專利名稱：級聯(lián)源以及用于控制級聯(lián)源的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種設(shè)置有陰極罩、多個(gè)級聯(lián)板以及陽極板的級聯(lián)源 (cascade source)，所述各級聯(lián)板互相絕緣、依次疊置，共同限定至 少一個(gè)等離子通道，所述陽極板設(shè)置有連接至所述等離子通道的流出 □。
背景技術(shù)：
在實(shí)踐中這樣的級聯(lián)源是眾所周知的。最初的級聯(lián)源是1956年由 Maecker發(fā)明的。后來，由Kroesen等人又據(jù)此發(fā)明了氬等離子源。公 知的級聯(lián)源設(shè)置有銅陰極罩和三個(gè)陰極，陰極具有進(jìn)入陰極罩的鎢尖。 在此公知的裝置內(nèi)，級聯(lián)板由銅制成，并包含冷卻通道，通過此冷卻 通道引入水來冷卻級聯(lián)板。在每兩個(gè)互相疊置的銅板之間，有O型環(huán)、 PVC之類的絕緣板以及氮化硼板，它們共同形成真空密封和電絕緣。 等離子弧在陰極尖和陽極的流出口之間延伸。通常，級聯(lián)源連接至處 理腔，此處理腔內(nèi)的壓力極度降低。在較高的壓力下將流體供應(yīng)至陰 極罩內(nèi)。該流體從陰極罩通過等離子通道高速流向處理腔。此氣流的 結(jié)果使等離子擴(kuò)散至處理腔，這樣等離子在處理腔是活動(dòng)的。
在公知的級聯(lián)源中，三個(gè)陰極都與銅陰極罩絕緣。由于在公知的 源內(nèi)導(dǎo)電陰極罩和陰極的電極尖之間的距離很小，在等離子的點(diǎn)火期 間，極有可能在短時(shí)間內(nèi)在電極尖和陰極罩之間發(fā)生破壞性放電。這 種破壞性放電伴隨著電極尖的濺蝕，大大縮短了電極尖的使用壽命。此外，破壞性放電的結(jié)果是在處理環(huán)境中消耗銅，這對在處理腔內(nèi)待 處理的基板會(huì)產(chǎn)生災(zāi)難性的后果。因此，在公知的源內(nèi)，必須定期更 換陰極。在公知的設(shè)備內(nèi)，陰極罩內(nèi)陰極的更換以及隨后的電極尖的 重新定位是十分費(fèi)時(shí)而艱難的工作。這是因?yàn)楫?dāng)拆陰極罩時(shí)，也破壞 了級聯(lián)板之間的相互連接。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種級聯(lián)源，該級聯(lián)源的各方面都得到了改善，因此 其能更好地應(yīng)用于工業(yè)。
為此，本發(fā)明提供一種級聯(lián)源，其包括 陰極罩；
多個(gè)級聯(lián)板，所述級聯(lián)板彼此絕緣并依次疊置； 由所述多個(gè)級聯(lián)板限定的至少一個(gè)等離子通道； 陽極板，所述陽極板設(shè)置有連接至所述等離子通道的流出口； 每個(gè)等離子通道一個(gè)陰極，該陰極包括電極，所述電極相對于所 述陰極罩能夠沿所述等離子通道的方向調(diào)節(jié)；并且
所述等離子通道完全由對基板無害的材料制成的部件限定。
使用由對基板無害的材料制成的部件限定等離子通道，會(huì)使通過 使用該級聯(lián)源而獲得的終端產(chǎn)品的質(zhì)量更好。
在該級聯(lián)源的實(shí)施例中可包括
絕緣板，所述絕緣板位于所述級聯(lián)板之間，并提供所述級聯(lián)板之 間的絕緣；
置于所述絕緣板內(nèi)部的襯物，所述襯物限定等離子，并由對基板 無害的材料制成。
在該襯物的材料的實(shí)施例中可包括鉬。在該級聯(lián)源的實(shí)施例中可包括
置于所述級聯(lián)板和所述陽極板內(nèi)部的襯物，所述襯物限定等離子， 并由對基板無害的材料制成。
這兩個(gè)實(shí)施例具有如下優(yōu)點(diǎn)可以選擇絕緣板和級聯(lián)板的材料， 使得它們最好地適合其目的，例如，絕緣、傳熱、導(dǎo)電等等。
在一個(gè)實(shí)施例中，所述級聯(lián)板和所述陽極板可由銅制成，其中所 述襯物的材料包括鉬。
