可提高光刻精度的遮罩的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種可提高光刻精度的遮罩，包括透鏡組；深紫外光經(jīng)由透鏡組射出；透鏡組的光射出方向固定有光刻遮罩；所述光刻遮罩；所述光刻遮罩下方設(shè)置有待處理晶片；待處理晶片之上粘貼有光刻膠；所述光刻膠有多個(gè)，相鄰的光刻膠之間為第一空檔；多塊光刻膠組成光刻圖案；光刻遮罩也有多個(gè)，每個(gè)光刻遮罩的位置與光刻膠的位置嚴(yán)格對(duì)應(yīng)；相鄰的光刻遮罩之間為第二空檔；每?jī)蓚€(gè)相鄰的光刻遮罩為一組，組成一組的兩個(gè)光刻遮罩下方安裝有一個(gè)移向透鏡；每個(gè)光刻遮罩只有一個(gè)邊緣被光刻遮罩覆蓋。本發(fā)明通過(guò)增加移向透鏡，改變了深紫外光在光刻膠邊緣的相位，使得光刻邊緣的深紫外光分辨率更高，有利于提高半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵寬度。
【專利說(shuō)明】
可提高光刻精度的遮罩
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，具體涉及一種可提高光刻精度的遮罩?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]光刻是集成電路制造領(lǐng)域常會(huì)用到的一種工藝流程，隨著集成電路的制造工藝的提升，
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明公開(kāi)了一種可提高光刻精度的遮罩。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]—種可提高光刻精度的遮罩，包括透鏡組;深紫外光經(jīng)由透鏡組射出；透鏡組的光射出方向固定有光刻遮罩;所述光刻遮罩;所述光刻遮罩下方設(shè)置有待處理晶片;待處理晶片之上粘貼有光刻膠;所述光刻膠有多個(gè)，相鄰的光刻膠之間為第一空檔;多塊光刻膠組成光刻圖案;光刻遮罩也有多個(gè)，每個(gè)光刻遮罩的位置與光刻膠的位置嚴(yán)格對(duì)應(yīng);相鄰的光刻遮罩之間為第二空檔;每?jī)蓚€(gè)相鄰的光刻遮罩為一組，組成一組的兩個(gè)光刻遮罩下方安裝有一個(gè)移向透鏡;每個(gè)光刻遮罩只有一個(gè)邊緣被光刻遮罩覆蓋。
[0006]本發(fā)明的有益技術(shù)效果是:
[0007]本發(fā)明通過(guò)增加移向透鏡，改變了深紫外光在光刻膠邊緣的相位，使得光刻邊緣的深紫外光分辨率更高，有利于提高半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵寬度?！靖綀D說(shuō)明】
[0008]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖。
[0009]圖2是本發(fā)明的原理圖。
[0010]圖3是現(xiàn)有技術(shù)的深紫外線相位圖。【具體實(shí)施方式】
[0011]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖。如圖1所示，本發(fā)明包括透鏡組4。深紫外光經(jīng)由透鏡組4射出。透鏡組4的光射出方向固定有光刻遮罩。光刻遮罩3。光刻遮罩3下方設(shè)置有待處理晶片 1。待處理晶片1之上粘貼有光刻膠2。光刻膠2有多個(gè)，相鄰的光刻膠2之間為第一空檔21。多塊光刻膠2組成光刻圖案。光刻遮罩3也有多個(gè)，每個(gè)光刻遮罩3的位置與光刻膠2的位置嚴(yán)格對(duì)應(yīng)。相鄰的光刻遮罩3之間為第二空檔31。每?jī)蓚€(gè)相鄰的光刻遮罩3為一組，組成一組的兩個(gè)光刻遮罩下方安裝有一個(gè)移向透鏡32。每個(gè)光刻遮罩3只有一個(gè)邊緣被光刻遮罩3覆蓋。
[0012]圖2是本發(fā)明的原理圖，如圖2所示，由于移向透鏡32的存在，此處的深紫外光的相位會(huì)被移為相反方向，則相鄰的光刻膠對(duì)于深紫外光的分辨率提高。此分辨率的提高可以參照?qǐng)D3,圖3是現(xiàn)有技術(shù)的深紫外線相位圖。與現(xiàn)有技術(shù)相比，顯然，本發(fā)明可大大提高光刻精度，有利于減小集成電路的關(guān)鍵尺寸。
[0013]以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明不限于以上實(shí)施例?？梢岳斫?，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和構(gòu)思的前提下直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的其他改進(jìn)和變化，均應(yīng)認(rèn)為包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可提高光刻精度的遮罩，其特征在于，包括透鏡組(4);深紫外光經(jīng)由透鏡組(4) 射出；透鏡組(4)的光射出方向固定有光刻遮罩;所述光刻遮罩(3);所述光刻遮罩(3)下方 設(shè)置有待處理晶片(1);待處理晶片(1)之上粘貼有光刻膠(2);所述光刻膠(2)有多個(gè)，相鄰 的光刻膠(2)之間為第一空檔(21);多塊光刻膠(2)組成光刻圖案;光刻遮罩(3)也有多個(gè)， 每個(gè)光刻遮罩(3)的位置與光刻膠(2)的位置嚴(yán)格對(duì)應(yīng);相鄰的光刻遮罩(3)之間為第二空 檔(31);每?jī)蓚€(gè)相鄰的光刻遮罩(3)為一組，組成一組的兩個(gè)光刻遮罩下方安裝有一個(gè)移向 透鏡(32);每個(gè)光刻遮罩(3)只有一個(gè)邊緣被光刻遮罩(3)覆蓋。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK105954981SQ201610586299
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年7月22日
【發(fā)明人】呂耀安
【申請(qǐng)人】無(wú)錫宏納科技有限公司