專利名稱：集成電路測試裝置的定時校正方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測試存儲卡等集成電路(IC)的IC測試裝置的定時校正方法及具有使用該方法的校正功能的IC測試裝置。


圖11表示一般公知的IC測試裝置的簡略結(jié)構(gòu)。圖中TES表示IC測試裝置整體。IC測試裝置TES由主控制器111、圖形發(fā)生器112、定時發(fā)生器113、波形格式化器114、邏輯比較器115、驅(qū)動器組116、比較器組117、錯誤解析存儲器118、邏輯振幅基準(zhǔn)電壓源121、比較基準(zhǔn)電壓源122、設(shè)備電源123等構(gòu)成。
主控制器111通常由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成，主要根據(jù)使用者制作的測試程序來控制圖形發(fā)生器112和定時發(fā)生器113，從圖形發(fā)生器112產(chǎn)生圖形，波形格式化器114將該測試圖形數(shù)據(jù)變換為具有實(shí)際波形的測試圖形信號，通過電壓放大具有邏輯振幅基準(zhǔn)電壓源121設(shè)定的振幅值的波形的驅(qū)動器群116，將該測試圖形信號施加并存儲到被測試IC 119上。
被測試IC 119例如是IC存儲卡時，比較器組117比較從被測試IC 119讀出的響應(yīng)信號和比較基準(zhǔn)電壓源122提供的基準(zhǔn)電壓，判定邏輯電平(H邏輯電壓、L邏輯電壓)。邏輯比較器115比較判定的邏輯電平和從圖形發(fā)生器112輸出的期望值，在與期望值不一致時，判定為讀出電平的存儲器單元有錯誤，每次產(chǎn)生錯誤時把錯誤地址存儲在錯誤解析存儲器118中，在測試結(jié)束時，判定能否進(jìn)行例如錯誤單元的補(bǔ)救。
這里，定時發(fā)生器113規(guī)定對被測試IC 119提供的測試圖形信號的上升沿定時和下降沿定時的定時，以及規(guī)定邏輯比較器115中邏輯比較定時的選通脈沖的定時。
這些定時的每一個被記述在使用者制作的測試程序中，按照使用者計(jì)劃的定時來使被測試IC 119工作，可測試其工作是否正常。
使用圖12來說明定時發(fā)生器113和波形格式化器114的概況。圖12表示產(chǎn)生一個通道的測試圖形信號的波形格式化器和定時發(fā)生器的示意結(jié)構(gòu)。波形格式化器114可由S-R觸發(fā)器構(gòu)成，對其置位端子S和置位端子R提供置位脈沖PS和復(fù)位脈沖PR，按規(guī)定定時T1的上升沿、規(guī)定定時T2的下降沿來形成測試圖形信號TP。這里為簡便起見，將時鐘發(fā)生器113A、113B的輸出直接輸入到S-R觸發(fā)器，但實(shí)際上是按照波形圖形、圖形數(shù)據(jù)，以實(shí)時控制來將多個時鐘發(fā)生器的輸出連接到S-R觸發(fā)器的分配。
置位脈沖PS和復(fù)位脈沖PR由一對時鐘發(fā)生器113A、113B產(chǎn)生。時鐘發(fā)生器113A、113B根據(jù)從延遲數(shù)據(jù)存儲器113C讀出的延遲數(shù)據(jù)DYS、DYR來規(guī)定產(chǎn)生置位脈沖PS和復(fù)位脈沖PR的定時。
根據(jù)地址計(jì)數(shù)器113D提供的地址信號來訪問延遲數(shù)據(jù)存儲器113C。地址計(jì)數(shù)器113D從測試開始起每一個測試周期TSRAT產(chǎn)生將地址步進(jìn)+1的地址信號，對測試期間中的每一個測試周期TSRAT分配地址，讀出在每個測試周期TSRAT中設(shè)定的延遲數(shù)據(jù)，將該延遲數(shù)據(jù)設(shè)定在時鐘發(fā)生器113A、113B內(nèi)，根據(jù)延遲數(shù)據(jù)產(chǎn)生置位脈沖PS和復(fù)位脈沖PR。
圖13表示其狀態(tài)。從規(guī)定測試周期TSRAT的額定時鐘RAT的例如上升沿的定時起按提供的延遲數(shù)據(jù)DYS1的定時來產(chǎn)生置位脈沖PS，從額定時鐘RAT的上升沿的定時起按延遲數(shù)據(jù)DYR1的延遲定時來產(chǎn)生復(fù)位脈沖PR，從置位脈沖PS起產(chǎn)生與置位脈沖PR的產(chǎn)生定時的時間差TPW對應(yīng)的脈沖寬度的測試圖形信號TP(參考圖13E)。置位脈沖PS和復(fù)位脈沖PR的設(shè)定分辨率以圖13B所示的時鐘CK的周期來規(guī)定。
通過以上可理解能夠以測試周期TSRAT內(nèi)任意的定時，即上升沿、下降沿來設(shè)定測試圖形信號TP。
接著說明比較器組117的操作。作為比較器組117的操作包括(a)以預(yù)定的定時比較并邏輯判定被測試IC 119輸出的響應(yīng)信號和預(yù)先確定的基準(zhǔn)電平，取入判定出的邏輯值的操作；(b)計(jì)測響應(yīng)輸出信號TX的上升沿或下降沿的定時的操作。
圖14表示(a)的操作狀況。(a)情況下，將選通脈沖STB的定時設(shè)定在響應(yīng)輸出信號TX應(yīng)到來的定時，取入設(shè)定選通脈沖STB的定時的響應(yīng)輸出信號TX的邏輯值。在圖14的例子中，由于在響應(yīng)輸出信號TX為H邏輯部分上設(shè)定選通脈沖STB，所以比較器取得如圖14D所示的邏輯判定結(jié)果的H邏輯。因此，如果該測試周期的期望值如圖14F所示是H，則邏輯比較器115中的邏輯比較結(jié)果判定為如圖14所示的OK(合格)。
圖15表示(b)的操作狀況。在測定響應(yīng)輸出信號TX的上升沿的定時和下降沿的定時情況下，比較器117提供的選通脈沖STB在測試周期TSRAT的范圍內(nèi)或在測試周期TSRAT的數(shù)倍范圍內(nèi)，對每個測試周期順序錯開選通脈沖STB的相位，變化用選通脈沖STB選通的比較器輸出的邏輯值，如圖14D所示，根據(jù)邏輯判定輸出的狀態(tài)反轉(zhuǎn)時的選通脈沖定時來判定響應(yīng)輸出信號的上升沿定時和下降沿定時。
根據(jù)參考上述圖11～15的說明，可以理解以往的一般IC測試裝置具有將測試圖形信號的發(fā)生定時設(shè)定為任意定時的功能，以及具有能夠測定被測試IC的響應(yīng)輸出信號TX的上升沿的定時和下降沿的定時的功能。