在另一個(gè)實(shí)施例中，所述級聯(lián)板和具有流出口的所述陽極板可完 全由對基板無害的材料制成。
由于電極相對于陰極罩在等離子通道的方向上可調(diào)節(jié)，優(yōu)選為棒 型的電極的尖的定位可以簡單實(shí)現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，當(dāng)所述電極是標(biāo)準(zhǔn)的焊接電極時(shí)，本 發(fā)明特別受歡迎。
因?yàn)殡姌O被設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)的焊接電極，因此該電極可在全世界通用。 構(gòu)造所述源的設(shè)計(jì)使得如TIG焊接電極的標(biāo)準(zhǔn)電極，無需調(diào)整即可直 接使用。這樣的電極比迄今所知的級聯(lián)弧內(nèi)的電極更能經(jīng)受高安培電 流，而用于公知的弧的電極尖需要特別制作。該標(biāo)準(zhǔn)焊接電極不僅在 所關(guān)注的購買方面具有特別的優(yōu)勢，而且還具有相當(dāng)長的使用壽命。 且，維護(hù)也特別簡單。只需磨尖標(biāo)準(zhǔn)焊接電極的端部，就可重新使用 焊接電極。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，陰極罩連接至電極罩，電極罩具有夾 緊裝置用于可調(diào)節(jié)地連接電極。提供獨(dú)立的陰極罩，該陰極罩連接至具有夾緊裝置的電極罩，這 樣的事實(shí)使得在電極罩和陰極罩的材料選擇方面有更多的自由。具有 夾緊裝置的電極罩向電極傳送力用于夾緊電極。此外，電極罩的材料 需要適于散發(fā)電極內(nèi)產(chǎn)生的熱。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，當(dāng)用于制作陰極罩的材料是非導(dǎo)體材 料時(shí)，本發(fā)明特別受歡迎。這提供了一種優(yōu)勢，那就是電極尖可在與 其他金屬部件有一定距離的地方被定位。在公知的級聯(lián)源內(nèi),電極尖 位于銅陰極罩的壁附近。在一定的壓力條件下，特別是在起動(dòng)的過程 中，在公知的源內(nèi)，在電極尖和陰極罩之間常會(huì)發(fā)生破壞性放電。這 種破壞性的放電伴隨著電極尖的濺蝕，大大縮短了電極尖的使用壽命。 有時(shí)，破壞性放電的結(jié)果是銅在處理環(huán)境中被用完，這連同一些基板， 導(dǎo)致對處理結(jié)果的破壞。
為了最大程度地減少破壞性放電，根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，電 極尖位于絕緣陰極罩的底部附近，帶有夾緊裝置的電極罩位于絕緣陰 極罩的頂部附近，電極通過電極通道延伸，其延伸至絕緣陰極罩內(nèi)部。 因此，在這種設(shè)計(jì)中，就不會(huì)出現(xiàn)因破壞性放電而使電極熔化到夾緊 裝置。
而且，在源的起動(dòng)和正常的使用過程中，為了始終保持不利于破 壞性放電的電極通道內(nèi)的氣壓梯度，根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，優(yōu)選 地，電極通道的直徑僅比電極的直徑稍微大一點(diǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，非導(dǎo)體材料可以是陶瓷。
根據(jù)本發(fā)明的可替換的進(jìn)一步說明，非導(dǎo)體材料可以是石英。石 英具有極好的透明特性，因此其提供了可視地檢查電極的可能性。不
僅可以檢查電極尖的位置和狀況，還可以檢査等離子是否已點(diǎn)火。
