光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種可作為棱鏡(包括平鏡)、透鏡和其他光學(xué)材料(如晶體材料)的標(biāo)準(zhǔn)檢測儀器，尤其涉及一種光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，屬于光學(xué)檢測設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉現(xiàn)象是光的波動性的最嚴(yán)格、最有效的證明，這個現(xiàn)象是由于兩束或多束光的重疊，使能量體密度在空間上規(guī)則分布的結(jié)果。光干涉測量方法作為檢測高精密光學(xué)元件和系統(tǒng)的最傳統(tǒng)、有效手段之一，已大量的應(yīng)用于科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)之中。在實際使用過程中，現(xiàn)階段干涉儀大多采用激光器作為照明光源，而激光器具有極強的時間和空間相干性，因此，在干涉檢測過程中，并不需要考慮干涉腔長的限制，就可以使干涉條紋具有良好的對比度，并且隨著電子與計算機技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)生的位相干涉檢測技術(shù)，使測量極限由傳統(tǒng)的λ/10提高了一個數(shù)量級以上，且具有很高的重復(fù)性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它雖然降低了干涉儀的使用難度，但由于光學(xué)干涉的極端靈敏性，在光學(xué)元件加工過程中產(chǎn)生的微觀坑點等缺陷與元件表面污染所產(chǎn)生的散射光會發(fā)生相干疊加，在干涉圖中會出現(xiàn)許多牛眼環(huán)或靶心等相干噪聲，它們在一定程度上改變了干涉圖的空間結(jié)構(gòu)，從而引起了被測面面型或波前形狀的測量誤差。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實用新型提供了一種光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，主要包括光源、第一透鏡、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡和第二透鏡，其中，分光鏡設(shè)置在中間位置，第一透鏡、第一反射鏡、第二反射鏡和第二透鏡分別設(shè)置在分光鏡的四周，第一透鏡和第二反射鏡設(shè)置在光源的發(fā)射方向，第一反射鏡和第二透鏡設(shè)置在垂直光源的發(fā)射方向上。
[0005]優(yōu)選的，光源為高相干性的激光光源。
[0006]優(yōu)選的，上述第一透鏡和第二透鏡為準(zhǔn)直透鏡。
[0007]優(yōu)選的，上述分光鏡與第一透鏡和第二反射鏡形成一定的傾斜角度設(shè)置。
[0008]優(yōu)選的，上述分光鏡上貼設(shè)有半反半透膜。
[0009]優(yōu)選的，上述待測光學(xué)元件設(shè)置在第二反射鏡的前側(cè)。
[0010]本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀可作為棱鏡(包括平鏡)、透鏡和其他光學(xué)材料(如晶體材料)的標(biāo)準(zhǔn)檢測儀器，測量精度高，其測量形式靈活多樣。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖標(biāo)記:1-光源；2_第一透鏡；3_分光鏡；4_待測光學(xué)元件；5_第一反射鏡；6-第二反射鏡；7_第二透鏡；8_相干干涉面。
【具體實施方式】
[0013]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細(xì)描述。
[0014]當(dāng)光源S不是擴展光源，而是以點光源經(jīng)透鏡準(zhǔn)直形成平面波時，就構(gòu)成了本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，如圖1所示。由于入射波是平面波，故呈等厚干涉，得到的是明暗相間的平行干涉條紋族。測量臂中置入待測光學(xué)元件或光學(xué)材料，則根據(jù)干涉條紋的彎曲情況既可形象又可嚴(yán)格定量的給出待測光學(xué)元件的加工精度或光學(xué)材料的不均勻性，或者其他光學(xué)參數(shù)。
[0015]如圖1所示，本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，主要包括光源1、第一透鏡
2、分光鏡3、第一反射鏡5、第二反射鏡6和第二透鏡7，其中，分光鏡3設(shè)置在中間位置，第一透鏡2、第一反射鏡5、第二反射鏡6和第二透鏡7分別設(shè)置在分光鏡3的四周，第一透鏡2和第二反射鏡6設(shè)置在光源1的發(fā)射方向，第一反射鏡5和第二透鏡7設(shè)置在垂直光源1的發(fā)射方向上。
[0016]其中，光源1為高相干性的激光光源。第一透鏡2和第二透鏡7為準(zhǔn)直透鏡。分光鏡3與第一透鏡2和第二反射鏡6形成一定的傾斜角度設(shè)置。分光鏡3上貼設(shè)有半反半透膜。待測光學(xué)元件4設(shè)置在第二反射鏡6的前側(cè)。
[0017]其工作原理是:光源1發(fā)出的光經(jīng)過第一透鏡2準(zhǔn)直后成為平行光，再經(jīng)過分光鏡3后分成兩束，一束經(jīng)過待測元件4到達第二反射鏡6后反射，另一束經(jīng)過第一反射鏡5后再反射回來再經(jīng)過分光鏡3透射后到達第二透鏡7，在相干干涉面8上形成干涉。
[0018]本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，由于采用相干性能優(yōu)良的激光光源，并應(yīng)用干涉圖的計算機圖像處理技術(shù)，可把其測量的精度提高到λ/50，特別是采用外差干涉技術(shù)，可使測量的精度達到λ/100。本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀可作為棱鏡(包括平鏡)、透鏡和其他光學(xué)材料(如晶體材料)的標(biāo)準(zhǔn)檢測儀器，其測量形式靈活多樣。
[0019]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:所述檢測儀主要包括光源(1)、第一透鏡(2)、分光鏡(3)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)和第二透鏡(7)，其中，分光鏡(3)設(shè)置在中間位置，第一透鏡(2)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)和第二透鏡(7)分別設(shè)置在分光鏡(3)的四周，第一透鏡(2)和第二反射鏡(6)設(shè)置在光源(1)的發(fā)射方向，第一反射鏡(5)和第二透鏡(7)設(shè)置在垂直光源(1)的發(fā)射方向上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:光源(1)為高相干性的激光光源。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:所述第一透鏡(2)和第二透鏡(7)為準(zhǔn)直透鏡。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:所述分光鏡(3)與第一透鏡(2)和第二反射鏡(6)形成一定的傾斜角度設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:所述分光鏡(3)上貼設(shè)有半反半透膜。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5之一所述的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，其特征在于:待測光學(xué)元件(4)設(shè)置在第二反射鏡出)的前側(cè)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀，主要包括光源(1)、第一透鏡(2)、分光鏡(3)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)和第二透鏡(7)，其中，分光鏡(3)設(shè)置在中間位置，第一透鏡(2)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)和第二透鏡(7)分別設(shè)置在分光鏡(3)的四周，第一透鏡(2)和第二反射鏡(6)設(shè)置在光源(1)的發(fā)射方向，第一反射鏡(5)和第二透鏡(7)設(shè)置在垂直光源(1)的發(fā)射方向上。本實用新型提供的光學(xué)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)檢測儀可作為棱鏡(包括平鏡)、透鏡和其他光學(xué)材料(如晶體材料)的標(biāo)準(zhǔn)檢測儀器，測量精度高，其測量形式靈活多樣。
【IPC分類】G01M11/02
【公開號】CN205067057
【申請?zhí)枴緾N201520276286
【發(fā)明人】林燕彬
【申請人】林燕彬
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年4月27日