本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造發(fā)展的過程中，為滿足先進(jìn)封裝的工藝研發(fā)與應(yīng)用要求，需要對半導(dǎo)體材料進(jìn)行減薄，拋光，清洗等工藝，在主要技術(shù)指標(biāo)方面都達(dá)到國際同類設(shè)備的先進(jìn)水平的前提下，需要有局部超越。同時(shí)，設(shè)備的國產(chǎn)化必將大幅降低設(shè)備的各項(xiàng)成本，以產(chǎn)生良好的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)效益，更好地支撐我國半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)封裝技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此，在各項(xiàng)工藝流程中尋求共性技術(shù)的研發(fā)是降低成本的關(guān)鍵所在。

目前，在減薄，拋光，清洗等主要封裝工藝中都需要在一個(gè)工作軸上安裝磨輪，拋光頭，清洗頭等完成加工工藝，不同的工藝對于工作軸的工作角度需求不同。例如，減薄工藝的in-feed技術(shù)需要工作軸有X，Y兩個(gè)方向的角度傾斜，拋光和清洗工藝中需要保證工作軸與工作臺的平行度。因此在生產(chǎn)加工前需要對工作軸進(jìn)行角度調(diào)試，調(diào)整過程中最終往往需要極其微小的角度變化實(shí)現(xiàn)精確的角度控制。

傳統(tǒng)的工作軸角度調(diào)整，是將工作軸通過軸套固定在針對工作軸角度變化方向而設(shè)計(jì)的彈性鉸鏈上，用螺釘在對立位置通過，頂，拉的方式，使彈性鉸鏈本身在X，Y方向發(fā)生α，β兩個(gè)角度的微弱形變。但是，彈性鉸鏈的形變會因?yàn)榱慵旧淼募庸ぞ葮O其材料特性而產(chǎn)生不確定性，且角度調(diào)整過程中，耗時(shí)耗力，一個(gè)人很難完成多角度調(diào)整。而且為了實(shí)現(xiàn)微調(diào)變化量，通常使用小導(dǎo)程的螺紋，然而小導(dǎo)程的螺紋加工時(shí)難度大，精度低，且螺紋耐磨性差，壽命低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體在生產(chǎn)加工前工作軸多角度微調(diào)較難實(shí)現(xiàn)的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成，包括：

軸套座、軸套以及工作軸；

其中，所述軸套包括：

與所述軸套座固定連接的軸套部，所述工作軸位于所述軸套部內(nèi)；以及，

與所述軸套部、所述工作軸均連接的環(huán)形固定部，所述環(huán)形固定部上設(shè)置有多個(gè)通孔；

所述工作軸的側(cè)壁的預(yù)設(shè)位置上設(shè)有第一法蘭凸臺、第二法蘭凸臺以及第三法蘭凸臺；

所述第一法蘭凸臺內(nèi)設(shè)置有第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，包括：第一差動(dòng)螺桿；套設(shè)于所述第一差動(dòng)螺桿第一端的第一滑動(dòng)螺母；以及，套設(shè)于所述第一差動(dòng)螺桿第二端的第一固定螺母；所述第一滑動(dòng)螺母與所述第一法蘭凸臺固定連接；

所述第二法蘭凸臺內(nèi)設(shè)置有第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，包括：第二差動(dòng)螺桿；套設(shè)于所述第二差動(dòng)螺桿第一端的第二滑動(dòng)螺母；以及，套設(shè)于所述第二差動(dòng)螺桿第二端的第二固定螺母；所述第二滑動(dòng)螺母與所述第二法蘭凸臺固定連接；

所述第三法蘭凸臺內(nèi)設(shè)置有輔助定位結(jié)構(gòu)，包括：固定于所述第三法蘭凸臺內(nèi)的定位軸座；與所述定位軸座卡接的定位軸；以及，穿過所述通孔與所述定位軸相接觸的定位螺釘。

其中，所述第一法蘭凸臺、所述第二法蘭凸臺和所述第三法蘭凸臺繞所述工作軸的徑向圓周均勻分布。

其中，所述第一法蘭凸臺的中部開設(shè)有第一沉孔，所述第一沉孔的中心軸線沿與所述工作軸的軸向平行；

位于所述第一法蘭凸臺的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于所述第一沉孔的中心軸線對稱設(shè)置有第一螺紋孔；