在以往的IC測試裝置中，實(shí)施使對被測試IC的各個管腳提供的測試圖形信號的相位一致的定時校正、以及使被測試IC輸出的響應(yīng)輸出信號與讀入IC測試裝置的相位一致的定時校正。
作為定時的校正方法，采用調(diào)整預(yù)先插入各個管腳的信號路徑中的可變延遲電路的延遲時間、根據(jù)該延遲時間來調(diào)整使各信號路徑的延遲時間一致的方法。
作為測定信號路徑的延遲時間的方法，可采用下面說明的2種方法。
(1)利用IC測試裝置具有的定時測定功能來測定在信號路徑上傳播的信號的反射時間，從該反射時間來計(jì)測信號路徑的傳播延遲時間的方法。
(2)使探針與安裝被測試IC的IC插座的每個管腳接觸，通過探針將IC插座的每個管腳上施加的校正脈沖提供給示波器，由示波器測定與具有基準(zhǔn)相位的信號的相位差，從該相位差來計(jì)測信號路徑的傳播延遲時間的方法。
根據(jù)上面(1)的計(jì)測方法，校正脈沖的反射波形品質(zhì)差。因此，由于檢測到反射波到來的檢測精度低，所以有與此相伴出現(xiàn)定時校正精度差的缺點(diǎn)。
根據(jù)上面(2)的計(jì)測方法，由于通過示波器來計(jì)測被測定信號與基準(zhǔn)信號的相位差，所以其測定精度高。因此，具有可進(jìn)行精度高的定時校正的優(yōu)點(diǎn)。
然而，(2)的計(jì)測方法可進(jìn)行校正的信號路徑受到具備可以將信號送到IC插座中的驅(qū)動器的信號路徑的限制，只有比較器的信號路徑在測定對象之外。因此，只有比較器的信號路徑必須利用上述(1)的反射波來計(jì)測信號路徑的經(jīng)過延遲時間。因此，盡管計(jì)測方法(2)的驅(qū)動器系統(tǒng)的定時校正精度高，但由于比較器系統(tǒng)的校正精度差，所以就整體而言，存在定時校正精度變差的缺點(diǎn)。
而且，根據(jù)上述(2)的方法，必須準(zhǔn)備對于IC測試來說完全不必要的示波器。即使在示波器中，用雙輸入型來輸出與兩個信號的相位差相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)，并將該數(shù)據(jù)送入到IC測試裝置，調(diào)整可變延遲電路的延遲時間結(jié)構(gòu)的示波器也是昂貴的。因此，由于僅為了定時校正而必須準(zhǔn)備昂貴的示波器，所以有經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)大的缺點(diǎn)。
本發(fā)明的目的是提供一種IC測試裝置的定時校正方法和具有執(zhí)行該定時校正方法的功能的IC測試裝置，其中，該IC測試裝置能降低定時校正的成本，而且無論是驅(qū)動器還是比較器都能進(jìn)行高精度定時校正。
本發(fā)明利用前述一般IC測試裝置原來具有的定時發(fā)生功能和定時計(jì)測功能來進(jìn)行自身的定時校正。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，使用具有基準(zhǔn)比較器的探針的IC測試裝置的定時校正方法包括下面的步驟(a)通過上述探針從外部依次有選擇地接觸到IC插座的各個管腳；(b)從上述IC測試裝置的驅(qū)動器向上述IC插座的各個管腳施加校正脈沖；(c)以提供給上述基準(zhǔn)比較器的基準(zhǔn)選通脈沖的定時來取入通過上述探針的上述基本比較器從上述驅(qū)動器向各個管腳施加的上述校正脈沖；(d)求上述校正脈沖的定時和上述基準(zhǔn)選通脈沖的定時的偏差；(e)調(diào)整上述驅(qū)動器的各個信號路徑上設(shè)置的可變延遲電路的延遲時間，使得上述偏差作為預(yù)定的值。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，使用具有基準(zhǔn)驅(qū)動器的探針的IC測試裝置的定時校正方法包括下面的步驟(a)通過上述探針從外部依次有選擇地接觸IC插座的各個管腳；(b)從上述探針的上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向上述IC插座的各個管腳施加基準(zhǔn)校正脈沖；(c)以提供給上述比較器的選通脈沖的定時取入通過上述IC測試裝置的各個比較器從上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向各個管腳施加的上述基準(zhǔn)校正脈沖；(d)求上述基準(zhǔn)校正脈沖的定時和上述選通脈沖的定時的偏差；(e)調(diào)整插入到上述選通脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述偏差作為預(yù)定的值。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，是一種這樣的IC測試裝置，包括驅(qū)動器，向?qū)?yīng)于安裝被測試IC的IC插座的各個管腳設(shè)計(jì)的被測試IC的輸入端子施加測試圖形信號；以及比較器，在選通脈沖的施加定時中取入向?qū)?yīng)于各個上述管腳設(shè)計(jì)的上述被測試IC的輸出端子輸出的響應(yīng)輸出信號的邏輯值；并且判定上述比較器取入的響應(yīng)信號是否與預(yù)定的期望值一致，測試上述被測試IC是否正常地工作，該IC測試裝置包括探針，依次有選擇地接觸上述IC插座的各個管腳；基準(zhǔn)比較器，裝載在上述探針上，以基準(zhǔn)選通脈沖的定時取入上述探針接觸的上述IC插座的管腳上所施加的信號；驅(qū)動器可變延遲電路，設(shè)置在各個上述驅(qū)動器的信號路徑上，調(diào)整提供給上述IC插座的管腳的信號的延遲時間；選通可變延遲電路，設(shè)置提供給各個上述比較器的選通脈沖的信號路徑上，調(diào)整上述選通脈沖的延遲時間；以及校正控制裝置，將上述基準(zhǔn)比較器取入的信號的邏輯值與期望值相比較，控制上述驅(qū)動器可變延遲電路，使得從上述驅(qū)動器向上述IC插座的管腳施加的校正脈沖的相位與上述基準(zhǔn)選通脈沖的基準(zhǔn)定時一致。
根據(jù)該發(fā)明，由于根據(jù)原來的IC測試裝置具備的定時測定功能來判定從IC插座取入到探針的校正脈沖的定時是否與基準(zhǔn)脈沖一致，所以在外部不需要特別昂貴的例如示波器那樣的工具。因此，可執(zhí)行廉價的定時校正。
