一種大功率直流等離子體電源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種大功率直流等離子體電源，包括n組串聯(lián)的PSM模塊、平波電感、第一電流測量模塊和反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，電網(wǎng)電壓經(jīng)真空斷路器與整流變壓器的輸入端相連，整流變壓器的輸出端分別連接至每組PSM模塊的輸入端，n組串聯(lián)的PSM模塊的輸出經(jīng)平波電感連接至輸出電極，所述第一電流測量模塊安裝在主回路母線上，所述反饋保護(hù)系統(tǒng)的輸入端與第一電流測量模塊相連，其輸出端分別與PSM模塊的控制端相連。本發(fā)明電源輸出電壓范圍大，輸出功率可達(dá)MW級，具有很好的動態(tài)特性、很短的反應(yīng)時間，能快速響應(yīng)等離子體負(fù)載的劇大擾動，具備很好的電流控制特性，保證了等離子體產(chǎn)品的質(zhì)量。
【專利說明】_種大功率直流等禹子體電源
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種電源，具體涉及一種大功率直流等離子體電源。
【背景技術(shù)】
[0003]目前，等離子體技術(shù)在冶金、噴涂、表面改性、環(huán)境治理、通信和探測以及其他工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，等離子體化工在生產(chǎn)過程中清潔無污染，而且不需要使用催化劑，工藝過程簡單、原料適應(yīng)性廣，在資源緊缺、環(huán)境問題日益嚴(yán)峻的今天，如何高效、合理的利用等離子體技術(shù)，是關(guān)系環(huán)保、資源綜合利用、節(jié)能減排、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化的重大課題。然而，要實現(xiàn)等離子體技術(shù)的多種應(yīng)用和全面推廣，關(guān)鍵在于要有響應(yīng)速度快、控制性能好、可靠性高的大功率等離子體電源和高性能的等離子體發(fā)生器。
[0004]根據(jù)電弧理論以及等離子體工藝情況，等離子體負(fù)載的能量穩(wěn)定性與電流直接相關(guān)，等離子體電源主要采用恒流源。在工藝過程中，由于氣體放電特性、氣體壓力、氣體組份以及等離子體溫度等多種因素的綜合影響，等離子體負(fù)載會出現(xiàn)較大擾動，例如打弧現(xiàn)象，會使等離子體負(fù)載電阻急劇減小，等離子體電源輸出近似短路，所以等離子體負(fù)載一般呈現(xiàn)水平或上升的伏安特性。如果等離子體電源輸出電壓不能快速響應(yīng)負(fù)載阻抗的變化時，就難以穩(wěn)定輸出電流，從而會失去等離子體的工藝條件，不能維持正常的放電過程，進(jìn)而無法保證工藝效果，影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，等離子體電源必須具備陡降特性，必須具有很好的動態(tài)特性、很短的反應(yīng)時間以適應(yīng)負(fù)載的急劇變化。
[0005]長期以來，國內(nèi)外傳統(tǒng)的大功率等離子體直流電源普遍采用可控硅整流電源，為獲得所需的陡降特性和穩(wěn)定的工作電流，通常需在回路中增加真空調(diào)整管，或串入能耗達(dá)幾十千瓦以上的電阻；由于交流電路的頻率和可控硅整流電路的特性等，也決定了可控硅整流電源的響應(yīng)時間只能達(dá)到毫秒量級(如工頻下三相橋式整流電路的平均失控時間就達(dá)到了 1.27ms)，而且，可控硅整流電源功率因數(shù)不高。所以，這種電源不僅效率低、能耗高，而且體積龐大、笨重，動態(tài)響應(yīng)速度慢，控制性能差，難以適應(yīng)負(fù)載阻抗特性的急劇變化。
[0006]近年來，也出現(xiàn)了使用高頻全橋逆變技術(shù)制作的等離子體電源，相比傳統(tǒng)可控硅整流電源，雖然高頻逆變電源具有節(jié)能、省材、對電網(wǎng)沖擊小以及較好的控制性能等優(yōu)點，但是在大功率等離子體負(fù)載工作環(huán)境下，大功率逆變式等離子體電源存在著并聯(lián)均流、溫升、電磁干擾、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、寄生參數(shù)等因素造成的強(qiáng)能量高效傳遞和可靠性等問題。
