本發(fā)明涉及矩形閥，尤其涉及一種推桿閉合式矩形手閥。

背景技術(shù)：

1、閥門是真空系統(tǒng)應(yīng)用中不可或缺的基礎(chǔ)元件。最重要的用途之一就是在兩個(gè)真空腔體之間起到隔斷的作用。在半導(dǎo)體行業(yè)中，多數(shù)時(shí)候需要在腔體最外部設(shè)置一個(gè)手動(dòng)閥來(lái)進(jìn)行保護(hù)隔斷。因此，不僅需要此種手閥有較高的可靠性，還需要有一定的潔凈性。目前國(guó)內(nèi)的手閥多是利用傳統(tǒng)鋼球頂開的閥芯，驅(qū)動(dòng)方式也是通過(guò)簡(jiǎn)單的齒輪傳動(dòng)進(jìn)行。主要問(wèn)題是因?yàn)檫^(guò)多的金屬摩擦?xí)a(chǎn)生大量污染粒子，而且齒輪傳動(dòng)也不如通過(guò)一個(gè)擺桿驅(qū)動(dòng)更省力。隨著半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化替代的興起，作為重要組成部件的高潔凈手閥在國(guó)內(nèi)具有十分廣闊的市場(chǎng)。當(dāng)前在傳統(tǒng)真空領(lǐng)域應(yīng)用較廣泛的手閥大都采用如下形式的設(shè)計(jì)：

2、1.通過(guò)傳統(tǒng)鋼球和彈簧片撐開閥芯來(lái)進(jìn)行密封；

3、2.通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)圓形把手驅(qū)動(dòng)齒輪來(lái)驅(qū)動(dòng)閥芯進(jìn)行開關(guān)閥；

4、但是以上形式的設(shè)計(jì)存在以下問(wèn)題：

5、1.開關(guān)閥時(shí)，閥芯金屬面與閥體金屬面直接接觸，易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒沉積；

6、2.齒輪驅(qū)動(dòng)不僅會(huì)產(chǎn)生一定的金屬硬摩擦，而且也需要較大的扭矩來(lái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。

7、以上缺點(diǎn)導(dǎo)致傳統(tǒng)手閥不符合半導(dǎo)體等行業(yè)較高的應(yīng)用要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種推桿閉合式矩形手閥，解決現(xiàn)有技術(shù)中矩形手閥使用易產(chǎn)生粉塵以及污染顆粒的問(wèn)題。

2、一種推桿閉合式矩形手閥，包括上閥殼，上閥殼外側(cè)套有下閥殼a，上閥殼兩側(cè)對(duì)稱安裝有基座，基座中心處豎向開有活動(dòng)軌道，活動(dòng)軌道內(nèi)側(cè)設(shè)置有滑塊，基座間還設(shè)置有連桿a以及連桿b，連桿a與連桿b的頂部還連接設(shè)置有把手，連桿a外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿a，連桿b外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿b，基座上位于連桿a的下端還設(shè)置有限位桿，上閥殼頂部還設(shè)置有連接塊，連接塊為矩形塊，連接塊兩端豎向?qū)ΨQ設(shè)置有主軸，主軸豎向插入進(jìn)上閥殼內(nèi)部。

3、進(jìn)一步地，還包括連桿a以及連桿b下端還活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定片連接至連桿a以及連桿b上，轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)筒，驅(qū)動(dòng)筒通過(guò)驅(qū)動(dòng)筒固定件連接至連接塊。

4、進(jìn)一步地，還包括連桿a與擺桿a連接處設(shè)置有連桿轉(zhuǎn)軸，連桿轉(zhuǎn)軸為頂部為圓臺(tái)的圓柱，圓臺(tái)一端朝向基座，圓臺(tái)封入擺桿a內(nèi)部，連桿轉(zhuǎn)軸底部開有安裝孔，連桿轉(zhuǎn)軸緊固件安裝至連桿轉(zhuǎn)軸底部，連桿轉(zhuǎn)軸與連桿轉(zhuǎn)軸緊固件間還墊有轉(zhuǎn)軸墊片。

5、進(jìn)一步地，還包括主軸通過(guò)連接塊緊固件固定至連接塊上，還包括主軸穿過(guò)上閥殼內(nèi)側(cè)，其上閥殼內(nèi)側(cè)通道設(shè)置有主軸滑動(dòng)軸套，主軸滑動(dòng)軸套的下方設(shè)置有主軸密封件，主軸通過(guò)主軸緊固件與下閥殼b頂部固定連接，主軸緊固件與下閥殼b間還墊有密封件，所述下閥殼b設(shè)置在下閥殼a內(nèi)部，上閥殼與下閥殼a間還設(shè)置有閥殼密封件303。

6、進(jìn)一步地，還包括主軸下端還固定設(shè)置有下閥殼b，所述下閥殼b橫截面為錐形結(jié)構(gòu)，其錐角向下，下閥殼b側(cè)面的頂部以及底部均設(shè)置有閥芯墊塊，另一側(cè)的頂部以及底部均設(shè)置有閥芯密封件。