此外，在本發(fā)明中，將基準(zhǔn)驅(qū)動器裝載在探針側(cè)，從該基準(zhǔn)驅(qū)動器向與探針接觸的IC插座的管腳施加具有基準(zhǔn)相位的校正脈沖。通過電纜等將該校正脈沖從IC插座的管腳取入到IC測試裝置的比較器中。
在IC測試裝置的比較器中使選通脈沖的相位依次移動，計(jì)測校正脈沖的定時。根據(jù)該定時計(jì)測結(jié)果來設(shè)置插入到選通脈沖的信號路徑中的可變延遲電路的延遲時間，使得校正脈沖的例如上升沿的定時與基準(zhǔn)定時一致，并結(jié)束比較器的定時校正。
這樣，由于本發(fā)明利用IC測試裝置具有的定時計(jì)測功能來執(zhí)行定時校正，所以不需要特別的工具。因此，具有定時校正需要的費(fèi)用少并且容易完成的優(yōu)點(diǎn)。
此外，由于本發(fā)明利用直接波作為測定信號路徑的傳播延遲時間的信號，從而計(jì)測結(jié)果精度高。因此，具有可進(jìn)行精度高的定時校正的優(yōu)點(diǎn)。
而且，本發(fā)明將探針裝載在自動位置確定裝置(機(jī)器人)上，通過該自動位置確定裝置使探針與IC插座的各個管腳自動地接觸。結(jié)果，具有可實(shí)現(xiàn)使定時校正自動化的優(yōu)點(diǎn)。
而且，本發(fā)明設(shè)置多個探針，提供同時并行進(jìn)行連接多個IC插座的驅(qū)動器和比較器等的定時校正的定時校正裝置，因此，具有可以大幅度地縮短校正所需要的時間的效果。
圖1是說明本發(fā)明的IC測試裝置的一個實(shí)施例的框圖。
圖2是探針的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一個例子的框圖。
圖3是說明本發(fā)明的校正方法的波形圖。
圖4是說明本發(fā)明的其它校正方法的框圖。
圖5是說明圖2所示的探針的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的其它例子的框圖。
圖6是說明圖5所示的實(shí)施例的變形例的框圖。
圖7是說明適用于圖6所示的實(shí)施例的校正用的短路墊片(short pad)斜視圖。
圖8是說明圖4所示的校正器控制器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的例子的框圖。
圖9是說明用于圖8所示的校正器控制器的可變延遲電路的操作定時圖。
圖10是說明構(gòu)成圖8所示的可變延遲電路的分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部的一個例子的框圖。
圖11是說明IC測試裝置整體結(jié)構(gòu)的框圖。
圖12是用于圖11所示的IC測試裝置的定時發(fā)生器的概略框圖；圖13是說明圖12所示的定時發(fā)生器的操作波形圖。
圖14是說明用于圖11所示的IC測試裝置的比較器的功能的一個例子的波形圖。
圖15是說明比較器功能的其它功能的波形圖。
圖1表示具有本發(fā)明的定時校正功能的IC測試裝置的一個實(shí)施例。順序說明該IC測試裝置的實(shí)施例以及本發(fā)明的定時校正方法。
在圖1中，100表示IC測試電路裝置，200表示測試頭，300表示本發(fā)明提出的探針，400表示支撐該探針300并進(jìn)行自動定位的自動定位裝置。
IC測試電路裝置100由定時/圖形發(fā)生器110、定時校正用延遲時間設(shè)定部120、管腳電路130和校正控制部140構(gòu)成。校正控制部140由定時判定器150和可變延遲電路DY1、DY2構(gòu)成。在本發(fā)明中示出特別設(shè)計(jì)的定時判定器。
測試頭200由母板201、設(shè)置在母板201上部的插座板202、安裝在該插座板202上的IC插座203構(gòu)成。管腳電路130也可以構(gòu)成在母板201上。示出具有以下結(jié)構(gòu)的情況在校正時IC插座203的表面上安裝接觸板204來替代被測試IC(圖中未特別示出)，將IC插座203的各個管腳與排列在接觸板204的表面上形成的接觸墊塊(圖中未示出)對應(yīng)電連接，通過接觸板204使IC插座203的各個管腳與探針300接觸。因此圖1表示定時校正中的狀態(tài)。
以往，探針僅由單獨(dú)的接觸端子構(gòu)成，將連接到探針300的電纜301連接到示波器(圖中未示出)，用探針300取出從設(shè)置在管腳電路130上的驅(qū)動器DR輸出的校正脈沖，通過電纜301輸入到示波器來測定校正脈沖的相位。
本發(fā)明的特征在于不使用示波器，如參考圖2所述，采用這樣的結(jié)構(gòu)在探針300內(nèi)設(shè)置基準(zhǔn)驅(qū)動器和基準(zhǔn)比較器，用基準(zhǔn)比較器取出從管腳電路130的各個驅(qū)動器DR輸出的校正脈沖的相位，用定時判定器140來判定定時的延遲、超前，根據(jù)該判定來控制可變延遲電路DY的延遲量，使得與定時一致。
此外，定時/圖形發(fā)生器110向探針300提供具有基準(zhǔn)定時的基準(zhǔn)校正脈沖，通過探針300的基準(zhǔn)驅(qū)動器將該基準(zhǔn)校正脈沖輸入到設(shè)置在管腳電路130上的比較器CP，通過使施加到比較器CP的選通脈沖的施加定時與該基準(zhǔn)校正脈沖的上升沿的定時(一般在上升延的50％的位置)一致，來完成比較器CP的定時校正。
圖1僅表示一個IC插座203，但在插座板202上可安裝例如12個、24個或48個左右的IC插座，在這些IC插座203的每一個上同時安裝被測試IC，并且同時測試多個IC。
圖2表示本發(fā)明提出的探針300的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一例。探針300被裝載在自動定位裝置400上，沿著插座板202的板面在X-Y方向移動，在目標(biāo)管腳位置(接觸板204的表面上形成的電氣墊片的位置)使探針300向著Z方向(與接觸板204的板面垂直的方向)移動，使在探針300上突出設(shè)置的簧片觸點(diǎn)302、303與作為目的地的電氣墊片接觸。在該圖的例子中，簧片觸點(diǎn)302是與地電位接觸的觸點(diǎn)，而303是與信號線接觸的簧片觸點(diǎn)。