[0007]高性能、高可靠性的大功率直流等離子體電源的研制和開發(fā)，是國內(nèi)外大功率等離子體系統(tǒng)發(fā)展的瓶頸，對大功率等離子體系統(tǒng)全面發(fā)展和推廣應(yīng)用起著至關(guān)重要的作用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種大功率直流等離子體電源，不僅動態(tài)性能好，能在數(shù)微秒內(nèi)快速響應(yīng)等離子體負(fù)載輸出阻抗的急劇變化，穩(wěn)定輸出電流，保證產(chǎn)品質(zhì)量，而且該電源還具有$父尚的功率因數(shù)，很尚的效率和可靠性。
[0009]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案:包括η組串聯(lián)的PSM模塊、平波電感、第一電流測量模塊和反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，電網(wǎng)電壓經(jīng)真空斷路器與整流變壓器的輸入端相連，整流變壓器的輸出端分別連接至每組PSM模塊的輸入端，η組串聯(lián)的PSM模塊的輸出經(jīng)平波電感連接至輸出電極，所述第一電流測量模塊安裝在主回路母線上，用于測量電源輸出電流，并按比例轉(zhuǎn)換成電壓輸出后連接至反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，所述反饋保護(hù)系統(tǒng)的輸入端與第一電流測量模塊相連，其輸出端分別與PSM模塊的控制端相連。
[0010]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn):
所述反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，包括數(shù)字控制器和參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元，所述參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元與數(shù)字控制器交互連接，數(shù)字控制器的輸出端通過光纖與每個PSM模塊的控制端相連；
所述反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，用于通過與參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元進(jìn)行實時通訊，同時檢測主回路上電流測量模塊的輸出，計算所需投切的PSM模塊的個數(shù)。
[0011]所述的PSM模塊包括隔離變壓器、真空接觸器、軟充電電阻、整流電路、續(xù)流二極管、壓敏電阻、絕緣柵雙極型晶體管、IGBT驅(qū)動及控制模塊、比較器和第二電流測量模塊;所述整流電路由六個電力二極管組成，所述整流電路的交流輸入端分別依次經(jīng)交流熔斷器、真空接觸器與隔離變壓器的原邊相連，所述軟充電電阻并聯(lián)在真空接觸器的兩端，所述整流電路的負(fù)極輸出端與絕緣柵雙極型晶體管的集電極相連，絕緣柵雙極型晶體管的發(fā)射極與續(xù)流二極管的陰極相連，絕緣柵雙極型晶體管的柵極、集電極和發(fā)射極與IGBT驅(qū)動及控制模塊的輸出端相連，續(xù)流二極管的陽極與整流電路的正極輸出端相連，所述續(xù)流二極管的陽極經(jīng)吸收電容與絕緣柵雙極型晶體管的集電極相連，所述壓敏電阻、輸出電阻及濾波電容分別并聯(lián)在整流電路的輸出端，所述第二電流測量模塊安裝在絕緣柵雙極型晶體管的發(fā)射極，所述比較器的正向輸入端經(jīng)低通濾波器與第二電流測量模塊相連，其反向輸入端經(jīng)外圍電路與電源VCC相連，比較器的輸出端與IGBT驅(qū)動及控制模塊的輸入端相連，所述IGBT驅(qū)動及控制模塊的供電端與隔離變壓器的副邊相連。
[0012]所述所述的PSM模塊還包括指示電路，所述指示電路由限流電阻和發(fā)光二極管組成，所述發(fā)光二極管的陰極與整流電路的正極輸出端相連，其陽極經(jīng)限流電阻與絕緣柵雙極型晶體管的發(fā)射極相連。
