專利名稱：清洗控制電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
清洗控制電路
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種清洗控制電路。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體硅片或其他類型硅片等元件的清洗多采用循環(huán)噴淋設(shè)備。設(shè)備運行時噴頭純水往噴淋槽內(nèi)的芯片進(jìn)行噴淋，當(dāng)噴淋一定時間后把噴淋槽內(nèi)的水放掉,再進(jìn)行下一次噴淋，因此元件清洗需進(jìn)行多次噴淋。但一般工業(yè)純水因工廠內(nèi)部大量設(shè)備使用，水壓都有一定的波動，當(dāng)水壓低時在噴淋時間內(nèi)噴淋槽內(nèi)的水不能覆蓋元件，導(dǎo)致元件清洗不干凈，水壓高時又會導(dǎo)致噴淋槽內(nèi)純水長時間漫過噴淋槽，導(dǎo)致水資源大量浪費。

實用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種能夠節(jié)省水資源的清洗控制電路。一種清洗控制電路，包括計數(shù)器、繼電器KS、計時器、噴水電磁閥、放水電磁閥、水位檢測模塊，其中，所述計數(shù)器并聯(lián)在電源的兩端，所述繼電器KS的常開開關(guān)與計數(shù)器的計數(shù)啟動并聯(lián)；所述計時器并聯(lián)在電源兩端，所述噴水電磁閥通過計時器的常開開關(guān)并聯(lián)在電源兩端，所述繼電器KS的電子線圈與噴水電磁閥并聯(lián)；所述水位檢測模塊并聯(lián)在電源兩端，水位檢測模塊還與計時器的復(fù)位端連接；所述放水電磁閥通過計時器的常閉開關(guān)與電源連接。優(yōu)選地，所述計時器為雙設(shè)定計時器。優(yōu)選地，所述計數(shù)器的常閉觸點與電源連接。優(yōu)選地，所述水位檢測模塊為電容式接近開關(guān)，所述電容式接近開關(guān)并聯(lián)在電源兩端，電容式接近開關(guān)的常開開關(guān)與計時器的復(fù)位端連接。優(yōu)選地，所述水位檢測模塊為氣壓傳感器，所述氣壓傳感器并聯(lián)在電源兩端，氣壓傳感器的常開開關(guān)與計時器的復(fù)位端連接。優(yōu)選地，還包括用于接入電源的電源開關(guān)，所述電源開關(guān)與計數(shù)器連接。優(yōu)選地，還包括用于起動電路循環(huán)執(zhí)行的起動開關(guān)，所述起動開關(guān)連接在所述電源開關(guān)與計數(shù)器之間。優(yōu)選地，還包括用于保持電路穩(wěn)定循環(huán)執(zhí)行的起動保持開關(guān)，所述起動保持開關(guān)為繼電器K1，繼電器Kl的常開開關(guān)與起動開關(guān)并聯(lián)，電磁線圈連接在起動開關(guān)與計數(shù)器之間。優(yōu)選地，所述清洗控制電路的電源電壓為IlOV或220V。上述清洗控制電路，通過水位檢測模塊，控制噴淋槽內(nèi)的水位高度,使水位覆蓋元件，但不會漫過噴淋槽，將元件清洗干凈的同時能夠節(jié)省水資源。
圖I為清洗控制電路的一個實施例的電路圖；圖2為清洗控制電路的另一個實施例的電路圖。
具體實施方式
如圖I所示，為清洗控制電路的原理圖，包括計數(shù)器10、繼電器KS、計時器20、噴水電磁閥50、放水電磁閥40、水位檢測模塊(圖未示)，其中，計數(shù)器10并聯(lián)在電源的兩端，繼電器KS的常開開關(guān)601與計數(shù)器10的計數(shù)啟動端1、3并聯(lián)；計時器20并聯(lián)在電源兩端，噴水電磁閥50通過計時器20的常開開關(guān)201并聯(lián)在電源兩端，繼電器KS的電子線圈602與噴水電磁閥50并聯(lián)；水位檢測模塊(圖未示)并聯(lián)在電源兩端，水位檢測模塊(圖未示)還與計時器20的復(fù)位端1、4連接；放水電磁閥40通過計時器20的常閉開關(guān)202與電源連接。