本發(fā)明涉及一種用于供給液氮、液氦等超低溫液體的液體供給系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

以往，已知一種向收裝超導(dǎo)電纜等的真空絕熱管供給液氮等超低溫液體，使超導(dǎo)電纜等維持在超低溫狀態(tài)的技術(shù)。對(duì)于超低溫液體的液體供給(循環(huán))系統(tǒng)，為了使超導(dǎo)電纜在真空絕熱管的內(nèi)部具備超導(dǎo)電纜的被冷卻裝置中維持能超導(dǎo)的狀態(tài)，而不斷地向真空絕熱管內(nèi)供給超低溫液體。

以往的超導(dǎo)電纜的長(zhǎng)度短，液體供給系統(tǒng)所需的排出壓相對(duì)于流量使用較低的排出壓力就能滿足，因此作為泵機(jī)構(gòu)，大多數(shù)采用典型的離心泵。然而，如今超導(dǎo)電纜的長(zhǎng)度達(dá)到幾km，設(shè)置場(chǎng)所也會(huì)存在高度差，因此相對(duì)于流量，液體供給系統(tǒng)需要高于以往的排出壓力。使用離心泵機(jī)構(gòu)的液體供給系統(tǒng)單獨(dú)地進(jìn)行液體的遠(yuǎn)距離輸送時(shí)，由于泵的排出壓低，因此需要例如沿電纜配置多個(gè)泵來(lái)維持排出壓，而增加成本。另外，當(dāng)鋪設(shè)電纜的地形存在高度差時(shí)，由于泵排出壓的不足而限制了電纜的鋪設(shè)。

另外，作為液體供給系統(tǒng)，還已知如圖5所示這樣的容積型波紋管循環(huán)器(參照專利文獻(xiàn)1)。然而，以往容積型波紋管循環(huán)器的結(jié)構(gòu)會(huì)對(duì)波紋管施加內(nèi)壓，因此難以高壓化。另外，當(dāng)施加高排出壓力作為波紋管內(nèi)壓時(shí)，會(huì)使波紋管屈曲。而且，由于結(jié)構(gòu)為，在真空絕熱容器中填充超低溫液體，并向其插入并浸漬容積型波紋管循環(huán)器，因此會(huì)通過(guò)容積型波紋管循環(huán)器的支撐部件傳熱，且通過(guò)真空絕熱容器的壁面?zhèn)鳠幔軣帷?/p>

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)WO2012/124363號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的問(wèn)題

本發(fā)明的目的在于提供一種能提高泵功能的液體供給系統(tǒng)。

用于解決課題的手段

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的液體供給系統(tǒng)的特征在于，具備：

從與系統(tǒng)外部連通的第一通路吸入液體，且將吸入的液體向與系統(tǒng)外部連通的第二通路送出的容器；

在伸縮方向上串聯(lián)配置在所述容器的內(nèi)部的第一波紋管和第二波紋管，其相互接近側(cè)的各自第一端部被分別固定于所述容器的內(nèi)壁，并且相互遠(yuǎn)離側(cè)的各自第二端部能分別在伸縮方向上移動(dòng)；以及

軸，其插通至所述容器的內(nèi)部，分別固定有所述第一波紋管和所述第二波紋管的所述第二端部，通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)源在所述伸縮方向上往復(fù)移動(dòng)，而使所述第一波紋管和第二波紋管伸縮，

在所述容器內(nèi)，所述第一波紋管的外側(cè)形成第一泵室，該第一泵室設(shè)有將液體從所述第一通路吸入到第一泵室內(nèi)的第一吸入口，和將所吸入的液體從第一泵室內(nèi)向所述第二通路送出的第一送出口，

在所述容器內(nèi)，所述第二波紋管的外側(cè)形成第二泵室，該第二泵室設(shè)有將液體從所述第一通路吸入到第二泵室內(nèi)的第二吸入口，和將所吸入的液體從第二泵室內(nèi)向所述第二通路送出的第二送出口，