信號線接觸的觸點(diǎn)303被連接到設(shè)置在探針300的內(nèi)部的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸出端子和基準(zhǔn)比較器CP-RF的輸入端子。將基準(zhǔn)校正脈沖供給線304連接到基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸入端子。將基準(zhǔn)比較器輸出線305連接到基準(zhǔn)比較器CP-RF的輸出端子。而且，將基準(zhǔn)選通脈沖供給線306連接到基準(zhǔn)比較器CP-RF的選通脈沖供給端子。
這些基準(zhǔn)校正脈沖供給線304、基準(zhǔn)比較器輸出線305和基準(zhǔn)選通脈沖供給線306作為電纜301捆綁起來，并被連接到IC測試電路裝置100，基準(zhǔn)校正脈沖供給線304和基準(zhǔn)選通脈沖供給線306如圖1所示通過校正控制部140的定時校正用可變延遲電路DY1、DY2被連接到定時/圖形發(fā)生器110。
將基準(zhǔn)比較器輸出線305連接到定時判定器150的另一個輸入端子，向該定時判定器150輸入基準(zhǔn)比較器CP-RF取入的邏輯值。從定時/圖形發(fā)生器110向定時判定器150的另一個輸入端子輸入期望值，將該期望值與基準(zhǔn)比較器的輸出進(jìn)行邏輯比較，判定從管腳電路130輸出的驅(qū)動器DR的輸出的定時是否與基準(zhǔn)定時一致。
具體地說，作為期望值，例如提供H邏輯值，如果基準(zhǔn)選通脈沖的定時的探針300的基準(zhǔn)比較器CP-RF的邏輯判定結(jié)果與期望值一致，定時判定器150就重復(fù)進(jìn)行僅使DY2的延遲量增加一定值，反復(fù)比較基準(zhǔn)選通脈沖的邏輯判定結(jié)果和期望值H。期望值H初始一致時，檢測基準(zhǔn)校正脈沖的定時，此時，將提供基準(zhǔn)選通脈沖的定時的可變延遲電路DY2的延遲量固定。例如，參照圖8如后面所述，在通過數(shù)字值來控制可變延遲電路DY2的延遲量時，將其相位(延遲量)的數(shù)字值寫入到延遲電路DY2的設(shè)定用存儲器(圖中未示出)，將寫入到該存儲器中的值設(shè)定在延遲電路DY2上。
下面說明管腳電路130的驅(qū)動器DR的路徑定時校正方法和比較器CP的路徑定時校正方法。在以下說明的校正作業(yè)之前，必須對裝載在探針300上的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸出定時和基準(zhǔn)比較器CP-RF的取入定時進(jìn)行校正。為此，可以將任何一方規(guī)定為基準(zhǔn)，來校正另一方，使得與該基準(zhǔn)一致。
例如，將基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF端作為基準(zhǔn)時，從基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF輸出校正脈沖，在圖2的例子中將該校正脈沖直接施加到基準(zhǔn)比較器CP-RF，可調(diào)整確定選通脈沖的延遲時間的可變延遲電路DY2(參考圖1)，使得選通脈沖的施加定時與校正脈沖的上升沿的邊緣(上升沿的50％的位置)一致。
相反，將基準(zhǔn)比較器CP-RF端作為基準(zhǔn)時，從基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF輸出校正脈沖，可調(diào)整確定校正脈沖的延遲時間的可逆延遲電路DY1(參考圖1)，使得校正脈沖的上升沿的邊緣(上升沿的50％的位置)與選通脈沖的施加定時一致。
無論采用哪個作為基準(zhǔn)，校正后二者輸出的定時和取入的定時都一致，以該定時來校正裝載在下面說明的管腳電路130上的驅(qū)動器DR和選擇器CP的定時。
首先，說明管腳電路130上裝載的選擇器CP的校正方法。此時，定時/圖形發(fā)生器110對基準(zhǔn)校正脈沖供給線304按圖3A所示的測試循環(huán)周期TSRAT反復(fù)輸出圖3B所示的基準(zhǔn)校正脈沖PA。該基準(zhǔn)校正脈沖PA(圖3B)通過電纜301被送入到探針300，通過裝載在探針300上的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF和簧片觸點(diǎn)303提供給測試頭200，從測試頭200輸入到管腳電路130的選擇比較器CP。
在比較器CP中，通過使可變延遲電路DY4(DY6)每次增加(或減少)一定量、使可變延遲電路DY4、DY6每次增加(或減少)一定延遲量，按每個測試循環(huán)依次錯開選通脈沖STB的相位來執(zhí)行與基準(zhǔn)電壓VREF的比較(圖3C)，比較結(jié)果的邏輯值確定反轉(zhuǎn)的選通STR-J的相位(延遲量)。由此，正確地校正提供給該比較器CP的選通脈沖STB的延遲時間J(即比較器CP的比較定時)，使得反轉(zhuǎn)各個比較器計(jì)測的校正脈沖PA的定時J(設(shè)定為提供給比較器CP的基準(zhǔn)電壓VREF的值的50％的振幅，在振幅的50％位置處比較器CP的比較輸出(圖3D))的定時J與基準(zhǔn)校正脈沖PA的定時t一致(J＝t)。由此，結(jié)束比較器CP的校正。此時，50％的判定是一定期間內(nèi)的反復(fù)判定結(jié)果，可根據(jù)H、L的概率分別為50％來進(jìn)行。
接著，說明裝載在管腳電路130上的驅(qū)動器DR的校正方法。此時，定時/圖形發(fā)生器110通過可變延遲電路DY3、DY5對各個驅(qū)動器DR在每個測試周期反復(fù)提供設(shè)置為同一相位的校正脈沖。各個驅(qū)動器DR將該校正脈沖送入到測試頭200中。
在測試頭200中，通過形成在接觸板204的面上形成的導(dǎo)電墊片，由探針300選擇并送入從要校正的驅(qū)動器DR送來的校正脈沖。探針300取入的校正脈沖利用探針300上裝載的結(jié)構(gòu)的基準(zhǔn)比較器CP-RF按基準(zhǔn)相位設(shè)定的基準(zhǔn)選通脈沖來中斷，如果設(shè)定可變延遲電路DY3或DY5的延遲時間，則驅(qū)動器DR的路徑的定時校正結(jié)束，使得基準(zhǔn)選通脈沖的施加定時和校正脈沖的例如上升沿的50％位置處定時判定器140的邏輯判定結(jié)果被反轉(zhuǎn)。同樣，上升沿的50％的位置的判定可以根據(jù)H和L的概率為50％來進(jìn)行。