9根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，用石英制作的陰極罩上，至少能提供 一個(gè)傳感器。例如，該傳感器可以是光學(xué)傳感器系統(tǒng)，該系統(tǒng)測量等 離子內(nèi)的光譜線。這里，傳感器的信號(hào)可以被傳送至控制裝置用于調(diào) 整該處理，如通過改變氣體供應(yīng)或改變陰極和陽極之間的電勢差。另 一方面，能夠根據(jù)觀測到的信號(hào)實(shí)現(xiàn)處理過程的保護(hù)。通過使用光學(xué)
發(fā)射光譜分析儀(OES)這種裝置，甚至可以執(zhí)行對陰極罩內(nèi)形成的等 離子的化學(xué)分析。
優(yōu)選地，夾緊裝置是套爪夾頭型。套爪夾頭型的夾緊裝置指夾緊 裝置帶有夾緊套，夾緊套的部分長度上帶有多個(gè)縱向的槽，這樣由縱 向槽限定的套的壁部能互相輕壓。這里，套的外部將包括錐形部件， 該錐形部件能被壓入錐形腔，這樣當(dāng)其被壓入該腔中時(shí)，壁部互相擠 壓。由壁部限定的內(nèi)部空間，即由套限定的通道，因此變窄。這樣， 當(dāng)電極被放入套通道時(shí)，電極就被固定，或因通道被縮小而被夾緊。 通過釋放錐形腔內(nèi)的套的壓力，如可通過旋松鎖緊螺母來實(shí)現(xiàn)，由于 套材料的彈性使得套通道的變窄被取消，因此電極在縱向上可移動(dòng)。 這種夾緊的優(yōu)點(diǎn)是電極總是保持在夾緊套的中央，而夾緊套反過來又 固定在電極罩的中央。因此，能簡單地實(shí)現(xiàn)電極貫穿于電極通道的中 心。套內(nèi)的縱向槽進(jìn)一步提供通過這些縱向槽向電極通道供氣的可能 性。所述氣體可以僅由等離子點(diǎn)火氣體組成，也可包括反應(yīng)氣體。此 外，除了縱向槽，能夠提供另外的氣體通道用于向電極通道供氣。因 而能夠?qū)崿F(xiàn)夾緊套的最佳冷卻，從而獲得電極的最佳冷卻。由于套是 優(yōu)選地由金屬制成，因而套也可以用來向電極提供電源。因此，套爪 夾頭型的夾緊裝置的功能有三方面
電極的居中夾緊
向電極提供電源
冷卻電極
本發(fā)明也涉及一種用于根據(jù)本發(fā)明控制級聯(lián)源的方法，特別是一 種具有石英陰極罩或基本透明的罩部分的級聯(lián)源，該透明的陰極罩部分提供檢查源內(nèi)等離子的可能性。該方法包括
提供根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，所述級聯(lián)源具有罩，該罩的 至少一部分基本透明；
通過基本透明的罩部分監(jiān)測等離子的電磁輻射；
根據(jù)所監(jiān)測的輻射，如通過改變氣體供應(yīng)或改變陰極和陽極之間 的電勢差或上述改變的組合，控制所述源內(nèi)的等離子形成過程。
這樣，在該處理中，可檢査并影響等離子的含量、溫度以及其他 特性，這非常有望獲得有效安全的源的操作。
根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步說明，可由至少一個(gè)設(shè)置在陰極罩上的傳感 器通過基本透明的罩部分來執(zhí)行對等離子的檢測。
被監(jiān)測的電磁輻射可以在IR、可見光和/或UV光譜范圍之內(nèi)。
通過監(jiān)測等離子而獲得的信號(hào)可用作IR、光學(xué)或UV發(fā)射光譜分 析儀，以對陰極罩內(nèi)形成的等離子做化學(xué)分析。
載氣和/或反應(yīng)氣體的量可根據(jù)通過監(jiān)測等離子而獲得的數(shù)據(jù)進(jìn) 行調(diào)節(jié)。這樣做可為所執(zhí)行的處理獲得最佳等離子。
而且，通過監(jiān)測等離子而獲得的數(shù)據(jù)可用來控制源的安全，如當(dāng) 觀察到危險(xiǎn)的等離子狀況時(shí)，關(guān)閉源或調(diào)整源。


在各權(quán)利要求中對本發(fā)明作詳細(xì)說明，下面將根據(jù)示范性的實(shí)施 例并參照附圖進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
圖1是級聯(lián)源的示范性實(shí)施例的俯視圖； 圖2是圖1中沿線II-II的第一截面圖3是圖i中沿線ni-ni的第二截面圖；以及圖4a-4b示出了帶多個(gè)等離子通道的級聯(lián)板的兩個(gè)示例。