所述第一波紋管和第二波紋管的內(nèi)側(cè)形成密閉空間。

根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)軸的往復(fù)移動(dòng)使第一波紋管和第二波紋管的第二端部在波紋管的伸縮方向上整體地移動(dòng)。即，通過(guò)軸的單向移動(dòng)，使第一波紋管和第二波紋管中的一方壓縮而另一方拉伸，第一泵室和第二泵室中的一方從第一通路吸入液體，由另一方將液體向第二通路送出。因此，通過(guò)軸的往復(fù)移動(dòng)，可以交替連續(xù)地由第一泵室和第二泵室供給液體，能抑制脈動(dòng)地供給液體。對(duì)于該泵動(dòng)作，使作用于第一波紋管和第二波紋管內(nèi)側(cè)(內(nèi)周面)的壓力不改變。由此，能抑制波紋管產(chǎn)生屈曲，提高泵動(dòng)作的穩(wěn)定性。

所述密閉空間可以為真空狀態(tài)，或者也可以充滿氣體。

通過(guò)使波紋管內(nèi)側(cè)的密閉空間為真空狀態(tài)，作用于各波紋管的壓力僅為外壓，能提高波紋管伸縮動(dòng)作的穩(wěn)定性。另外，利用充滿在密閉空間的氣體所產(chǎn)生的加壓，能降低作用于波紋管壓力的峰值。因此，可以使提高泵排出壓的高壓設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)自由度更好。

優(yōu)選還具備內(nèi)部呈真空的外側(cè)容器，

所述容器配置在所述外側(cè)容器內(nèi)，而被真空空間包圍，

所述軸從所述外側(cè)容器的外部插通至所述容器的內(nèi)部。

由此，容器的傳熱路徑被限定于來(lái)自外側(cè)容器壁面的熱輻射、第一和第二通路、容器支撐部件等，可以提高絕熱效果。通過(guò)如此減少送出液體的受熱，可以提高冷卻效率。

優(yōu)選還具備相對(duì)于所述第二波紋管在伸縮方向上串聯(lián)配置的第三波紋管，其一端部與所述容器固定，且使內(nèi)側(cè)向所述容器的外部開(kāi)放，另一端部與所述第二波紋管的所述第二端部連結(jié)，并與所述第二波紋管的伸縮一同進(jìn)行伸縮，

所述軸插通所述第三波紋管的內(nèi)側(cè)，并與所述第二端部連結(jié)。

由此，可以使軸與容器之間不形成滑動(dòng)部位地將軸與各波紋管的第二端部連結(jié)，使各波紋管伸縮。因此，不存在因軸的滑動(dòng)摩擦而發(fā)熱的情況。

優(yōu)選所述第三波紋管的外徑小于所述第二波紋管的內(nèi)徑，且至少一部分伸入到所述第二波紋管的內(nèi)側(cè)。

由此，可以實(shí)現(xiàn)使容器在波紋管伸縮方向上縮小尺寸。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，可以提高泵功能。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)動(dòng)作的示意圖。

圖3是表示實(shí)施例1的液體供給系統(tǒng)排出壓的變動(dòng)圖。

圖4是表示實(shí)施例2的液體供給系統(tǒng)排出壓的變動(dòng)圖。

圖5是說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的液體供給系統(tǒng)動(dòng)作的示意圖。

圖6是表示現(xiàn)有技術(shù)的液體供給系統(tǒng)排出壓的變動(dòng)圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，基于實(shí)施例，例示地詳細(xì)說(shuō)明用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。但是，在該實(shí)施例中記載的結(jié)構(gòu)組件的尺寸、材質(zhì)、形狀、其相對(duì)配置等，除非有特別地特定性的記載，則本發(fā)明的范圍不僅僅限定于此。

(實(shí)施例1)

參照?qǐng)D1，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)圖。

液體供給系統(tǒng)10是用于低溫流體的泵裝置，為了使超導(dǎo)電纜32在樹(shù)脂制的容器31的內(nèi)部具備超導(dǎo)電纜32的被冷卻裝置30中維持能超導(dǎo)的狀態(tài)，而不斷地向容器31內(nèi)供給超低溫的液體L。作為超低溫的液體L的具體例，可列舉出液氮、液氦。

液體供給系統(tǒng)10大致具備：內(nèi)部為真空的第一容器(外側(cè)容器)11和配置在第一容器11的內(nèi)部，且被真空空間包圍的第二容器12。對(duì)于第二容器12大致為，在其內(nèi)部，三個(gè)波紋管41、42、43在各自伸縮方向上串聯(lián)配置，容器內(nèi)部被這些波紋管41～43分隔為三個(gè)密閉空間。第二容器12被從第一容器11的外部插通至第一容器11內(nèi)部的支撐部件51支撐在第一容器11的內(nèi)部。