計數(shù)器10并聯(lián)在電源的兩端，繼電器KS的常開開關(guān)601與計數(shù)器10的計數(shù)啟動端1、3并聯(lián)，繼電器KS的電子線圈602得電時，常開開關(guān)601吸合，計數(shù)器10的計數(shù)啟動端獲得閉合信號，計數(shù)器10計數(shù)。在本實施例中，計數(shù)器10的常閉觸點與電源連接。計時器20并聯(lián)在電源兩端，噴水電磁閥50通過計時器20的常開開關(guān)201并聯(lián)在電源兩端，繼電器KS的電子線圈602與噴水電磁閥50并聯(lián)。計時器20的常開開關(guān)201閉合時，噴水電磁閥50開始噴水清洗待清洗的元件。在本實施例中，計時器20為雙設(shè)定計時器。水位檢測模塊(圖未示)為電容式接近開關(guān)32，電容式接近開關(guān)32并聯(lián)在電源兩端，電容式接近開關(guān)32的常開開關(guān)322與計時器20的復(fù)位端1、4連接。電容式接近開關(guān)32到達(dá)常開開關(guān)322閉合條件時，常開開關(guān)322閉合，在本實施例中，閉合條件為噴淋槽水位達(dá)到電容式接近開關(guān)32的安裝位置。此時，計時器20的復(fù)位端獲得閉合信號，計時器20復(fù)位，計時器20的常開開關(guān)201回到原始位置，噴水電磁閥50停止噴水。在其他的實施例中，水位檢測模塊30還可以為氣壓傳感器，氣壓傳感器并聯(lián)在電源兩端，氣壓傳感器的常開開關(guān)與計時器20的復(fù)位端1、4連接。本實施例中，計數(shù)器10、計時器20以及電容式接近開關(guān)30或氣壓傳感器(圖未示)通過計數(shù)器10的常閉觸點與電源連接。這種清洗控制電路的工作過程如下計時器20通電后，常閉開關(guān)202得電，放水電磁閥40打開，開始向噴淋槽內(nèi)放水。同時計時器20開始計時，當(dāng)計時器20放水預(yù)設(shè)的時間達(dá)到后，計時器20的常開開關(guān)201閉合，常閉開關(guān)202斷開，放水電磁閥40關(guān)閉，噴水電磁閥50打開，開始噴水清洗待清洗的元件。同時，繼電器KS的電子線圈602得電，常開開關(guān)601吸合，計數(shù)器10的啟動端1、3獲得閉合信號，計數(shù)器10計數(shù)。當(dāng)噴水電磁閥50噴水到噴淋槽的水位到達(dá)電容式接近開關(guān)32安裝的位置后，電容式接近開關(guān)32開始動作，電容式接近開關(guān)32的常開開關(guān)322閉合，計時器20的復(fù)位端1、4獲得閉合信號，計時器20復(fù)位，計時器20的常閉開關(guān)202及常開開關(guān)201的觸點復(fù)位，放水電磁閥40打開，噴水電磁閥50關(guān)閉，從而重復(fù)上述工作過程。直至計數(shù)器10計數(shù)值達(dá)到設(shè)定值，計數(shù)器10的常閉開關(guān)斷開，從而結(jié)束整個清洗循環(huán)。[0030]基于上述所有實施例，如圖2所示，為另一個實施例清洗控制電路的電路圖。與圖I所示的清洗控制電路相比，圖2所示的清洗控制電路還包括用于接入電源的電源開關(guān)K、用于起動電路循環(huán)執(zhí)行的起動開關(guān)F及用于保持電路穩(wěn)定循環(huán)執(zhí)行的起動保持開關(guān)。電源開關(guān)K與計數(shù)器10連接。起動開關(guān)F連接在電源開關(guān)F與計數(shù)器10之間。起動保持開關(guān)為繼電器K1，繼電器Kl的常開開關(guān)與起動開關(guān)F并聯(lián)，電磁線圈連接在起動開關(guān)F與計數(shù)器10之間。上述所有實施例中，電路的電源電壓為IlOV或220V。上述清洗控制電路，通過水位檢測模塊，控制噴淋槽內(nèi)的水位高度,使水位覆蓋元件，但不會漫過噴淋槽，將元件清洗干凈的同時能夠節(jié)省水資源。以上所述實施例僅表達(dá)了本實用新型的一種或幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。