[0013]由上述技術(shù)方案可知，本發(fā)明所述的大功率直流等離子體電源，其電源輸出電壓范圍大，輸出功率可達(dá)MW級，具有很好的動態(tài)特性、很短的反應(yīng)時間，能快速響應(yīng)(微秒量級)等離子體負(fù)載的劇大擾動，具備很好的電流控制特性，保證了等離子體產(chǎn)品的質(zhì)量。該大功率直流等離子體電源結(jié)構(gòu)簡單，具有故障冗余功能，部分模塊故障將不影響電源正常運行，可靠性高；同時，本發(fā)明具有很高的功率因數(shù)，提高了用電質(zhì)量，降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0014]圖1是本發(fā)明的總體電路圖；
圖2是本發(fā)明中PSM模塊的電路原理圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明:
如圖1所示，本實施例的大功率直流等離子體電源，包括η組串聯(lián)的PSM模塊2、平波電感
7、第一電流測量模塊8和反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，電網(wǎng)電壓經(jīng)真空斷路器I與整流變壓器3的輸入端相連，整流變壓器3的輸出端分別連接至每組PSM模塊2的輸入端，η組串聯(lián)的PSM模塊2的輸出經(jīng)平波電感7連接至輸出電極，第一電流測量模塊8安裝在主回路母線上，用于測量電源輸出電流，并按比例轉(zhuǎn)換成電壓輸出后連接至反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，反饋保護(hù)系統(tǒng)的輸入端與第一電流測量模塊8相連，其輸出端分別與PSM模塊2的控制端相連。
[0016]反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，包括數(shù)字控制器9和參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元10，參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元10與數(shù)字控制器9交互連接，數(shù)字控制器9的輸出端通過光纖11與每個PSM模塊2的控制端相連;該反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，用于通過與參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元10進(jìn)行實時通訊，同時檢測主回路上電流測量模塊的輸出，計算所需投切的PSM模塊2的個數(shù)。
[0017]如圖2所示，PSM模塊2包括隔離變壓器34、指示電路、真空接觸器21、軟充電電阻22、整流電路24、續(xù)流二極管31、壓敏電阻25、絕緣柵雙極型晶體管28、IGBT驅(qū)動及控制模塊35、比較器37和第二電流測量模塊30;整流電路24由六個電力二極管組成，整流電路24的交流輸入端分別依次經(jīng)交流熔斷器23、真空接觸器21與隔離變壓器34的原邊相連，軟充電電阻22并聯(lián)在真空接觸器21的兩端，整流電路24的負(fù)極輸出端與絕緣柵雙極型晶體管28的集電極相連，絕緣柵雙極型晶體管28的發(fā)射極與續(xù)流二極管31的陰極相連，絕緣柵雙極型晶體管28的柵極、集電極和發(fā)射極與IGBT驅(qū)動及控制模塊35的輸出端相連，續(xù)流二極管31的陽極與整流電路24的正極輸出端相連，續(xù)流二極管31的陽極經(jīng)吸收電容29與絕緣柵雙極型晶體管28的集電極相連，壓敏電阻25、輸出電阻26及濾波電容27分別并聯(lián)在整流電路24的輸出端，第二電流測量模塊30安裝在絕緣柵雙極型晶體管28的發(fā)射極，比較器37的正向輸入端經(jīng)低通濾波器36與第二電流測量模塊30相連，其反向輸入端經(jīng)外圍電路與電源VCC相連，比較器37的輸出端與IGBT驅(qū)動及控制模塊35的輸入端相連，IGBT驅(qū)動及控制模塊35的供電端與隔離變壓器34的副邊相連。該指示電路由限流電阻33和發(fā)光二極管32組成，發(fā)光二極管32的陰極與整流電路24的正極輸出端相連，其陽極經(jīng)限流電阻33與絕緣柵雙極型晶體管28的發(fā)射極相連。