第一波紋管41和第二波紋管42的直徑相同，并使軸中心一致地在各自伸縮方向上相互串聯(lián)配置。第一波紋管41和第二波紋管42在相互接近側(cè)的各自端部(第一端部)41b、42b被固定于容器12的內(nèi)壁。另外，第一波紋管41和第二波紋管42在相互遠(yuǎn)離側(cè)的各自端部(第二端部)41a、42a被固定于后述軸15而形成整體，能在各自伸縮方向上移動(dòng)。

另外，第三波紋管43相對(duì)于第二波紋管42在第一波紋管41的相反側(cè)串聯(lián)排列而配置。第三波紋管43配置為，外徑小于第二波紋管42的內(nèi)徑，且在伸縮方向上一部分伸入第二波紋管42的內(nèi)側(cè)。第三波紋管43的一側(cè)端部43b被固定于容器12的內(nèi)壁，使第三波紋管43的內(nèi)側(cè)向容器12的外部開(kāi)放。第三波紋管43的另一側(cè)端部43a與第二波紋管42的端部42a連結(jié)，且第三波紋管43與第二波紋管42的伸縮一同進(jìn)行伸縮。

封閉第一波紋管41的端部41a，在第二容器12內(nèi)，由第一波紋管41的外側(cè)區(qū)域形成的密閉空間構(gòu)成第一泵室P1。在第二容器12內(nèi)，由第二波紋管42和第三波紋管43的外側(cè)區(qū)域形成的密閉空間構(gòu)成第二泵室P2。將第二波紋管42的端部42a與第三波紋管43的端部43a之間封閉，并將第一波紋管41的端部41b與第二波紋管42的端部42b之間開(kāi)放，在第二容器12內(nèi)，第一波紋管41的內(nèi)側(cè)區(qū)域與第二波紋管42的內(nèi)側(cè)區(qū)域構(gòu)成一個(gè)密閉空間R1。

第二容器12設(shè)有將液體L從與系統(tǒng)外部連通的返回通路(返回管)K2吸入第一泵室P1內(nèi)的第一吸入口21，和將吸入的液體L從第一泵室P1內(nèi)向與系統(tǒng)外部連通的供給通路(供給管)K1送出的第一送出口22。另外，第二容器12還設(shè)有將液體L從返回通路K2吸入第二泵室P2內(nèi)的第二吸入口23，和將吸入的液體L從第二泵室P2內(nèi)向供給通路K1送出的第二送出口24。另外，第一吸入口21和第二吸入口23分別設(shè)有單向閥100a、100c，第一送出口22和第二送出口24也分別設(shè)有單向閥100b、100d。

另外，利用作為驅(qū)動(dòng)源的線性致動(dòng)器14而往復(fù)移動(dòng)的軸15，從第一容器11的外部穿過(guò)第三波紋管43的內(nèi)側(cè)伸入第二容器12的密閉空間R1的內(nèi)部，并與第一波紋管41的端部41a與第二波紋管42的端部42a分別固定。由此，通過(guò)軸15往復(fù)移動(dòng)，使各波紋管伸縮。

軸15經(jīng)過(guò)設(shè)于第一容器11的波紋管52，從第一容器11的外部向內(nèi)部插通而構(gòu)成。波紋管52的一端被固定于第一容器11，另一端被固定于軸15，與軸15的往復(fù)移動(dòng)同時(shí)地伸縮而構(gòu)成。

參照?qǐng)D2，對(duì)液體供給系統(tǒng)10的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖2是說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)動(dòng)作的示意圖。圖2的(a)是表示波紋管41、42在拉伸方向、壓縮方向上均沒(méi)有位移的狀態(tài)的第二容器12內(nèi)部的圖。圖2的(b)是表示向第一泵室P1吸入來(lái)自返回通路(第一通路)K2的液體L，并且由第二泵室P2向供給通路(第二通路)K1送出液體L時(shí)的狀態(tài)，即表示波紋管41呈最大壓縮狀態(tài)、波紋管42呈最大拉伸狀態(tài)的第二容器12內(nèi)部的圖。圖2的(c)是表示向第二泵室P2吸入來(lái)自返回通路(第一通路)K2的液體L，并且由第一泵室P1向供給通路(第二通路)K1送出液體L時(shí)的狀態(tài)，即表示波紋管41呈最大拉伸狀態(tài)、波紋管42呈最大壓縮狀態(tài)的第二容器12內(nèi)部的圖。