因此，本實用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種清洗控制電路，其特征在于，包括計數(shù)器、繼電器KS、計時器、噴水電磁閥、放水電磁閥、水位檢測模塊， 其中，所述計數(shù)器并聯(lián)在電源的兩端，所述繼電器KS的常開開關(guān)與計數(shù)器的計數(shù)啟動端并聯(lián)； 所述計時器并聯(lián)在電源兩端，所述噴水電磁閥通過計時器的常開開關(guān)并聯(lián)在電源兩端，所述繼電器KS的電子線圈與噴水電磁閥并聯(lián)； 所述水位檢測模塊并聯(lián)在電源兩端，水位檢測模塊還與計時器的復(fù)位端連接； 所述放水電磁閥通過計時器的常閉開關(guān)與電源連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，所述計時器為雙設(shè)定計時器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，所述計數(shù)器的常閉觸點與電源連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，所述水位檢測模塊為電容式接近開關(guān)，所述電容式接近開關(guān)并聯(lián)在電源兩端，電容式接近開關(guān)的常開開關(guān)與計時器的復(fù)位端連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，所述水位檢測模塊為氣壓傳感器，所述氣壓傳感器并聯(lián)在電源兩端，氣壓傳感器的常開開關(guān)與計時器的復(fù)位端連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，還包括用于接入電源的電源開關(guān)，所述電源開關(guān)與計數(shù)器連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清洗控制電路，其特征在于，還包括用于起動電路循環(huán)執(zhí)行的起動開關(guān)，所述起動開關(guān)連接在所述電源開關(guān)與計數(shù)器之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，還包括用于保持電路穩(wěn)定循環(huán)執(zhí)行的起動保持開關(guān)，所述起動保持開關(guān)為繼電器K1，繼電器Kl的常開開關(guān)與起動開關(guān)并聯(lián)，電磁線圈連接在起動開關(guān)與計數(shù)器之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗控制電路，其特征在于，所述清洗控制電路的電源電壓為 IlOV 或 220V。
專利摘要一種清洗控制電路，包括計數(shù)器、繼電器KS、計時器、噴水電磁閥、放水電磁閥、水位檢測模塊，其中，所述計數(shù)器并聯(lián)在電源的兩端，所述繼電器KS的常開開關(guān)與計數(shù)器的計數(shù)啟動端并聯(lián)；所述計時器并聯(lián)在電源兩端，所述噴水電磁閥通過計時器的常開開關(guān)并聯(lián)在電源兩端，所述繼電器KS的電子線圈與噴水電磁閥并聯(lián)；所述水位檢測模塊并聯(lián)在電源兩端，水位檢測模塊還與計時器的復(fù)位端連接；所述放水電磁閥通過計時器的常閉開關(guān)與電源連接。上述清洗控制電路，通過水位檢測模塊，控制噴淋槽內(nèi)的水位高度，使水位覆蓋元件，但不會漫過噴淋槽，將元件清洗干凈的同時能夠節(jié)省水資源。
文檔編號G05B19/04GK202490797SQ20112054856
公開日2012年10月17日 申請日期2011年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月23日
發(fā)明者鄭維發(fā) 申請人:深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司