圖4是說明其它校正方法的實(shí)施例，塊110、120、130、140的結(jié)構(gòu)與圖1對應(yīng)的探針結(jié)構(gòu)相同。圖4所示的定時校正方法確定對每一個IC插座203提供基準(zhǔn)定時的基準(zhǔn)管腳P-RF(IC插座的任何一個管腳都可作為基準(zhǔn)管腳)，使探針300接觸到與該基準(zhǔn)管腳P-RF對應(yīng)的接觸板204上的接觸墊片(在該圖中以與基準(zhǔn)管腳相同的P-RF表示)，從管腳電路130的對應(yīng)的驅(qū)動器DR通過基準(zhǔn)管腳P-RF將校正脈沖提供到探針300，由探針300的基準(zhǔn)比較器CP-RF來測定校正脈沖的定時，將該定時確定為基準(zhǔn)定時(即控制延遲電路DY2并確定基準(zhǔn)選通脈沖的定時)。接著，對各個管腳控制與該驅(qū)動器對應(yīng)的可變延遲電路的延遲量，使得從驅(qū)動器DR對探針300提供的校正脈沖的定時與基準(zhǔn)比較器CP-RF取入的定時一致。對于所述基準(zhǔn)比較器CP-RF的取入的定時，提供給基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的基準(zhǔn)校正脈沖的定時可將預(yù)先測定的基準(zhǔn)比較器和基準(zhǔn)驅(qū)動器之間的相位差相加來確定。將該定時確定為基準(zhǔn)定時，接著對于其它管腳，經(jīng)可變延遲電路DY4、DY6使從探針300提供的校正脈沖與對應(yīng)的比較器CP取入的定時一致來進(jìn)行校正。
采用這種校正方法時，若以規(guī)定為基準(zhǔn)管腳P-RF的管腳例如驅(qū)動器作為基準(zhǔn)，則以規(guī)定為基準(zhǔn)的管腳的驅(qū)動器DR的初始延遲時間來校正其它管腳的驅(qū)動器的延遲時間。也可通過把各個管腳的比較器CP取入的定時與開始規(guī)定為基準(zhǔn)的管腳的驅(qū)動器DR的延遲時間進(jìn)行校正，使該IC插座內(nèi)的各個管腳的驅(qū)動器和比較器雙方的延遲時間在一定條件下一致。
即使每一個IC插座上規(guī)定為基準(zhǔn)管腳的驅(qū)動器的延遲時間有誤差時，該誤差對IC的測試也完全不會產(chǎn)生影響。即，只要被測試IC的管腳之間彼此沒有相位差，則對測試完全不產(chǎn)生影響。必要的是來自被測試IC的管腳位置的驅(qū)動器的施加測試圖形的定時一致，對應(yīng)于響應(yīng)信號的管腳位置的比較器取入的定時一致，這些相位(延遲)的大小不是問題。因此，不特定基準(zhǔn)管腳，可以對于任一固定的基準(zhǔn)定時相對地確定驅(qū)動器的定時，同樣，對于任一固定的基準(zhǔn)定時也相對確定比較器的定時。
例如，由DY1、DY2將基準(zhǔn)校正脈沖的定時和基準(zhǔn)選通脈沖的定時固定為任意值，調(diào)整延遲電路DY3、DY5，使得來自管腳電路130的各個驅(qū)動器的校正脈沖的定時與基準(zhǔn)比較器CP-RF的定時相一致。對于比較器，從基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF對各個管腳提供基準(zhǔn)構(gòu)成脈沖，調(diào)整可變延遲電路DY4、DY6的延遲量，使得管腳電路130的各個比較器取入的定時(選通脈沖定時)與該基準(zhǔn)校正脈沖的定時一致。
圖4的實(shí)施例中表示下面情況的構(gòu)成在同一自動定位裝置400上裝載2個探針300A和300B，同時驅(qū)動2個探針300A和300B，并行執(zhí)行2個IC插座203的定時校正。此外，150表示校正器控制器。
圖5表示所述的各實(shí)施例的探針300的其它結(jié)構(gòu)例。將探針300相對的基準(zhǔn)選通脈沖供給線306和基準(zhǔn)校正脈沖供給線304兼用，選通脈沖施加時和校正脈沖施加時將繼電器開關(guān)RL2、RL3進(jìn)行切換。此外，有將圖1的校正控制部140內(nèi)的可變延遲電路DY1、DY2移動到探針300內(nèi)，探針300內(nèi)的溫度保持一定的情況。即，在這個例子中，表示這種情況在探針300上裝載向基準(zhǔn)比較器CP-RF的比較判定結(jié)果的取入用D型觸發(fā)器DFF提供基準(zhǔn)選通脈沖的可變延遲電路DY2、以及對雙方的信號提供共用延遲時間的可變延遲電路DY0，把這些各個可變延遲電路DY0、DY1、DY2和基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF和基準(zhǔn)比較器CP-RF以及D型觸發(fā)器DFF裝入在恒溫槽160中，將它們放置在一定溫度的環(huán)境中，根據(jù)溫度變化來抑制延遲時間的變動，從而進(jìn)行校正。161是將恒溫槽160的溫度控制在一定溫度的溫度控制器、162是加熱恒溫槽160的內(nèi)部的例如發(fā)射體、163是檢測出恒溫槽160的內(nèi)部的溫度的溫度傳感器。
164表示DA變換器。對該DA變換器164提供從IC測試電路裝置100送來的數(shù)字設(shè)定值，輸出設(shè)定基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF輸出的脈沖的振幅值的電壓VIH、VIL、以及對調(diào)整基準(zhǔn)比較器CP-RF輸出的檢測脈沖的上升沿、下降沿的延遲時間差的調(diào)整電路165提供的控制信號。即，該調(diào)整電路165被這樣設(shè)置通過設(shè)定在正相端和反相端上設(shè)置的規(guī)定電流電路的電流值，調(diào)整檢測脈沖的上升沿時接通的電路端和檢測脈沖的下降沿時接通的電路端的各空載電流，從而調(diào)整檢測脈沖的上升沿側(cè)和下降沿側(cè)的延遲時間，使該延遲時間合并為同一值。
166是控制繼電器RL1、RL2、RL3的繼電器控制電路。167表示監(jiān)測在簧片觸點(diǎn)303上施加的信號波形時的信號取出端子。通過將示波器連接到該信號輸出端子，可以監(jiān)測波形。
直到圖5的實(shí)施例表示了在探針300的內(nèi)部直接連接探針300上裝載的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸出端子、以及基準(zhǔn)比較器CP-RF的輸入端子來進(jìn)行校正的情況，但是由于這種結(jié)構(gòu)的情況將從共用簧片觸點(diǎn)303輸入的信號在分支點(diǎn)進(jìn)行分支并供給驅(qū)動器端和比較器端，所以在分支點(diǎn)發(fā)生反射，有因反射而引起波形惡化的危險。