當(dāng)軸15移動(dòng)時(shí)，使第一波紋管41壓縮，第二波紋管42拉伸(圖2的(a)→圖2的(b))，通過(guò)第二送出口24將液體從第二泵室P2內(nèi)L向供給通路K1送出，并且通過(guò)第一吸入口21將液體L吸入第一泵室P1內(nèi)。然后，當(dāng)軸15移動(dòng)時(shí)，使第一波紋管41拉伸，第二波紋管42壓縮(圖2的(b)→圖2的(a)→圖2的(c))，通過(guò)第二吸入口23將液體L吸入第二泵室P2內(nèi)，并且通過(guò)第一送出口22將液體L從第一泵室P1內(nèi)向供給通路K1送出。由此，軸15在任意方向上往復(fù)移動(dòng)時(shí)，液體L均向供給通路K1送出。

圖3的上半部分是大致地表示向?qū)嵤├?的液體供給系統(tǒng)的波紋管42施加壓力的變動(dòng)圖，圖3的下半部分是大致地表示向波紋管41施加壓力的變動(dòng)圖。在本實(shí)施例中，密閉空間R1為真空空間。因此，向本實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)10的波紋管42施加的壓力與利用軸15的往復(fù)移動(dòng)而使各波紋管伸縮同時(shí)地，如圖3所示，交替地往來(lái)于零與最大排出壓(P排)之間進(jìn)行變動(dòng)。在此，表示最大排出壓(P排)為1MPa時(shí)的壓力變動(dòng)。另外，在圖3中，(a)與圖2的(a)的軸15的位移位置相對(duì)應(yīng)，(b)與圖2的(b)的軸15的位移位置相對(duì)應(yīng)，(c)與圖2的(c)的軸15的位移位置相對(duì)應(yīng)。施加于波紋管41、42的壓力是波紋管外部的壓力與波紋管內(nèi)部的壓力的壓差，在本裝置啟動(dòng)前、軸15沒(méi)有位移的狀態(tài)下，向泵室內(nèi)吸入液體而不排出，波紋管41、42的外部壓力與內(nèi)部壓力不存在差，因此施加于波紋管的壓力為0，隨著接近于(b)的狀態(tài)(第一泵室P1排出，第二泵室P2吸入)，使施加于波紋管42的壓力增大，當(dāng)波紋管外部達(dá)到最大排出壓(P排)時(shí)，施加于波紋管42的壓力達(dá)到最大(P排)。然后，隨著接近于(c)的狀態(tài)(第一泵室P1吸入，第二泵室P2排出)，使施加于波紋管42的壓力減小，吸入壓為0，因此施加于波紋管42的壓力為0。需要說(shuō)明的是，該壓力變動(dòng)對(duì)于波紋管41僅相位不同，示出同樣的行動(dòng)。

如上所述，對(duì)于液體供給系統(tǒng)10，通過(guò)重復(fù)軸15的往復(fù)移動(dòng)和各波紋管的伸縮動(dòng)作，將液體L通過(guò)供給通路K1供給至被冷卻裝置30。另外，連接液體供給系統(tǒng)10和被冷卻裝置30并通過(guò)返回通路K2將僅供給被冷卻裝置30的量的液體L返回至液體供給系統(tǒng)10。另外，在供給通路K1的途中設(shè)有將液體L冷卻至超低溫狀態(tài)的冷卻機(jī)20。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將通過(guò)冷卻機(jī)20冷卻至超低溫的液體L在液體供給系統(tǒng)10與被冷卻裝置30之間循環(huán)。