其中，所述第一滑動(dòng)螺母位于所述第一沉孔內(nèi)，并與所述第一法蘭凸臺固定連接。

其中，第一螺釘依次穿過所述環(huán)形固定部上與所述第一螺紋孔對應(yīng)的通孔和所述第一螺紋孔。

其中，第二法蘭凸臺的中部開設(shè)有第二沉孔，所述第二沉孔的中心軸線沿與所述工作軸的軸向平行；

位于所述第二法蘭凸臺的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于所述第二沉孔的中心軸線對稱設(shè)置有第二螺紋孔；

其中，所述第二滑動(dòng)螺母位于所述第二沉孔內(nèi)，并與所述第二法蘭凸臺固定連接。

其中，第一螺釘依次穿過所述環(huán)形固定部上與所述第二螺紋孔對應(yīng)的通孔和所述第二螺紋孔。

其中，第三法蘭凸臺的中部開設(shè)有第三沉孔，所述第三沉孔的中心軸線沿與所述工作軸的軸向平行；

位于所述第三法蘭凸臺的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于所述第三沉孔的中心軸線對稱設(shè)置有第三螺紋孔；

其中，所述定位軸座位于所述第三沉孔內(nèi)，并與所述第三法蘭凸臺固定連接。

其中，第一螺釘依次穿過所述環(huán)形固定部上與所述第三螺紋孔對應(yīng)的通孔和所述第三螺紋孔。

其中，所述第一螺釘上均套設(shè)有碟形彈簧。

其中，所述軸套部的下端開設(shè)有與所述第一法蘭凸臺、第二法蘭凸臺以及第三法蘭凸臺相配合的第一凹口、第二凹口以及第三凹口。

其中，所述定位軸的材質(zhì)為銅。

本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下：

本發(fā)明實(shí)施例的上述方案中，在工作軸上設(shè)置三個(gè)法蘭凸臺，通過在其中兩個(gè)法蘭凸臺內(nèi)設(shè)置差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，一個(gè)法蘭凸臺內(nèi)設(shè)置輔助定位結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)定位，并利用差動(dòng)螺旋傳動(dòng)原理，使工作軸在預(yù)定方向上產(chǎn)生微小的角度變化，且該角度變化直接作用在工作軸上，可提高角度調(diào)整的效率和精度，同時(shí)提高半導(dǎo)體專用設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性以及工作效率，且操作簡單，具有廣泛的應(yīng)用性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成的結(jié)構(gòu)示意圖之一；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成結(jié)構(gòu)示意圖之二；

圖3為圖2中第一法蘭凸臺的具體結(jié)構(gòu)示意圖之一；

圖4為圖2中第一法蘭凸臺的具體結(jié)構(gòu)示意圖之二；

圖5為圖2中第三法蘭凸臺的具體機(jī)構(gòu)示意圖之一；

圖6為圖2中第三法蘭凸臺的具體機(jī)構(gòu)示意圖之二；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成結(jié)構(gòu)示意圖之三；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成除軸套座外的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成中工作軸的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1-軸套座；2-工作軸；3-軸套部；4-環(huán)形固定部；5-第一差動(dòng)螺桿；6-第一滑動(dòng)螺母；7-第一固定螺母；8-定位軸座；9-定位軸；10-定位螺釘；11-第一沉孔；12-第一螺紋孔；13-第一螺釘；14-碟形彈簧；15-第二螺釘；16-第二沉孔；17-第二螺紋孔；18-第三沉孔；19-第三螺紋孔；20-第三螺釘；21-第一法蘭凸臺；22-第二法蘭凸臺；23-第三法蘭凸臺；24-第一緊定螺母；25-第一緊定螺釘；26-第四螺釘；31-第一凹口；32-第二凹口；33-第三凹口。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

如圖1、2和7所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成，包括：軸套座1、軸套以及工作軸2。

其中，軸套包括：與軸套座1固定連接的軸套部3，工作軸2位于軸套部3內(nèi)；以及，與軸套部3、工作軸2均連接的環(huán)形固定部4，環(huán)形固定部4上設(shè)置有多個(gè)通孔。

這里需要說明的是，軸套座1可拆卸地安裝于半導(dǎo)體專用設(shè)備上，也就是說，本發(fā)明的工作軸總成可拆卸地安裝于半導(dǎo)體專用設(shè)備上，比如，對半導(dǎo)體材料進(jìn)行減薄的設(shè)備、拋光的設(shè)備或清洗的設(shè)備等。