[0018]該整流變壓器3的原邊采用三角形接法，可避免3次諧波電流流入電網(wǎng)，整流變壓器3副邊為星形接法4和三角形接法5交替，這樣可在直流側(cè)最終輸出12脈波整流電壓，能夠減小直流側(cè)的紋波，并有效抑制交流側(cè)的波形畸變。經(jīng)整流變壓器3變換成合適的電壓后進(jìn)入PSM模塊2的輸入端，PSM模塊2中整流單元及濾波單元可將交流電壓變換成穩(wěn)定的直流電壓，IGBT開關(guān)單元的導(dǎo)通與關(guān)斷決定每組PSM模塊是否投入，每組PSM模塊2的輸出電壓為Um，η組完全一致的PSM模塊2串聯(lián)后，最大輸出電壓值即可達(dá)到n*Um,在任何時刻電源的輸出電壓值取決于投入PSM模塊的個數(shù)，其值為Uout=m*Um (其中，m為投入模塊數(shù)，m彡n)，電源輸出電壓在O?n*Um之間可調(diào)，當(dāng)某個PSM模塊2關(guān)斷時，關(guān)斷模塊中的續(xù)流二極管31為回路中的電流提供續(xù)流通道。η組PSM模塊2串聯(lián)后的輸出再通過輸出電感7后，連接至等離子體負(fù)載的電極兩端，該輸出電感7可平滑輸出電流，減小電流脈動。
[0019]本發(fā)明的反饋控制保護(hù)系統(tǒng)以數(shù)字控制器9為核心，通過與參數(shù)設(shè)定及運行狀態(tài)監(jiān)控單元10實時通訊，接收電源每次工作的運行參數(shù)，并實時上傳電源實際運行狀態(tài);主回路上的第一LEM電流測量模塊8實時測量電源的輸出電流值，并按比例轉(zhuǎn)換成電壓輸出，通過屏蔽電纜將電壓值傳遞至數(shù)字控制器9的模擬量輸入口，數(shù)字控制器9將其轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的數(shù)字量并與運行參數(shù)中的電流設(shè)定值進(jìn)行比較、PID運算等，計算所需投切的PSM模塊9的個數(shù)，由數(shù)字控制器9對應(yīng)的GP1接口輸出，并通過光纖傳輸11連接至每個PSM模塊2的控制及驅(qū)動單元35，從而可以快速導(dǎo)通或關(guān)斷對應(yīng)PSM模塊2中的絕緣柵雙極型晶體管28，實現(xiàn)電源輸出電壓的快速變化，使得輸出電流快速跟蹤并穩(wěn)定在電流設(shè)定值;光纖傳輸單元也可實時將每個PSM模塊2的工作狀態(tài)傳遞至數(shù)字控制器9，并上傳至運行狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)。
[0020]如圖2所示，發(fā)光二極管32和限流電阻器33串聯(lián)組成的指示電路，用于顯示每個PSM模塊2的工作狀態(tài)，第二電流測量模塊30，用于監(jiān)測每個PSM模塊2的輸出電流。真空接觸器21和軟充電電阻22構(gòu)成軟充電電路，在準(zhǔn)備階段，當(dāng)真空斷路器I閉合時，整流變壓器3帶電時，PSM模塊2通過軟充電電阻22、整流電路24為濾波電容器27充電，當(dāng)濾波電容27上電壓達(dá)到其峰值的70%后，再合真空接觸器21，這樣可有效避免電容電壓過充，同時，若在工作工程中，發(fā)現(xiàn)濾波電容27兩端電壓高于保護(hù)閾值時，也可直接分?jǐn)嗾婵战佑|器21，保護(hù)設(shè)備和器件的安全。整流電路24由六只電力二極管組成，其中三只二極管為共陽極接法，另外三只為共陰極接法，輸出側(cè)并聯(lián)有濾波電容器27，一起構(gòu)成三相不可控整流濾波電路，將三相交流電壓變換成穩(wěn)定的直流電壓；串接于三相交流輸入回路的交流熔斷器23，用于保護(hù)相間短路過流;并聯(lián)在整流橋直流輸出端兩側(cè)的壓敏電阻器25，用于保護(hù)直流側(cè)輸出過壓;PSM模塊2的輸出級由IGBT模塊28及快恢復(fù)續(xù)流二極管31組成的類Buck結(jié)構(gòu)拓?fù)涞拈_關(guān)單元組成，每個PSM模塊2的投入與否只需通過導(dǎo)通或關(guān)斷該絕緣柵雙極型晶體管28(8卩IGBT)即可實現(xiàn)；并聯(lián)在IGBT集電極和續(