具體實(shí)施例方式
圖1中的級聯(lián)源的示范性實(shí)施例的俯視圖清晰地示出了圖2和圖 3中截面的截取方式。
圖2中的第一截面圖示出了級聯(lián)源1，其設(shè)置有陰極罩2和電極 罩3，電極罩3具有用于電極5的夾緊裝置4。而且，可看見各級聯(lián)板 6，這些級聯(lián)板6由特氟綸絕緣板7互相電絕緣。級聯(lián)板6和絕緣板7 一起限定等離子通道8。在級聯(lián)板6遠(yuǎn)離陰極罩2的一側(cè)，安排有陽極 板9，陽極板9設(shè)置有連接至等離子通道8的流出口 10。應(yīng)該注意， 也可提供多個(gè)等離子通道8。優(yōu)選地，電極5是標(biāo)準(zhǔn)商業(yè)可用的焊接電 極，如TIG焊接電極。設(shè)計(jì)電極罩3內(nèi)的夾緊裝置4，使得電極5沿等 離子通道8的方向上可相對陰極罩2調(diào)節(jié)。
在本示范性的實(shí)施例中，陰極罩2由非導(dǎo)體材料制成，如陶瓷或 石英。圖中可清楚地看到，電極5的尖5a位于絕緣陰極罩2的底部附 近，帶有夾緊裝置4的電極罩3位于該絕緣陰極罩的頂部附近。電極5 穿過電極通道11延伸，其延伸至絕緣陰極罩2內(nèi)。電極通道11的直 徑比電極5的直徑稍微大一點(diǎn)。
裝配在電極罩3中的夾緊裝置4是套爪夾頭型。為此，設(shè)置有夾 緊套12，夾緊套12具有縱向槽并具有外護(hù)套，外護(hù)套具有錐形部分 13。錐形部分13可被壓入具有相應(yīng)的錐形形狀的腔14。當(dāng)擰緊固定螺 母15時(shí)，施加壓力。在電極5上面放置有保護(hù)蓋，通過此裝置，遠(yuǎn)離 電極尖5a的電極的末端得到了保護(hù)。
電極罩3設(shè)置有連接至冷卻通道18的連接短管17。而且，尤其 在圖3中，可以看到電極罩3內(nèi)的供氣連接件34。還是在級聯(lián)板6內(nèi)， 設(shè)置有冷卻通道19，其與連接短管20相連，用于冷卻線圈。在陽極板9內(nèi)，可看到冷卻通道21，其與連接短管22相連。而且，可看到液體供應(yīng)環(huán)30，其連接至供氣通道31，供氣通道31連接至供應(yīng)短管32，用于以液體、氣體或粉末的狀態(tài)供應(yīng)輔助流體。
圖3清楚地示出了由第一連接裝置23、 24將級聯(lián)板6和陰極罩2相互保持在一起。電極罩3通過第二連接裝置25連接至陰極罩2。這樣可實(shí)現(xiàn)把電極罩3從具有級聯(lián)板6的陰極罩2上取下來，而不會(huì)破壞級聯(lián)板6和陰極罩2之間的互相連接。特別是在用于重新定位電極尖的時(shí)候，在不破壞各級聯(lián)板6以及帶陰極罩2的各級聯(lián)板6之間的互相連接的情況下，從陰極罩2取下電極罩3時(shí)十分方便。當(dāng)重新放置或重新設(shè)置電極尖時(shí)，這大大節(jié)省了設(shè)置時(shí)間，這十分重要，特別是在生產(chǎn)環(huán)境中。
在本示范性的實(shí)施例中，各級聯(lián)板6和陰極罩2通過螺紋連接端/螺母組件23、 24互相連接，該組件從陽極板9延伸至陰極罩2遠(yuǎn)離級聯(lián)板6的一側(cè)。螺紋連接端由陶瓷襯套26絕緣，到達(dá)陰極罩2內(nèi)的凹槽27 (見圖3)。這樣，在螺紋連接端23之間的破壞性放電的機(jī)會(huì)就被降低到最低程度，實(shí)際上該螺紋連接端23具有陽極板9的電勢。圖3也清晰地示出了在陰極罩2遠(yuǎn)離級聯(lián)板6的一側(cè)設(shè)置有凹槽28,在凹槽28中容納螺紋連接端/螺母組件的螺母24。由于螺母24和螺紋連接端23的末端與電極罩3有一定的距離，這樣，可防止電極罩3和螺紋連接端/螺母組件23、 24之間的破壞性放電。
