂板部201和從該頂板部201的周緣部向下方延伸的側(cè)壁部202。另外，上側(cè)盒200中，在相對(duì)的側(cè)壁部202(圖1中的上下的側(cè)壁部)配置有把手203，能夠握住把手203輸送該上側(cè)盒200以及使上側(cè)盒200和下側(cè)盒300合體了的狀態(tài)下的探針卡盒100。
[0040]另外，在上側(cè)盒200配置有多個(gè)翼形螺釘204 (圖1所示的例中為3個(gè))，作為用于將后述的探針卡400固定在上側(cè)盒200的探針卡固定機(jī)構(gòu)。這些翼形螺釘204插入配置在上側(cè)盒200的貫通孔205中。另外，如后述的圖6B所示配置成，用于使翼形螺釘204旋轉(zhuǎn)的翼部204a位于上側(cè)盒200的外側(cè)，用于與探針卡400螺合的陽(yáng)螺紋部204b位于上側(cè)盒200的內(nèi)側(cè)。
[0041]并且，在上側(cè)盒200的四個(gè)角各自設(shè)置有用于固定上側(cè)盒200和下側(cè)盒300的構(gòu)成盒固定機(jī)構(gòu)的上側(cè)固定機(jī)構(gòu)206。上側(cè)固定機(jī)構(gòu)206包括:在上側(cè)盒200的上表面環(huán)狀地突出的有底圓筒狀的框部206a，其配置在上側(cè)盒200的外側(cè)；以能夠自由旋轉(zhuǎn)的方式配置在該框部206a內(nèi)的旋鈕206b ;板狀的卡合部206c，其與該旋鈕206b連結(jié)，配置在上側(cè)盒200的內(nèi)部。而且，通過使旋鈕206b旋轉(zhuǎn)，卡合部206c轉(zhuǎn)動(dòng)，通過與圖2中后述的下側(cè)盒300的下側(cè)固定機(jī)構(gòu)304卡合，固定上側(cè)盒200和下側(cè)盒300。另外，上側(cè)盒200由透明的樹脂構(gòu)成，因此從外部能夠目視固定在內(nèi)部的探針卡400。
[0042]如圖2所示，下側(cè)盒300由樹脂等構(gòu)成，呈大致矩形形狀。下側(cè)盒300包括板狀的底板部301和從底板部301的周緣部向上方延伸的側(cè)壁部302。而且，與上側(cè)盒200嵌合而構(gòu)成容器狀的探針卡盒100。在下側(cè)盒300的底板部301，用于以將探針卡400 (參照?qǐng)D5)定位在規(guī)定位置的狀態(tài)載置探針卡400的多個(gè)(本實(shí)施方式中為3個(gè))載置部303分離地配置在規(guī)定位置。
[0043]在載置部303的外周側(cè)配置有定位部303b，其具有從探針卡400的載置面向上方突出且向內(nèi)周側(cè)突出的突起部303a。該定位部303b與后述的探針卡400的定位部404 (參照?qǐng)D5)的外周部抵接，突起部303a嵌合在探針卡400的用于定位的切口部404a內(nèi)。
[0044]另外，在下側(cè)盒300的底板部301，與上側(cè)盒200的上側(cè)固定機(jī)構(gòu)206對(duì)應(yīng)地配置有4個(gè)構(gòu)成盒固定機(jī)構(gòu)的下側(cè)固定機(jī)構(gòu)304。在這些下側(cè)固定機(jī)構(gòu)304各自設(shè)置有球塞304a。如圖6B所示，下側(cè)固定機(jī)構(gòu)304為在上下方向的中間部具有隙縫304b的結(jié)構(gòu)，球塞304a以成為其頂端部在該隙縫304b內(nèi)突出的狀態(tài)的方式被固定。而且，如上所述，配置在上側(cè)盒200的上側(cè)固定機(jī)構(gòu)206的卡合部206c —邊轉(zhuǎn)動(dòng)一邊插入該下側(cè)固定機(jī)構(gòu)304的隙縫304b內(nèi)，與球塞304a卡合而被固定。
[0045]圖3是從上側(cè)觀察探針卡400的俯視圖。如圖3所示，探針卡400包括絕緣性的基板401和以包圍基板401的周圍的方式配置的環(huán)狀的框體402。基板401例如能夠由陶瓷等構(gòu)成，框體402例如能夠由金屬等構(gòu)成。
[0046]在基板401的上表面配置有用于取得與測(cè)試器等電測(cè)定設(shè)備電連接的多個(gè)電連接部(未圖示)。圖3中所示的多個(gè)四邊形表示針對(duì)I個(gè)半導(dǎo)體芯片的多個(gè)電連接部的集合403，實(shí)際上在該四邊形的區(qū)域配置有多個(gè)電連接部。在基板401的下表面與電連接部對(duì)應(yīng)地配置有與電連接部電連接的多個(gè)探針(未圖示)。這些電連接部例如能夠與彈性針等抵接而獲得電導(dǎo)通。
[0047]本實(shí)施方式中，框體402為了使探針卡400整體小徑化，以稍微向基板401的外周延伸(例如5mm?20mm左右)的方式配置。另外，在框體402沿著周向隔開規(guī)定間隔地設(shè)置有多個(gè)(本實(shí)施方式為3個(gè))用于將探針卡400定位固定在規(guī)定位置的定位部404。這些定位部404以從框體402向外周突出的方式配置，包括用于定位的切口部404a和用于與上述的上側(cè)盒200的翼形螺釘204的陽(yáng)螺紋部204b螺合的螺紋孔404b。另外，與定位部404同樣地，用于粘貼記載有ID等的標(biāo)簽等的突出部405以從框體402向外周突出的方式在周向上隔開間隔地配置有多個(gè)(本實(shí)施方式為3個(gè))。
[0048]圖4表示在下側(cè)盒300的載置部303載置有探針卡400的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，通過探針卡400的定位部404及切口部404a和載置部303的定位部303b及突起部303a，探針卡400以定位于下側(cè)盒300的規(guī)定位置的狀態(tài)而被載置。此外，在探針卡400的下表面?zhèn)热缟纤?