此外，從基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF向基準(zhǔn)比較器CP-RF提供校正脈沖并對基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF和基準(zhǔn)比較器CP-RF的定時進(jìn)行校正時，由于校正不包括直至簧片觸點(diǎn)303的前端的信號經(jīng)過時間的狀態(tài)，所以運(yùn)一部分會產(chǎn)生誤差。
因此，在圖6表示的探針300的例子中，表示這樣的情況將基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸出端子和基準(zhǔn)比較器CP-RF的輸入端子連接到分別設(shè)置的簧片觸點(diǎn)303A和303B，使得分別設(shè)置的簧片觸點(diǎn)303A和303B接觸到接觸板204來進(jìn)行校正。
因此，這種情況下，例如如圖7所示，在接觸板204上的任意位置設(shè)置短路墊片205，使簧片觸點(diǎn)303A和303B與接觸板204接觸而使簧片觸點(diǎn)303A和303B的前端短路，在這種狀態(tài)下可以進(jìn)行在探針300上裝載的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF和基準(zhǔn)比較器CP-RF的校正。
因此，根據(jù)圖6所示的實(shí)施例，由于基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF的輸出端和基準(zhǔn)比較器CP-RF的輸入端不存在分支點(diǎn)，所以不發(fā)生反射，可防止波形惡化。
而且，由于基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF和基準(zhǔn)比較器CP-RF的校正包括直至簧片觸點(diǎn)303A和303B的前端來進(jìn)行校正，所以使簧片觸點(diǎn)303A和303B的前端與接觸板204接觸來進(jìn)行校正，管腳電路130上的驅(qū)動器DR和比較器CP的校正條件一致，即使這一點(diǎn)也能提高校正精度。
圖5和圖6的實(shí)施例表示在探針300上裝載溫度控制器161、DA變換器164、繼電器控制電路166等的實(shí)例，但沒有必須一定在探針300上裝載它們的理由，可容易理解將其裝入構(gòu)成在如圖4所示的校正器控制器150中。
圖8是圖4所示的校正控制部140的具體結(jié)構(gòu)例。校正控制部140在這個例子中由校正·循環(huán)·控制器CALCON、可變延遲電路DY1，DY2和判定輸入到基準(zhǔn)比較器CP-RF的信號的定時與選通脈沖STB的定時是否一致的定時判定器150來構(gòu)成。
校正·循環(huán)·控制器CALCON在任何一個測試周期都生成控制是否執(zhí)行校正的控制信號?？勺冄舆t電路DY1和DY2由整數(shù)延遲時間發(fā)生部M和分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部PS以及門電路G構(gòu)成。
整數(shù)延遲時間發(fā)生部M例如可由移位寄存器和選擇并取出該移位寄存器的各級的輸出的選擇器來構(gòu)成。通過移位寄存器使規(guī)定測試周期TS的滯后時鐘RAT同步于基準(zhǔn)時鐘RFL的周期并被延遲，在設(shè)定的延遲數(shù)據(jù)DAT1或DAT2中的基準(zhǔn)時鐘RFL的周期的整數(shù)倍的時間對應(yīng)的時間后，由選擇器從輸出的級取出滯后時鐘RAT，將該延遲的滯后時鐘RAT輸入到柵極G的一個輸入端子，作為門信號。
分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部PS由使基準(zhǔn)時鐘RFL的相位以高分辨率相位移動的電路構(gòu)成，生成具有對應(yīng)于比延遲數(shù)據(jù)DAT1和DAT2中的基準(zhǔn)時鐘RFL的一個周期小的值的分?jǐn)?shù)值的延遲時間(相位移動量)的脈沖串。
門電路G在整數(shù)延遲時間發(fā)生部M生成的門信號中提出分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部PS生成的脈沖串中的對應(yīng)脈沖，輸出提供對應(yīng)于延遲數(shù)據(jù)DAT1和DAT2的延遲時間的校正脈沖CALP和選通脈沖STB。
圖9表示其狀態(tài)。圖9A表示基準(zhǔn)時鐘RFL，圖9B表示滯后時鐘RAT。整數(shù)延遲時間發(fā)生部M生成將滯后時鐘RAT延遲基準(zhǔn)時鐘RFL的一個周期T的整數(shù)倍的時間(在該圖的例子中是3T)的整數(shù)延遲脈沖(圖9C)。
將該整數(shù)延遲脈沖和分?jǐn)?shù)延遲脈沖(圖9E)輸入到門電路G1或G2，通過整數(shù)延遲脈沖來提取分?jǐn)?shù)延遲脈沖，得到具有將分?jǐn)?shù)延遲量Φ相加到整數(shù)延遲時間3T所得的延遲時間3T+Φ的脈沖(圖9F)。將該脈沖輸入到裝載在探針300上的基準(zhǔn)驅(qū)動器DR-RF或基準(zhǔn)比較器CP-RF，作為校正CALP或選通脈沖STB。
在圖9的例子中，表示將如圖9C所示的整數(shù)延遲脈沖與分?jǐn)?shù)延遲脈沖進(jìn)行同步，使相位一致(圖9D)，使得用門電路G1、G2在整數(shù)延遲脈沖的中央部分對分?jǐn)?shù)延遲脈沖進(jìn)行門控的情況。
圖10表示分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部PS的實(shí)施例。該實(shí)施例表示由電壓控制振蕩器VCO、一對分頻器DVD1和DVD2、相位比較器PHD、模擬加法器ADD、低通濾波器FIL、向模擬加法器ADD提供相位移動電壓VS的DA變換器DAC來構(gòu)成。
這個電路一般由公知的鎖相環(huán)(PLL)來構(gòu)成。對輸入端子Tin輸入基準(zhǔn)時鐘RFL，根據(jù)需要用分頻器DVD1進(jìn)行分頻，將其分頻輸出輸入到相位比較器PHD的一個輸入端子。