根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，這里未示出，級聯(lián)板和中間絕緣板之間的連接可通過焊接連接來實(shí)現(xiàn)，而不是通過螺紋連接端/螺母組件夾緊來實(shí)現(xiàn)連接。這意味著級聯(lián)板與絕緣板成為一體。那么，該源只包括以下的主要部件電極罩、陰極罩、級聯(lián)疊堆以及陽極板。當(dāng)級聯(lián)疊堆被包圍在封閉的空間并具有防短路的充分絕緣時(shí)，這提供了用冷卻介質(zhì)如水來包圍級聯(lián)疊堆的可能性。在此實(shí)施例中，絕緣板可以用如A10合金制成。在兩個(gè)平的側(cè)面，這種絕緣板可提供有可焊接的金屬層，如鉬層。
為了防止銅污染該處理環(huán)境，等離子通道8可全部由利用對基板無害的材料制成的部件限定。對于太陽能電池的生產(chǎn)，這些可以是鉬
部件。在本示范性的實(shí)施例中，只在絕緣板7的內(nèi)部放置鉬襯物33。同樣，限制流出口 10的陽極板9內(nèi)的噴嘴29也是由鉬制成的。在本示范性的實(shí)施例中，級聯(lián)板6完全由對基板無害的材料制成。級聯(lián)板6也可以由銅制成，并僅在等離子通道8的位置處，設(shè)置對基板無害的襯物，如按照對絕緣板7所示的方式。后一種方案具有這樣的優(yōu)點(diǎn)能實(shí)際利用銅良好的導(dǎo)熱性能，同時(shí)，仍然將銅對處理環(huán)境的污染降到最低程序。
圖1清楚地示出了容納于導(dǎo)電級聯(lián)板6之間的絕緣板7的外形尺寸比級聯(lián)板6的外形尺寸大。該措施也可用于防止各級聯(lián)板6之間的短路，如因在冷卻的級聯(lián)板外面形成的凝結(jié)物而導(dǎo)致的短路。較大的絕緣板7可防止、或至少可降低這種短路的機(jī)會(huì)。
顯而易見本發(fā)明并不限于該示范性的實(shí)施例，而是可在權(quán)利要求所限定的范圍之內(nèi)作各種修改。
例如，圖4a和圖4b分別示出了其內(nèi)貫穿有等離子通道8的級聯(lián)板6的俯視圖。在此實(shí)施例中，每個(gè)等離子通道8具有相應(yīng)的電極5。優(yōu)選地，等離子通道8的定位與待處理的基板的形狀相匹配，這樣可在基板的整個(gè)表面獲得所期望的處理。
而且，至少一個(gè)級聯(lián)板可提供有供氣通道用于輔助氣體。從而能夠?qū)崿F(xiàn)在源內(nèi)的一部分仍有較高的壓力，可向等離子供應(yīng)反應(yīng)氣體。這提供了這樣的優(yōu)點(diǎn)源內(nèi)較高的氣體濃度使反應(yīng)過程加快。
權(quán)利要求
1.一種級聯(lián)源，包括陰極罩；多個(gè)級聯(lián)板，所述級聯(lián)板彼此絕緣并依次疊置；由所述多個(gè)級聯(lián)板限定的至少一個(gè)等離子通道；陽極板，所述陽極板設(shè)置有連接至所述等離子通道的流出口；每個(gè)等離子通道一個(gè)陰極，該陰極包括電極，所述電極相對于所述陰極罩能夠沿所述等離子通道的方向調(diào)節(jié)；并且所述等離子通道完全由對基板無害的材料制成的部件限定。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的級聯(lián)源，包括絕緣板，所述絕緣板位于所述級聯(lián)板之間，并提供所述級聯(lián)板之 間的絕緣；置于所述絕緣板內(nèi)部的襯物，所述襯物限定等離子，并由對基板 無害的材料制成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的級聯(lián)源，其中所述襯物的材料包括鉬。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，包括置于所述級聯(lián)板和所述陽極板內(nèi)部的襯物，所述襯物限定等離子， 并由對基板無害的材料制成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的級聯(lián)源，其中所述級聯(lián)板和所述陽極板 由銅制成，其中所述襯物的材料包括鉬。