如上所述，具有兩個(gè)泵室，且通過(guò)該兩個(gè)泵室交替地供給流體，各波紋管壓縮時(shí)和拉伸時(shí)均向供給通路K1送出液體L，通過(guò)各波紋管的伸縮動(dòng)作產(chǎn)生的液體供給量，例如可以達(dá)到僅利用第一泵室P1發(fā)揮泵功能時(shí)的兩倍。因此，與僅利用第一泵室P1發(fā)揮泵功能時(shí)相比，可以一次供給兩倍的所需供給量，且可以使供給通路K1內(nèi)的液體最大壓力減少一半左右。因此，可以抑制因供給液體的壓力變動(dòng)(脈動(dòng))而引起的不良影響。

另外，第一波紋管41和第二波紋管42的內(nèi)側(cè)所形成的密閉空間R1的容積在第一波紋管41和第二波紋管42伸縮時(shí)也不改變，使作用于第一波紋管41和第二波紋管42的內(nèi)壓(作用于各自內(nèi)周面的壓力)不改變。即，對(duì)于本實(shí)施例的液體供給系統(tǒng)10，泵室被配置于各波紋管的外側(cè)，而不會(huì)發(fā)生因波紋管的內(nèi)壓變動(dòng)造成的屈曲。因此，在波紋管的耐壓設(shè)計(jì)中，由于不需要考慮內(nèi)壓所致屈曲，因而設(shè)計(jì)自由度高，可以實(shí)現(xiàn)排出壓的高壓化。參照?qǐng)D5和圖6來(lái)比較現(xiàn)有技術(shù)，對(duì)本實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。

圖5是說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的液體供給系統(tǒng)動(dòng)作的示意圖。如圖5所示，現(xiàn)有技術(shù)的液體供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)為，在波紋管61的內(nèi)側(cè)與外側(cè)分別形成兩個(gè)泵室P1、P2。即，通過(guò)軸15的移動(dòng)使波紋管61、62壓縮時(shí)(圖5的(a)→圖5的(b))，通過(guò)第二送出口24將液體從第二泵室P2內(nèi)L向供給通路K1送出，并且通過(guò)第一吸入口21將液體L吸入第一泵室P1內(nèi)。然后，通過(guò)軸15的移動(dòng)使波紋管61、62拉伸時(shí)(圖5的(b)→圖5的(a)→圖5的(c))，通過(guò)第二吸入口23將液體L吸入第二泵室P2內(nèi)，并且通過(guò)第一送出口22將液體L從第一泵室P1內(nèi)向供給通路K1送出。

圖6是表示現(xiàn)有技術(shù)的液體供給系統(tǒng)排出壓的變動(dòng)圖。需要說(shuō)明的是，在圖中，設(shè)定向波紋管61的外側(cè)方向施加的壓力為正，向波紋管61的內(nèi)側(cè)方向施加的壓力為負(fù)。如圖6所示，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)，在由第一泵室P1和第二泵室P2交替地排出液體L時(shí)，會(huì)分別交替地向波紋管61的內(nèi)側(cè)和外側(cè)作用相同大小的排出壓(P排)。即，向波紋管的內(nèi)側(cè)方向、外側(cè)方向施加排出壓(P排)。因此，為了得到與本實(shí)施例相同的最大排出壓(1MPa)，其壓力變動(dòng)為本實(shí)施例的兩倍(圖3、圖6)。因此，波紋管61所需的耐壓性能也為本實(shí)施例波紋管的兩倍。另外，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)，由于會(huì)向波紋管61作用內(nèi)壓，因此當(dāng)需要提高排出壓時(shí)，作用于波紋管61的內(nèi)壓也會(huì)升高，而容易使波紋管61發(fā)生屈曲。通常，波紋管對(duì)外壓較強(qiáng)而對(duì)內(nèi)壓較弱，當(dāng)作用高內(nèi)壓時(shí)，容易發(fā)生屈曲。

這樣，根據(jù)本實(shí)施例，由于作用于各波紋管的壓力僅為外壓，與向波紋管作用內(nèi)壓的現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)相比，能實(shí)現(xiàn)泵排出壓的高壓化，并且能提高波紋管伸縮動(dòng)作的穩(wěn)定性。因此，可以減少對(duì)電纜配置的循環(huán)器的臺(tái)數(shù)。另外，由于即使地形存在高低差也能供給液體，因此電纜鋪設(shè)的自由度提高。