分頻器DVD2對電壓控制振蕩器VCO的振蕩信號進(jìn)行分頻率，并將該分頻輸出輸入到相位比較器PHD的另一個輸入端子。使分頻器DVD1和DVD2的分頻比相等。因此，將輸入到相位比較器PHD的信號的頻率設(shè)定得相同，相位比較器PHD比較該同一頻率的信號的相位差，將該相位比較輸出提供給模擬加法器ADD的一個輸入端子。
從DA變換器DAC對模擬加法器ADD的另一個輸入端子提供用于設(shè)定分?jǐn)?shù)延遲時間的控制電壓VS。將低通濾波器FIL連接到模擬加法器ADD的輸出端，取出經(jīng)低通濾波器FIL平滑化的電壓信號CV，將該電壓信號CV輸入到電壓控制振蕩器VCO的電壓控制端子，對電壓控制振蕩器VCO的振蕩相位進(jìn)行控制。
該鎖相環(huán)PLL構(gòu)成閉合環(huán)路，使得模擬加法器ADD的輸出為0。因此，保持與相位比較器PHD的輸出和DA變換器DAC的輸出之間相反極性的關(guān)系，維持同一值。
即，DA變換器DAC的輸出為0時，電壓控制振蕩器VCO輸出與基準(zhǔn)時鐘RFL同一相位的脈沖串，相位比較器PHD的輸出也為0V。DA變換器DAC的輸出產(chǎn)生例如1mV時，相位比較器PHD產(chǎn)生-1mV，使電壓控制振蕩器VCO從基準(zhǔn)時鐘RFL移動到產(chǎn)生-1mV的相位比較輸出的相位(延遲相位)。
因此，通過從DA變換器DAC輸入每次變化+1mV的電壓信號，電壓控制振蕩器VCO振蕩的脈沖串移動與每次-1mV的分辨率對應(yīng)的相位。相位比較器PHD的變換系數(shù)例如假設(shè)為1PS/1mV，則通過從DA變換器DAC輸入每次增加+1mV的信號，電壓控制振蕩器VCO振蕩的脈沖串相位在延遲方向上每次移動1PS的相位。
DA變換器DAC例如是12位DA變換器，假設(shè)最下位的輸出分辨率是1mV時，則輸出1mV～4096mV的電壓。因此，使電壓控制振蕩器VCO振蕩的脈沖串相位可以從與基準(zhǔn)時鐘RFL相同相位的狀態(tài)延遲到4096PS延遲的相位差。
通過使用鎖相環(huán)可在很寬的范圍內(nèi)使電壓控制振蕩器VCO振蕩的脈沖串的相位延遲，由于提取該脈沖串中的整數(shù)延遲時間產(chǎn)生的整數(shù)延遲時間所特定的脈沖來作為校正脈沖CALP或選通脈沖STB，所以利用保持高分辨率的原來的校正脈沖CALP或選通脈沖STB，可獲得定時精度高的校正脈沖CALP或選通脈沖STB。
如以上說明，根據(jù)本發(fā)明，由于IC測試電路裝置100利用可將原來裝備的信號的發(fā)生定時設(shè)定為規(guī)定定時的功能和測定輸入的信號的定時的功能，所以可廉價地制作定時校正裝置。而且，驅(qū)動器、比較器的任何一個的校正都利用直接波來校正，因此校正精度高。因此，優(yōu)點(diǎn)是提出了廉價且精度高的IC測試裝置的構(gòu)成裝置。
權(quán)利要求
1.一種使用具有基準(zhǔn)比較器的探針的IC測試裝置的定時校正方法，包括下面的步驟(a)上述探針從外部順序選擇地接觸IC插座的各個管腳；(b)從上述IC測試裝置的驅(qū)動器向上述IC插座的各個管腳施加校正脈沖；(c)以提供給上述基準(zhǔn)比較器的基準(zhǔn)選通脈沖的定時得到由上述探針的上述基本比較器從上述驅(qū)動器向各個管腳施加的上述校正脈沖；(d)求上述校正脈沖的定時和上述基準(zhǔn)選通脈沖的定時的偏差；(e)調(diào)整上述驅(qū)動器的各個信號路徑上設(shè)置的可變延遲電路的延遲時間，使得上述偏差作為預(yù)定的值。
2.如權(quán)利要求1所述的定時校正方法，上述探針還具有基準(zhǔn)驅(qū)動器，上述方法還包括下面的步驟(f)上述探針從外部順序選擇地接觸IC插座的各個管腳；(g)從上述探針的上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向上述IC插座的各個管腳施加基準(zhǔn)校正脈沖；(h)由上述IC測試裝置的各個比較器以提供給上述比較器的選通脈沖的定時得到從上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向各個管腳施加的上述基準(zhǔn)校正脈沖；(i)求上述基準(zhǔn)校正脈沖的定時和上述選通脈沖的定時的偏差；(j)調(diào)整插入上述選通脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述偏差作為預(yù)定的值。
3.如權(quán)利要求1或2所述的定時校正方法，還包括以下步驟在上述步驟(a)之前，預(yù)先調(diào)整插入上述基準(zhǔn)選通脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述基準(zhǔn)選通脈沖的定時與從上述IC插座的預(yù)定確定的基準(zhǔn)管腳提供的校正脈沖的定時一致。
4.如權(quán)利要求1或2所述的定時校正方法，還包括以下步驟在上述步驟(f)之前，預(yù)先調(diào)整插入上述基準(zhǔn)校正脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述基準(zhǔn)驅(qū)動器的基準(zhǔn)校正脈沖的定時與提供給對應(yīng)于上述IC插座的預(yù)先確定的基準(zhǔn)管腳的比較器的選通脈沖的定時一致。
5.如權(quán)利要求2所述的定時校正方法，還包括以下步驟在上述步驟(a)之前，調(diào)整插入上述基準(zhǔn)校正脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間和插入上述基準(zhǔn)選通脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間的其中一個，使得從上述基準(zhǔn)驅(qū)動器輸出的基準(zhǔn)校正脈沖的定時與提供給上述基準(zhǔn)比較器的基準(zhǔn)選通脈沖的定時一致。
6.一種使用具有基準(zhǔn)驅(qū)動器的探針的IC測試裝置的定時校正方法，包括下面的步驟(a)上述探針從外部順序選擇地接觸IC插座的各個管腳；(b)從上述探針的上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向上述IC插座的各個管腳施加基準(zhǔn)校正脈沖；(c)由上述IC測試裝置的各個比較器以提供給上述比較器的選通脈沖的定時得到從上述基準(zhǔn)驅(qū)動器向各個管腳施加的上述基準(zhǔn)校正脈沖；(d)求上述基準(zhǔn)校正脈沖的定時和上述選通脈沖的定時的偏差；(e)調(diào)整插入上述選通脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述偏差作為預(yù)定的值。