這里，軸套通過螺釘固定在軸套座1上。

如圖9所示，工作軸2的側(cè)壁的預(yù)設(shè)位置上設(shè)有第一法蘭凸臺21、第二法蘭凸臺22以及第三法蘭凸臺23。

這里，優(yōu)選的，第一法蘭凸臺21、第二法蘭凸臺22和第三法蘭凸臺23繞工作軸2的徑向圓周均勻分布。

其中，如圖3及圖4所示，第一法蘭凸臺21內(nèi)設(shè)置有第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，包括：第一差動(dòng)螺桿5；套設(shè)于第一差動(dòng)螺桿5第一端的第一滑動(dòng)螺母6；以及，套設(shè)于第一差動(dòng)螺桿5第二端的第一固定螺母7；第一滑動(dòng)螺母6與第一法蘭凸臺21固定連接。

這里，第一差動(dòng)螺桿5具有兩段螺紋，分別位于第一差動(dòng)螺桿5的第一端及第二端。其中，第一差動(dòng)螺桿5的第一端具有第一預(yù)設(shè)導(dǎo)程的螺紋，第一差動(dòng)螺桿5的第二端具有第二預(yù)設(shè)導(dǎo)程的螺紋，且第一預(yù)設(shè)導(dǎo)程小于所述第二預(yù)設(shè)導(dǎo)程。

優(yōu)選的，如圖9所示，本發(fā)明第三法蘭凸臺23、第二法蘭凸臺22的自身結(jié)構(gòu)與第一法蘭凸臺21的自身結(jié)構(gòu)相同，僅設(shè)置方位不同。

具體的，第二法蘭凸臺22內(nèi)設(shè)置有第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，包括：第二差動(dòng)螺桿；套設(shè)于第二差動(dòng)螺桿第一端的第二滑動(dòng)螺母；以及，套設(shè)于第二差動(dòng)螺桿第二端的第二固定螺母；第二滑動(dòng)螺母與第二法蘭凸臺22固定連接。

需說明的是，第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)與第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，具體可參見圖3及圖4。

這里，第二差動(dòng)螺桿同樣具有兩段螺紋，分別位于第二差動(dòng)螺桿的第一端及第二端。其中，第二差動(dòng)螺桿的第一端具有第一預(yù)設(shè)導(dǎo)程的螺紋，第二差動(dòng)螺桿的第二端具有第二預(yù)設(shè)導(dǎo)程的螺紋，且第一預(yù)設(shè)導(dǎo)程小于所述第二預(yù)設(shè)導(dǎo)程。

具體的，如圖5及圖6所示，第三法蘭凸臺23內(nèi)設(shè)置有輔助定位結(jié)構(gòu)，包括：固定于第三法蘭凸臺23內(nèi)的定位軸座8；與定位軸座8卡接的定位軸9；以及，穿過通孔與定位軸9相接觸的定位螺釘10。

這里所述的通孔也就是環(huán)形固定部4上設(shè)置的通孔。

更具體的，如圖9所示，第一法蘭凸臺21的中部開設(shè)有第一沉孔11，第一沉孔11的中心軸線沿與工作軸2的軸向平行；位于第一法蘭凸臺21的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于第一沉孔11的中心軸線對稱設(shè)置有第一螺紋孔12。

優(yōu)選的，第一螺紋孔12的個(gè)數(shù)為兩個(gè)。

這樣，如圖3及圖4所示，第一滑動(dòng)螺母6位于第一沉孔11內(nèi)，并與第一法蘭凸臺21固定連接。

這里，第一滑動(dòng)螺母6、第一固定螺母7及第一差動(dòng)螺桿5組成一整體，第二螺釘15將第一滑動(dòng)螺母6與第一法蘭凸臺21固定連接。

優(yōu)選的，所述第二螺釘15的個(gè)數(shù)為四個(gè)。

具體的，第一螺釘13依次穿過環(huán)形固定部4上與第一螺紋孔12對應(yīng)的通孔和第一螺紋孔12。

需要說明的是，優(yōu)選的，第一螺釘13為兩個(gè)。

更具體的，如圖9所示，第二法蘭凸臺22的中部開設(shè)有第二沉孔16，第二沉孔16的中心軸線沿與工作軸2的軸向平行；位于第二法蘭凸臺22的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于第二沉孔16的中心軸線對稱設(shè)置有第二螺紋孔17。