xù)流二極管31陽極兩端的吸收電容29使用無感電容，可抑制IGBT、續(xù)流二極管31關(guān)斷過電壓和du/dt，降低關(guān)斷時的開關(guān)損耗和噪聲；當(dāng)IGBT模塊28導(dǎo)通時，該P(yáng)SM模塊2投入，并接在該模塊輸出端的發(fā)光二極管32點亮，表示該模塊處于工作狀態(tài)，與發(fā)光二極管串聯(lián)的限流電阻33限制通過發(fā)光二極管支路的電流，當(dāng)IGBT模塊28關(guān)斷時，該P(yáng)SM模塊未投入，主回路中的電流通過續(xù)流二極管31續(xù)流，同時發(fā)光二極管32熄滅，表示該P(yáng)SM模塊2未投入工作。
[0021 ]如圖2所示，IGBT驅(qū)動及控制模塊35的供電均取自該P(yáng)SM模塊2的三相交流輸入側(cè)，在三相交流輸入側(cè)任取其中兩相經(jīng)隔離變壓器34變換成合適的低壓后供給IGBT驅(qū)動及控制模塊，在模塊內(nèi)部再變換成多種電壓等級的直流電壓為不同器件提供直流工作電源，這樣可以保證整個PSM模塊2具有良好的絕緣和耐壓水平;PSM模塊2與主控制回路的信號聯(lián)絡(luò)全部通過光纖傳輸11進(jìn)行，主控制回路的控制信號通過光纖傳輸11到IGBT驅(qū)動及控制模塊35的信號接收端，經(jīng)模塊內(nèi)的驅(qū)動電路快速輸出正負(fù)驅(qū)動電壓施加到IGBT的柵極和發(fā)射極兩端，可控制IGBT進(jìn)行快速導(dǎo)通或關(guān)斷，同時PSM模塊2的工作狀態(tài)也可通過光纖傳輸11至主控制器。所述的安裝在每個PSM模塊2的IGBT開關(guān)側(cè)輸出母線上的LEM電流測量模塊30，用于測量每個PSM模塊的輸出電流，按比例轉(zhuǎn)換成電壓輸出后，經(jīng)過低通濾波器36濾除高頻干擾信號，與預(yù)設(shè)的過流保護(hù)閾值電壓一起連接到比較器37的輸出端，比較器37的輸出連接到IGBT驅(qū)動及控制模塊35的輸入口，若PSM模塊輸出電流超過保護(hù)閾值，則比較器37輸出為高電平，IGBT驅(qū)動及控制模塊35將立刻輸出負(fù)電壓使IGBT開關(guān)立即關(guān)斷，切斷PSM模塊2的輸出，防止過流損壞設(shè)備和器件。
[0022]本發(fā)明所述的電源適用于等離子體負(fù)載，在工作過程中，由于等離子體負(fù)載的放電特性、氣體壓力、溫度等多種因素的影響，等離子體負(fù)載會出現(xiàn)劇烈擾動，這就要求等離子體電源具有很好的動態(tài)特性，能快速響應(yīng)負(fù)載阻抗特性的急劇變化。采取這種PSM模塊2串聯(lián)的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，使用IGBT開關(guān)快速導(dǎo)通和關(guān)斷PSM模塊輸出的方式，就可以在數(shù)微秒內(nèi)響應(yīng)負(fù)載電壓的急劇變化，穩(wěn)定電流輸出，同時在出現(xiàn)過流、過壓等故障時，還可在數(shù)微秒內(nèi)切斷電源輸出，保障設(shè)備安全;不僅如此，當(dāng)某個或者某k個PSM模塊因故障不能工作時，只要所期望的輸出電壓值小于(n-k)*Um時，電源仍然可以繼續(xù)工作，因而該新型大功率直流等離子體電源還具有很好的故障冗余功能。
[0023]以上所述的實施例僅僅是對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進(jìn)行描述，并非對本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本發(fā)明的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本發(fā)明權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種大功率直流等離子體電源，其特征在于:包括η組串聯(lián)的PSM模塊(2)、平波電感(7)、第一電流測量模塊(8)和反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，電網(wǎng)電壓經(jīng)真空斷路器(I)與整流變壓器(3)的輸入端相連，整流變壓器(3)的輸出端分別連接至每組PSM模塊(2)的輸入端，η組串聯(lián)的PSM模塊(2 )的輸出經(jīng)平波電感(7 )連接至輸出電極，所述第一電流測量模塊(8 )安裝在主回路母線上，用于測量電源輸出電流，并按比例轉(zhuǎn)換成電壓輸出后連接至反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，所述反饋保護(hù)系統(tǒng)的輸入端與第一電流測量模(8)相連，其輸出端分別與PSM模塊(2)的控制端相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大功率直流等離子體電源，其特征在于:所述反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，包括數(shù)字控制器(9)和參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元(10)，所述參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元(10)與數(shù)字控制器(9)交互連接，數(shù)字控制器(9)的輸出端通過光纖(11)與每個PSM模塊(2)的控制端相連。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大功率直流等離子體電源，其特征在于:所述反饋控制保護(hù)系統(tǒng)，用于通過與參數(shù)設(shè)定運行狀態(tài)監(jiān)控單元(10)進(jìn)行實時通訊，同時檢測主回路上電流測量模塊的輸出，計算所需投切的PSM模塊(2)的個數(shù)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大功率直流等離子體電源，其特征在于:所述的PSM模塊(2)包括隔離變壓器(34)、真空接觸器(21)、軟充電電阻(22)、整流電路(24)、續(xù)流二極管(31)、壓敏電阻(25)、絕緣柵雙極型晶體管(28)、IGBT驅(qū)動及控制模塊(35)、比較器(37)和第二電流測量模塊(30);所述整流電路(24)由六個電力二極管組成，所述整流電路(24)的交流輸入端分別依次經(jīng)交流熔斷器(23)、真空接觸器(21)與隔離變壓器(34)的原邊相連，所述軟充電電阻(22)并聯(lián)在真空接觸器(21)的兩端，所述整流電路(24)的負(fù)極輸出端與絕緣柵雙極型晶體管(28)的集電極相連，絕緣柵雙極型晶體管(28)的發(fā)射極與續(xù)流二極管(31)的陰極相連，絕緣柵雙極型晶體管(28)的柵極、集電極和發(fā)射極與IGBT驅(qū)動及控制模塊(35)的輸出端相連，續(xù)流二極管(31)的陽極與整流電路(24)的正極輸出端相連，所述續(xù)流二極管(31)的陽極經(jīng)吸收電容(29)與絕緣柵雙極型晶體管(28)的集電極相連，所述壓敏電阻(25)、輸出電阻(26)及濾波電容(27)分別并聯(lián)在整流電路(24)的輸出端，所述第二電流測量模塊(30)安裝在絕緣柵雙極型晶體管(28)的發(fā)射極，所述比較器(37)的正向輸入端經(jīng)低通濾波器(36)與第二電流測量模塊(30)相連，其反向輸入端經(jīng)外圍電路與電源VCC相連，比較器(37)的輸出端與IGBT驅(qū)動及控制模塊(35)的輸入端相連，所述IGBT驅(qū)動及控制模塊(35)的供電端與隔離變壓器(34)的副邊相連。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大功率直流等離子體電源，其特征在于:所述所述的PSM模塊(2)還包括指示電路，所述指示電路由限流電阻(33)和發(fā)光二極管(32)組成，所述發(fā)光二極管(32)的陰極與整流電路(24)的正極輸出端相連，其陽極經(jīng)限流電阻(33)與絕緣柵雙極型晶體管(28)的發(fā)射極相連。
【文檔編號】H02M7/217GK106026702SQ201610340056
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月23日
【發(fā)明人】金國衛(wèi), 許衛(wèi), 張榮正, 許勇
【申請人】安徽省金屹電源科技有限公司