7.如權(quán)利要求6所述的定時校正方法，還包括以下步驟在上述步驟(a)之前，預(yù)先調(diào)整插入上述基準(zhǔn)校正脈沖的信號路徑中的定時校正用可變延遲電路的延遲時間，使得上述基準(zhǔn)驅(qū)動器的基準(zhǔn)校正脈沖的定時與提供給對應(yīng)于上述IC插座的預(yù)先確定的基準(zhǔn)管腳的比較器的選通脈沖的定時一致。
8.一種具有校正功能的IC測試裝置，包括驅(qū)動器，向?qū)?yīng)于安裝被測試IC的IC插座的各個管腳設(shè)置的被測試IC的輸入端子施加測試圖形信號；比較器，在選通脈沖的施加定時中取得向?qū)?yīng)于各個上述管腳設(shè)置的上述被測試IC的輸出端子輸出的響應(yīng)輸出信號的邏輯值；判定上述比較器取得的響應(yīng)信號是否與預(yù)定的期望值一致，測試上述被測試IC是否正常地動作，該IC測試裝置包括探針，順序選擇地接觸上述IC插座的各個管腳；基準(zhǔn)比較器，被裝載在上述探針上，以基準(zhǔn)選通脈沖的定時取得接觸上述探針的上述IC插座的管腳上所施加的信號；驅(qū)動器可變延遲電路，被設(shè)置在各個上述驅(qū)動器的信號路徑上，調(diào)整提供給上述IC插座的管腳的信號的延遲時間；選通可變延遲電路，被設(shè)置在對各個上述比較器提供選通脈沖的信號路徑上，調(diào)整上述選通脈沖的延遲時間；以及校正控制裝置，比較上述基準(zhǔn)比較器取得的信號的邏輯值與期望值，控制上述驅(qū)動器可變延遲電路，使得從上述驅(qū)動器向上述IC插座的管腳施加的校正脈沖的相位與上述基準(zhǔn)選通脈沖的基準(zhǔn)定時一致。
9.如權(quán)利要求8所述的IC測試裝置，上述探針還包括向上述IC插座的管腳施加基準(zhǔn)校正脈沖的基準(zhǔn)驅(qū)動器，上述校正控制裝置控制上述選通可變延遲電路，使得向上述IC插座的各個管腳提供的上述基準(zhǔn)校正脈沖的定時和提供給對應(yīng)于該管腳的上述比較器的選通脈沖的定時一致。
10.如權(quán)利要求9所述的IC測試裝置，包括基準(zhǔn)校正脈沖可變延遲電路，被設(shè)置在上述基準(zhǔn)驅(qū)動器的信號路徑上，調(diào)整上述基準(zhǔn)校正脈沖的定時；以及基準(zhǔn)選通脈沖可變延遲電路，被設(shè)置在上述基準(zhǔn)選通脈沖的信號路徑上，調(diào)整提供給上述基準(zhǔn)比較器的上述基準(zhǔn)選通脈沖的定時。
11.如權(quán)利要求10所述的IC測試裝置，其中，上述探針由在安裝上述IC插座的測試頭上在X、Y、Z方向上移動的自動定位裝置支持和移動，與上述IC插座的各個管腳自動接觸，執(zhí)行上述IC測試裝置的驅(qū)動器系統(tǒng)和比較器系統(tǒng)的各個定時校正。
12.如權(quán)利要求10所述的IC測試裝置，其中，設(shè)置多個上述探針，使這些多個探針的每一個自動與多個IC插座接觸，同時并行執(zhí)行與各個IC插座連接的驅(qū)動器系統(tǒng)和比較器系統(tǒng)的各個定時校正。
13.如權(quán)利要求11所述的IC測試裝置，其中，將上述探針上裝載的基準(zhǔn)驅(qū)動器的輸出端子和基準(zhǔn)比較器的輸入端子連接到分別設(shè)置的觸點(diǎn)上，通過獨(dú)立的觸點(diǎn)使基準(zhǔn)驅(qū)動器的輸出和基準(zhǔn)比較器的輸入與上述IC插座的各個管腳接觸而進(jìn)行定時校正。
14.如權(quán)利要求13所述的IC測試裝置，在上述觸點(diǎn)的移動面上設(shè)置短路墊片，該短路墊片使連接于上述基準(zhǔn)驅(qū)動器的輸出端子的觸點(diǎn)和連接于基準(zhǔn)比較器的輸入端子的觸點(diǎn)接觸并短路，通過短路墊片將從基準(zhǔn)驅(qū)動器輸出的基準(zhǔn)校正脈沖輸入到基準(zhǔn)比較器，校正基準(zhǔn)驅(qū)動器或基準(zhǔn)比較器的其中一個定時。
15.如權(quán)利要求8到14的任何一項(xiàng)所述的IC測試裝置，其中，設(shè)置調(diào)整電路，在上述探針上裝載的比較器的后級上，調(diào)整上述比較器輸出的檢測脈沖的上升沿、下降沿的延遲時間差。
16.如權(quán)利要求14所述的IC測試裝置，其中，上述定時校正用可變延遲電路由鎖相環(huán)、具有使構(gòu)成該鎖相環(huán)的電壓控制振蕩器的振蕩相位微細(xì)移動的加法裝置而構(gòu)成的分?jǐn)?shù)延遲時間發(fā)生部、產(chǎn)生具有對上述鎖相環(huán)提供的基準(zhǔn)頻率的脈沖串的脈沖周期的整數(shù)倍的延遲時間的整數(shù)延遲時間發(fā)生部來構(gòu)成。
17.如權(quán)利要求10到14的任何一項(xiàng)所述的IC測試裝置，其中，在上述探針上裝載恒溫槽，該恒溫槽內(nèi)裝入上述基準(zhǔn)驅(qū)動器、上述基準(zhǔn)比較器、上述基準(zhǔn)校正脈沖可變延遲電路和上述基準(zhǔn)選通脈沖可變延遲電路，將溫度保持在一定值。
全文摘要
一種IC測試裝置的定時校正精度高、廉價完成的定時校正方法,設(shè)有探針(300),可以接觸安裝被測試IC的IC插座(203)的各個管腳、取出提供給各個管腳的信號并向各個管腳提供校正脈沖,通過IC測試裝置具有的定時計(jì)測功能來計(jì)測該探針內(nèi)設(shè)置的基準(zhǔn)比較器(CP－RF)取出的校正脈沖的定時和從探針內(nèi)設(shè)置的基準(zhǔn)驅(qū)動器(DR－RF)向IC插座施加的基準(zhǔn)校正脈沖的定時,進(jìn)行定時校正。
文檔編號G01R31/28GK1370997SQ0111684
公開日2002年9月25日 申請日期2001年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月16日
發(fā)明者岡安俊幸, 關(guān)信介 申請人:株式會社愛德萬測試