7、本發(fā)明的有益效果：

8、1.閥門的高可靠性：相比于傳統(tǒng)手閥通過(guò)齒輪傳動(dòng)來(lái)進(jìn)行閥門的開關(guān)，本發(fā)明的手閥采用一種更為省力和可靠的單擺桿結(jié)構(gòu)。對(duì)比傳統(tǒng)手閥的效率低下的驅(qū)動(dòng)方式，本發(fā)明可以更快速和可靠地進(jìn)行閥門的開啟與關(guān)閉；

9、2.低粒子功能：相比于傳統(tǒng)手閥的閥芯是通過(guò)鋼球和彈簧片撐開來(lái)進(jìn)行開關(guān)閥，本發(fā)明采用的是一種閥芯結(jié)構(gòu)為特殊楔形的設(shè)計(jì)。對(duì)比傳統(tǒng)手閥的閥芯結(jié)構(gòu)會(huì)因?yàn)榇罅拷饘儆材Σ廉a(chǎn)生大量污染粒子，本發(fā)明的特殊楔形閥芯結(jié)構(gòu)不僅避免了大量金屬摩擦，還具有一定的自清潔功能。即使有污染粒子的沉積，也可以被楔形閥芯推離密封座完成可靠的密封。

技術(shù)特征：

1.一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，包括上閥殼（1），上閥殼（1）外側(cè)套有下閥殼a（2），上閥殼（1）兩側(cè)對(duì)稱安裝有基座（4），基座（4）中心處豎向開有活動(dòng)軌道，活動(dòng)軌道內(nèi)側(cè)設(shè)置有滑塊（13），基座（4）間還設(shè)置有連桿a（5）以及連桿b（6），連桿a（5）與連桿b（6）的頂部還連接設(shè)置有把手（12），連桿a（5）外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿a（7），連桿b（6）外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿b（8），基座（4）上位于連桿a（5）的下端還設(shè)置有限位桿（15），上閥殼（1）頂部還設(shè)置有連接塊（11），連接塊（11）為矩形塊，連接塊（11）兩端豎向?qū)ΨQ設(shè)置有主軸（14），主軸（14）豎向插入進(jìn)上閥殼（1）內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括連桿a（5）以及連桿b（6）下端還活動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸（10），轉(zhuǎn)軸（10）通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定片（101）連接至連桿a（5）以及連桿b（6）上，轉(zhuǎn)軸（10）上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)筒（9），驅(qū)動(dòng)筒（9）通過(guò)驅(qū)動(dòng)筒固定件（91）連接至連接塊（11）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括連桿a（5）與擺桿a（7）連接處設(shè)置有連桿轉(zhuǎn)軸（18），連桿轉(zhuǎn)軸（18）為頂部為圓臺(tái)的圓柱，圓臺(tái)一端朝向基座（4），圓臺(tái)封入擺桿a（7）內(nèi)部，連桿轉(zhuǎn)軸（18）底部開有安裝孔，連桿轉(zhuǎn)軸緊固件（181）安裝至連桿轉(zhuǎn)軸（18）底部，連桿轉(zhuǎn)軸（18）與連桿轉(zhuǎn)軸緊固件（181）間還墊有轉(zhuǎn)軸墊片（182）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括主軸（14）通過(guò)連接塊緊固件（111）固定至連接塊（11）上，還包括主軸（14）穿過(guò)上閥殼（1）內(nèi)側(cè)，其上閥殼（1）內(nèi)側(cè)通道設(shè)置有主軸滑動(dòng)軸套（141），主軸滑動(dòng)軸套（141）的下方設(shè)置有主軸密封件（142），主軸（14）通過(guò)主軸緊固件（143）與下閥殼b（3）頂部固定連接，主軸緊固件（143）與下閥殼b（3）間還墊有密封件（144），所述下閥殼b（3）設(shè)置在下閥殼a（2）內(nèi)部，上閥殼（1）與下閥殼a（2）間還設(shè)置有閥殼密封件（303）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括主軸（14）下端還固定設(shè)置有下閥殼b（3），所述下閥殼b（3）橫截面為錐形結(jié)構(gòu)，其錐角向下，下閥殼b（3）側(cè)面的頂部以及底部均設(shè)置有閥芯墊塊（302），另一側(cè)的頂部以及底部均設(shè)置有閥芯密封件（301）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種推桿閉合式矩形手閥，包括上閥殼，上閥殼外側(cè)套有下閥殼a，上閥殼兩側(cè)對(duì)稱安裝有基座，基座中心處豎向開有活動(dòng)軌道，活動(dòng)軌道內(nèi)側(cè)設(shè)置有滑塊，基座間還設(shè)置有連桿a以及連桿b，連桿a與連桿b的頂部還連接設(shè)置有把手，連桿a外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿a，連桿b外側(cè)活動(dòng)連接有擺桿b，基座上位于連桿a的下端還設(shè)置有限位桿，上閥殼頂部還設(shè)置有連接塊，連接塊為矩形塊，連接塊兩端豎向?qū)ΨQ設(shè)置有主軸，主軸豎向插入進(jìn)上閥殼內(nèi)部，本發(fā)明的特殊楔形閥芯結(jié)構(gòu)不僅避免了大量金屬摩擦，還具有一定的自清潔功能。即使有污染粒子的沉積，也可以被楔形閥芯推離密封座完成可靠的密封。

技術(shù)研發(fā)人員：王蓮冀,魏瓊林,林江,羅一,周思遙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都中科唯實(shí)儀器有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21