優(yōu)選的，第二螺紋孔17的個(gè)數(shù)為兩個(gè)。

這里，第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)的安裝位置，可具體參考圖3及圖4，第二滑動(dòng)螺母位于第二沉孔16內(nèi)，并與第二法蘭凸臺22固定連接。

具體的，第二滑動(dòng)螺母、第二固定螺母及第二差動(dòng)螺桿組成一整體，第二螺釘15將第二滑動(dòng)螺母與第二法蘭凸臺22固定連接。

優(yōu)選的，所述第二螺釘15的個(gè)數(shù)為四個(gè)。

具體的，第一螺釘13依次穿過環(huán)形固定部4上與第二螺紋孔17對應(yīng)的通孔和第二螺紋孔17。

需要說明的是，第一螺釘13也為兩個(gè)。

更具體的，如圖9所示，第三法蘭凸臺23的中部開設(shè)有第三沉孔18，第三沉孔18的中心軸線沿與工作軸2的軸向平行；位于第三法蘭凸臺23的兩側(cè)邊緣，且關(guān)于第三沉孔18的中心軸線對稱設(shè)置有第三螺紋孔19。

優(yōu)選的，第三螺紋孔19的個(gè)數(shù)為兩個(gè)。

這樣，如圖5及圖6所示，定位軸座8位于第三沉孔18內(nèi)，并與第三法蘭凸臺23固定連接。

具體的，第一螺釘13依次穿過環(huán)形固定部4上與第三螺紋孔19對應(yīng)的通孔和第三螺紋孔19。

需要說明的是，第一螺釘13也為兩個(gè)。

這里，本發(fā)明實(shí)施例中第一螺釘13優(yōu)選的為六個(gè)，且每個(gè)第一螺釘13在穿過對應(yīng)法蘭凸臺上的螺紋孔以及對應(yīng)環(huán)形固定部4上的通孔之前，均套設(shè)有碟形彈簧14。

需進(jìn)一步說明的是，優(yōu)選的，碟形彈簧14為兩組，每組包括有兩片碟形彈簧。

本發(fā)明實(shí)施例中，利用碟形彈簧14的變剛度特性，能夠在工作軸2產(chǎn)生角度變化時(shí)，以變形承受載荷，起到變形緩沖和減振作用，且兩片碟形彈簧中面積較大的端面相接觸連接，組成一組，兩組碟形彈簧串聯(lián)在一起，這樣起到的緩沖效果最佳，同時(shí)碟形彈簧14還具有高疲勞壽命、承載力高、后期維護(hù)簡單、經(jīng)濟(jì)適用以及安全性高等優(yōu)點(diǎn)。

具體的，如圖8所示，軸套部3的下端開設(shè)有與第一法蘭凸臺21、第二法蘭凸臺22以及第三法蘭凸臺23相配合的第一凹口31、第二凹口32(如圖1所示)以及第三凹口33。

優(yōu)選的，本發(fā)明實(shí)施例中定位軸9的材質(zhì)為銅。

需說明的是，如圖5及圖6所示，定位螺釘10頂在定位軸9的下方，當(dāng)工作軸2產(chǎn)生角度變化時(shí)，定位螺釘10可在工作人員的外力的作用下，通過環(huán)形固定部4旋進(jìn)旋出，配合角度調(diào)節(jié)。這里，定位軸9的材質(zhì)為銅，可在擠壓中產(chǎn)生形變，增加接觸面積和摩擦力。

上述說明主要是對半導(dǎo)體專用設(shè)備用的工作軸總成結(jié)構(gòu)的描述。下面具體說明一下工作軸總成的安裝流程以及工作原理。

工作軸總成的安裝流程如下：

軸套部3通過第三螺釘20固定在軸套座1上，如圖2所示。

將第一差動(dòng)螺桿5的第一端旋入第一滑動(dòng)螺母6，將第一差動(dòng)螺桿5的第二端旋入第一固定螺母7后，將其整體，也就是第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)，從下向上插入工作軸2的第一法蘭凸臺21內(nèi)的第一沉孔11中，用第二螺釘15固定連接。

第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)的組成部件連接操作以及其整體安裝于第二法蘭凸臺22內(nèi)的操作同第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)的操作。

接著，輔助定位結(jié)構(gòu)中，將定位軸9塞入定位軸座8(也就是，定位軸9與定位軸座8相卡接)后，將其整體，從下向上插入工作軸2的第三法蘭凸臺23內(nèi)的第三沉孔18中，用第二螺釘15固定連接。