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的級聯(lián)源，其中所述級聯(lián)板和所述陽極板 由對基板無害的材料制成，所述陽極板具有包含所述流出口的噴嘴。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的級聯(lián)源，其中所述電極是標(biāo)準(zhǔn)焊接電極。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，包括電極罩，所述電極罩具有夾緊裝置用于可調(diào)節(jié)地連接所述電極， 所述陰極罩連接至所述電極罩。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的級聯(lián)源，其中所述陰極罩基本上由非導(dǎo) 體材料制成。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的級聯(lián)源，其中所述電極具有位于該絕緣陰極罩的底部附近的電極尖，并且其中帶有所述夾緊裝置的所述電 極罩位于所述絕緣陰極罩的頂部附近，其中，所述電極穿過電極通道 延伸，其延伸至所述絕緣陰極罩內(nèi)部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的級聯(lián)源，其中所述電極通道的直徑僅 稍大于所述電極的直徑。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的級聯(lián)源，其中所述非導(dǎo)體材料是陶瓷。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的級聯(lián)源，其中所述非導(dǎo)體材料是石英。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的級聯(lián)源，其中所述陰極罩上至少設(shè)置 有一個(gè)傳感器，如光傳感器系統(tǒng)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的級聯(lián)源，其中所述傳感器的信號(hào)被傳 送至控制裝置用于調(diào)整該處理，如改變氣體供應(yīng)或改變陰極和陽極之 間的電勢差。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的級聯(lián)源，其中所述傳感器是設(shè)備的一 部分，該設(shè)備用于執(zhí)行光發(fā)射光譜儀分析(OES)，用于所述陰極罩內(nèi) 形成的所述等離子的化學(xué)分析。
17. 根據(jù)至少權(quán)利要求8所述的級聯(lián)源，其中由第一連接裝置把 所述級聯(lián)板和所述陰極罩相互保持在一起，其中所述電極罩通過第二 連接裝置連接至所述陰極罩，從而能夠?qū)崿F(xiàn)將所述電極罩從具有所述 級聯(lián)板的所述陰極罩上取下來，而不會(huì)破壞所述級聯(lián)板和所述陰極罩 之間的相互連接。
18. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的級聯(lián)源，所述級聯(lián)板和所述陰極罩通 過螺紋連接端/螺母或螺栓/螺母組件互相連接，該組件從所述陽極板延 伸至所述陰極罩遠(yuǎn)離所述級聯(lián)板的一側(cè)，其中，所述螺紋連接端或螺 栓由陶瓷襯套絕緣，到達(dá)所述陰極罩內(nèi)的凹槽。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的級聯(lián)源，其中在所述陰極罩遠(yuǎn)離所述 級聯(lián)板的一側(cè)提供有凹槽，凹槽能夠容納螺紋連接端/螺母或螺栓/螺母 組件的螺母，以使螺母以及螺紋連接端的末端或螺栓與電極罩保持一 定距離。
20. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，包括絕緣板，容納在所述各導(dǎo)電級聯(lián)板之間，所述絕緣板的外形尺寸 比所述級聯(lián)板的外形尺寸大。
21. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，設(shè)置有多于一個(gè)的電極和相 應(yīng)數(shù)量的等離子通道。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的級聯(lián)源，其中等離子通道的定位與待 處理的基板的形狀相匹配，從而能夠在所述基板的整個(gè)表面獲得所期 望的處理。
23. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，其中，在至少一個(gè)級聯(lián)板內(nèi) 設(shè)置有延伸至至少一個(gè)等離子通道的供氣通道。
24. 根據(jù)至少權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，其中所述級聯(lián)板和所述中間絕緣板之間的連接由焊接連接來實(shí)現(xiàn)。
25. —種用于控制級聯(lián)源的方法，所述方法包括提供根據(jù)權(quán)利要求1所述的級聯(lián)源，所述級聯(lián)源具有罩，該罩的至少一部分基本透明；通過基本透明的罩部分監(jiān)測等離子的電磁輻射；根據(jù)所監(jiān)測的輻射，如通過改變氣體供應(yīng)或改變陰極和陽極之間的電勢差或上述改變的組合，控制所述源內(nèi)的等離子形成過程。
26. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中，由至少一個(gè)設(shè)置在所述陰極罩上的傳感器執(zhí)行通過基本透明的罩部分監(jiān)測等離子。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的方法，其中，被監(jiān)測的電磁輻射在IR、可見光和/或UV光譜范圍之內(nèi)。
28. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中通過監(jiān)測所述等離子而獲得的信號(hào)用作IR、光或UV發(fā)射光譜儀分析，以便用于陰極罩內(nèi)形成的等離子的化學(xué)分析。
29. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中載氣和/或反應(yīng)氣體的量根據(jù)通過監(jiān)測等離子而獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
30. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中通過監(jiān)測等離子而獲得的數(shù)據(jù)用來控制所述源的安全，當(dāng)觀察到危險(xiǎn)的等離子狀況時(shí)，關(guān)閉所述源或調(diào)整所述源。
全文摘要
級聯(lián)源以及用于控制級聯(lián)源的方法。一種具有陰極罩、多個(gè)級聯(lián)板以及陽極板的級聯(lián)源，所述級聯(lián)板彼此絕緣、依次疊置并一起限定至少一個(gè)等離子通道，所述陽極板具有連接至所述等離子通道的流出口，其中每個(gè)等離子通道設(shè)置一個(gè)陰極，該陰極包括一個(gè)電極，所述電極相對于所述陰極罩在所述等離子通道的方向上可調(diào)節(jié)，其中，夾緊裝置優(yōu)選為套爪夾頭型。還描述了一種用于控制使用中的所述級聯(lián)源的方法。
文檔編號(hào)H05H1/26GK101674703SQ200910206369
公開日2010年3月17日 申請日期2004年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月21日
發(fā)明者弗朗西斯庫斯·柯爾內(nèi)留斯·丹格斯, 萊昂納德斯·彼得魯斯·瑪利亞·克萊森, 雷米克·萊昂納德斯·約翰內(nèi)斯·羅伯托斯·彭寧斯, 馬丁·迪南特·比克 申請人:Otb集團(tuán)有限公司