另外，在本實(shí)施例中，采用利用第一容器11將第二容器12的周圍包圍在真空空間的結(jié)構(gòu)。因此，包圍第二容器12的真空空間發(fā)揮阻礙傳熱的功能，可以抑制線性致動(dòng)器14產(chǎn)生的熱、大氣熱傳遞至液體L。即，液體L的熱交換被限定于來(lái)自作為真空絕熱容器的第一容器11壁面的熱輻射、第二容器12的支撐部件51、通過(guò)各通路的傳熱，可以減少液體L的受熱。另外，如果熱被傳遞至液體L而氣化，由于不斷地供給新的液體L而具有冷卻效果，因此可以抑制泵室內(nèi)部的液體L上升至氣化的溫度。因此，不會(huì)降低泵功能。

另外，在本實(shí)施例中，軸15經(jīng)過(guò)第三波紋管43固定于第二容器12的端部43b相反側(cè)的端部43a，插通至第二容器12的內(nèi)部，并與各波紋管連結(jié)，第三波紋管43與軸15的往復(fù)移動(dòng)一同進(jìn)行伸縮。因此，軸15與第二容器12之間不形成滑動(dòng)部位，由于形成各泵室P1、P2、密閉空間R1，因此不存在因滑動(dòng)產(chǎn)生的摩擦阻力而發(fā)熱的情況。

另外，在本實(shí)施例中，第三波紋管43配置為，外徑小于第二波紋管42的內(nèi)徑，且至少一部分伸入第二波紋管42的內(nèi)側(cè)，由于所伸入的部分也可以作為泵空間使用，因此該部分可以使不需要大空間的第二容器12實(shí)現(xiàn)尺寸縮小。

在此，在本實(shí)施例中，由于使密閉空間R1為真空空間，因此也可以使其與第二容器12周圍的真空空間連通。

(實(shí)施例2)

在上述實(shí)施例1中，密閉空間R1為真空空間，相對(duì)于此，在本發(fā)明的實(shí)施例2中，采用將密閉空間R1充滿氣體的結(jié)構(gòu)。其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同，對(duì)相同結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。

作為封入密閉空間R1的氣體，使用例如氖氣、氦氣等，難以在本系統(tǒng)的使用環(huán)境中發(fā)生液化、凍結(jié)等狀態(tài)變化的氣體。并且，封入密閉空間R1的氣體壓力設(shè)為從真空(-100kPa)至所需排出壓的范圍(優(yōu)選為排出壓的1/2)。

圖4是大致表示實(shí)施例2的液體供給系統(tǒng)排出壓的變動(dòng)圖，上半部分表示向波紋管42施加壓力的變動(dòng)，下半部分表示向波紋管41施加壓力的變動(dòng)。圖4表示密閉空間R1封入排出壓(P排)的1/2壓力的氣體時(shí)的排出壓的變動(dòng)。排出壓的變動(dòng)幅度與上述實(shí)施例1相同為1MPa，峰值為實(shí)施例1的1/2。施加于波紋管的壓力是密閉空間R1的內(nèi)部壓力與泵室P1、P2各空間的壓差，因此當(dāng)密閉空間R1封入排出壓的1/2壓力的氣體時(shí)，由于泵室的最大壓力為P排，因此施加于波紋管的壓力為，P排-(1/2)P排＝(1/2)P排。另外，密閉空間R1的壓力不僅為(1/2)P排，還可以根據(jù)兩個(gè)波紋管的尺寸、兩個(gè)泵室的大小等規(guī)格適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。由此，通過(guò)利用封入氣體對(duì)波紋管41、42內(nèi)側(cè)加壓，可以降低作用于波紋管41、42壓力的峰值。因此，可以提高使泵排出壓升高的高壓設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)自由度。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

10 液體供給系統(tǒng)

11 第一容器

12 第二容器

21 第一吸入口

22 第一送出口

23 第二吸入口

24 第二送出口

14 線性致動(dòng)器

15 軸

41 第一波紋管

42 第二波紋管

43 第三波紋管

51 支撐部件

52 波紋管

20 冷卻機(jī)

30 被冷卻裝置

31 容器

32 超導(dǎo)電纜

K1 供給通路

K2 返回通路

L 液體

P1 第一泵室

P2 第二泵室

R1 密閉空間