將環(huán)形固定部4從下向上安裝，也就是套住工作軸2的下部，然后，第一法蘭凸臺21內(nèi)的第一固定螺母7以及第二法蘭凸臺22內(nèi)的第二固定螺母分別穿過環(huán)形固定部4上對應(yīng)的通孔，第三法蘭凸臺23內(nèi)的定位軸9對應(yīng)著環(huán)形固定部4的螺紋孔。

這里，第一差動(dòng)螺桿5的第二端以及第二差動(dòng)螺桿的第二端均部分凸出于環(huán)形固定部4，如圖2、圖3、圖4及圖8所示。

這里需要說明的是，此時(shí)，法蘭凸臺上的螺紋孔以及環(huán)形固定部4上的其他通孔位置相對應(yīng)。

之后，將兩組疊合的碟形彈簧14套設(shè)在第一螺釘13后，接著將第一螺釘13從下向上依次穿過環(huán)形固定部4上與第一螺紋孔12對應(yīng)的通孔和該第一螺紋孔12，也就是將第一螺釘13擰入至第一法蘭凸臺21上的第一螺紋孔12中；并依次穿過環(huán)形固定部4上與第二螺紋孔17對應(yīng)的通孔和該第二螺紋孔17也就是，將第一螺釘13擰入第二法蘭凸臺22上的第二螺紋孔17中；并將第一螺釘13從下向上依次穿過環(huán)形固定部4上第三螺紋孔19對應(yīng)的通孔和第三螺紋孔19，也就是將第一螺釘13擰入第三法蘭凸臺23上的第三螺紋孔19中。

這里需說明的是，套設(shè)有碟形彈簧14的第一螺釘13，其擰入三個(gè)法蘭凸臺上對應(yīng)的螺紋孔中的擰緊程度以不使碟形彈簧14承載力，也就是碟形彈簧14沒有發(fā)生形變?yōu)橐耍部梢赃@樣理解，第一螺釘13對于環(huán)形固定部4來說并未起到連接作用。

舉例說明，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)第一差動(dòng)螺桿5時(shí)，第一法蘭凸臺21與工作軸2為一體，上下移動(dòng)，使工作軸2產(chǎn)生角度變化；與此同時(shí)，由于第一螺釘13擰入第一法蘭凸臺21內(nèi)，故第一螺釘13會被帶動(dòng)，在環(huán)形固定部4的通孔內(nèi)也會有相應(yīng)的上下移動(dòng)。而此時(shí)，碟形彈簧的作用是自身發(fā)生彈性形變，使得第一螺釘13能夠在環(huán)形固定部4的通孔內(nèi)上下移動(dòng)。

此時(shí)，在第一法蘭凸臺21處，將第一緊定螺母24從下方旋入第一固定螺母7(這里，第一固定螺母7具有外螺紋)外，第一緊定螺釘25將其壓緊；在第二法蘭凸臺22處，參考圖3及圖4，將第二緊定螺母從下方旋入第二固定螺母外，第二緊定螺釘將其壓緊；在第三法蘭凸臺23處，如圖5及圖6所示，將定位螺釘10從環(huán)形固定部4上的螺紋孔旋入，頂在定位軸9的下方。

最后，將工作軸2，包括已經(jīng)安裝到工作軸2上的第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)、第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)以及輔助定位結(jié)構(gòu)，與該工作軸2連接好的環(huán)形固定部4，一起從軸套部3的下方，從下向上穿入至軸套部3內(nèi)，并通過第四螺釘26(如圖7所示)固定連接。此時(shí)，工作軸2上的法蘭凸臺與軸套部3上的凹口位置相對應(yīng)。

工作軸總成的工作原理如下：

將已經(jīng)安裝好的工作軸總成安裝到半導(dǎo)體專用設(shè)備上，工作軸總成整個(gè)結(jié)構(gòu)中，環(huán)形固定部4固定在軸套部3上，軸套部3固定在軸套座1上；且第一固定螺母7具有外螺紋，通過第一緊定螺母24和第一緊定螺釘25被壓緊在環(huán)形固定部4上，如圖3及圖4所示；同時(shí)，第二固定螺母也具有外螺紋，通過第二緊定螺母和第二緊定螺釘被壓緊在環(huán)形固定部4上，參考圖3及圖4；都是固定不動(dòng)的，以上組成固定模塊。

