晶圓夾盤的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及夾盤技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓夾盤。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的晶圓都是拿在手上進(jìn)行測量，操作時不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有的技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種晶圓夾盤。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種晶圓夾盤，包括夾盤座，所述夾盤座中間設(shè)有圓形夾孔，夾孔周邊套由橡膠套，所述夾盤座底部設(shè)有防震墊腳，側(cè)面設(shè)有可伸縮的工件臺。
[0005]本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明可對晶圓進(jìn)行固定方便測量，并且提供穩(wěn)定支撐，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0007]圖1是本發(fā)明的主視圖。
[0008]圖2是本發(fā)明的側(cè)視圖。
[0009]圖中1、夾盤座，2、夾孔，3、橡膠套，4、防震腳墊，5、工件臺。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1-2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，一種晶圓夾盤，包括夾盤座1，所述夾盤座1中間設(shè)有圓形夾孔2，夾孔2周邊套由橡膠套3，所述夾盤座1底部設(shè)有防震墊腳4，側(cè)面設(shè)有可伸縮的工件臺5。本發(fā)明可對晶圓進(jìn)行固定方便測量，并且提供穩(wěn)定支撐，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓夾盤，包括夾盤座(1 )，其特征是，所述夾盤座(1)中間設(shè)有圓形夾孔(2)，夾孔(2)周邊套由橡膠套(3)，所述夾盤座(1)底部設(shè)有防震墊腳(4)，側(cè)面設(shè)有可伸縮的工件臺(5)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及夾盤技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓夾盤，包括夾盤座，所述夾盤座中間設(shè)有圓形夾孔，夾孔周邊套由橡膠套，所述夾盤座底部設(shè)有防震墊腳，側(cè)面設(shè)有可伸縮的工件臺。本發(fā)明可對晶圓進(jìn)行固定方便測量，并且提供穩(wěn)定支撐，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號】CN105304548
【申請?zhí)枴緾N201510668908
【發(fā)明人】戴惠宇
【申請人】常州隆德電氣有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月13日