第一滑動(dòng)螺母6與工作軸2固定，工作軸2與環(huán)形固定部4通過兩組疊合的碟形彈簧14，用第一螺釘13連接，如圖3及圖4所示；同時(shí)第二滑動(dòng)螺母與工作軸2固定，工作軸2與環(huán)形固定部4通過兩組疊合的碟形彈簧14，用第一螺釘13連接，參考圖3及圖4；以上組成移動(dòng)模塊。

這里需說明的是，第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)裝配完畢后，第一差動(dòng)螺桿5的第一端與第一滑動(dòng)螺母6組成第一螺旋副；第一差動(dòng)螺桿5的第二端與第一固定螺母7組成第二螺旋副。

其中，第一螺旋副與第二螺旋副為同向，且第一螺旋副的導(dǎo)程小于第二螺旋副的導(dǎo)程，第一差動(dòng)螺桿5向上旋入或者向下旋入時(shí)，兩個(gè)導(dǎo)程不同的螺旋副形成差動(dòng)螺旋傳動(dòng)，根據(jù)差動(dòng)螺旋傳動(dòng)原理，第一差動(dòng)螺桿5每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，第一滑動(dòng)螺母6帶動(dòng)移動(dòng)模塊移動(dòng)，且實(shí)際移動(dòng)距離為兩段螺紋導(dǎo)程之差，因此可產(chǎn)生極小的位移，使工作軸2在第一預(yù)定方向產(chǎn)生微小的角度變化，這樣則不需要加工小導(dǎo)程螺紋，使得加工較為容易。

同理，第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)與第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)安裝結(jié)構(gòu)相同，根據(jù)差動(dòng)螺旋傳動(dòng)原理，第二差動(dòng)螺桿每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，第二滑動(dòng)螺母帶動(dòng)移動(dòng)模塊移動(dòng)，且實(shí)際移動(dòng)距離為兩段螺紋導(dǎo)程之差，因此可產(chǎn)生極小的位移，使工作軸2在第二預(yù)定方向產(chǎn)生微小的角度變化。

即，當(dāng)?shù)谝徊顒?dòng)螺桿5轉(zhuǎn)動(dòng)第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)數(shù)時(shí)，第一滑動(dòng)螺母6帶動(dòng)所述工作軸2沿第一預(yù)定方向傾斜第一預(yù)設(shè)角度；

當(dāng)?shù)诙顒?dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)數(shù)時(shí)，第二滑動(dòng)螺母帶動(dòng)工作軸沿第二預(yù)定方向傾斜第二預(yù)設(shè)角度。

更具體的，如圖1所示，工作軸總成安裝好后，第一法蘭凸臺21的所在位置與軸套座1相對，第二法蘭凸臺22以及第三法蘭凸臺23則分別位于第一法蘭凸臺21的兩側(cè)，如圖9所示，也就是，當(dāng)?shù)谝徊顒?dòng)螺桿5轉(zhuǎn)動(dòng)第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)數(shù)時(shí)，第一滑動(dòng)螺母6帶動(dòng)所述工作軸2沿X方向傾斜第一預(yù)設(shè)角度；當(dāng)?shù)诙顒?dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)數(shù)時(shí)，第二滑動(dòng)螺母帶動(dòng)工作軸2沿Y方向傾斜第二預(yù)設(shè)角度。

這里，設(shè)置有第一差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)的第一法蘭凸臺21、設(shè)置有第二差動(dòng)螺旋機(jī)構(gòu)第二法蘭凸臺22以及設(shè)置有輔助定位結(jié)構(gòu)的第三法蘭凸臺23的安裝利用三點(diǎn)定位原理，第三法蘭凸臺23處，定位螺釘10頂在定位軸9的下方，當(dāng)工作軸2產(chǎn)生角度變化時(shí)，可以通過環(huán)形固定部4旋進(jìn)旋出，配合角度調(diào)節(jié)，對工作軸2起到輔助定位的作用，也就是，當(dāng)工作人員通過旋轉(zhuǎn)第一差動(dòng)螺桿5、第二差動(dòng)螺桿使工作軸產(chǎn)生角度變化，且角度變化達(dá)到預(yù)設(shè)角度要求時(shí)，工作人員可通過向上旋緊定位螺釘10，使得工作軸2位置固定不動(dòng)，起到輔助定位的作用。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。