具有被動轉(zhuǎn)子的機器人驅(qū)動器的制造方法
【專利說明】具有被動轉(zhuǎn)子的機器人驅(qū)動器
[0001 ]本申請是申請?zhí)枮?01280055476.4，題為“具有被動轉(zhuǎn)子的機器人驅(qū)動器”的中國專利申請的分案申請。其母案申請日為2012年9月14日。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]示例性與非限定實施方式大體上涉及機器人驅(qū)動器并且更具體地說，涉及具有被動轉(zhuǎn)子的驅(qū)動器。
【背景技術(shù)】
[0003]用于半導(dǎo)體集成電路與平面面板顯示器的傳統(tǒng)制造技術(shù)通常包括通過全自動組合設(shè)備工具處理硅晶片與通常稱作為基板的玻璃面板。通常的組合設(shè)備工具可以包括具有載荷鎖定件與處理單元的真空室。此工具通常通過機器人操控器(機器人或基板傳送裝置)服務(wù)，機器人操控器從載荷鎖定件通過處理單元并且返回到載荷鎖定件來循環(huán)基板。另一個機器人可以定位在用作真空室的載荷鎖定件與通過外部傳送系統(tǒng)服務(wù)的標(biāo)準(zhǔn)加載端口之間的接口的大氣傳送單元中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]下面的
【發(fā)明內(nèi)容】
僅旨在是示例性的。
【發(fā)明內(nèi)容】
不是旨在限定權(quán)利要求的范圍。
[0005]根據(jù)一個方面，提供了示例基板傳送裝置，其包括:包括第一電機的驅(qū)動部分，其中第一電機包括定子與被動轉(zhuǎn)子；以及連接到第一電機的第一可移動臂組件?；鍌魉脱b置配置為以便第一可移動臂組件可定位在真空室中，被動轉(zhuǎn)子與真空室內(nèi)部的環(huán)境連通。
[0006]根據(jù)另一個方面，示例方法包括提供包括驅(qū)動部分與連接到驅(qū)動部分的第一可移動臂組件的基板傳送裝置，其中驅(qū)動部分包括含有定子與被動轉(zhuǎn)子的電機;并且將基板傳送裝置連接到真空室，其中第一可移動臂組件定位在真空室中，被動轉(zhuǎn)子與真空室內(nèi)部的環(huán)境連通。
[0007]根據(jù)另一個方面，不例基板傳送裝置包括:包括第一電機的驅(qū)動部分，其中第一電機包括定子與被動轉(zhuǎn)子;連接到第一電機的第一可移動臂組件；以及定位在定子與被動轉(zhuǎn)子之間的間隙中以將在被動轉(zhuǎn)子處的環(huán)境與在定子處的環(huán)境分開的氣體屏障。
【附圖說明】
[0008]在下面的描述中結(jié)合【附圖說明】了上述方面與其它特征，其中:
[0009]圖1是示例裝置的示意性剖視圖；
[0010]圖2是饋通件的示意圖；
[0011 ]圖3A是另一個饋通件的示意圖；
[0012]圖3B是另一個饋通件的示意圖；
[0013]圖3C是另一個饋通件的示意圖；
[0014]圖3D是另一個饋通件的示意圖；
[0015]圖4是連接到外殼的讀取頭的示意圖；
[0016]圖5是連接到外殼的讀取頭的另一個示例的示意圖；
[0017]圖6是連接到外殼的讀取頭的另一個示例的示意圖；
[0018]圖7是連接到外殼的讀取頭的另一個示例的示意圖；
[0019]圖8和圖9是連接到外殼的讀取頭的另一個不例的不意圖；
[0020]圖10和圖11是連接到外殼的讀取頭的另一個示例的示意圖；
[0021]圖12-圖19是多個分隔壁配置的不意圖；
[0022]圖20-圖23是具有定子封裝的多個定子和轉(zhuǎn)子組合的示意圖；
[0023]圖24示出了具有徑向場裝置的電機；
[0024]圖25示出了具有帶齒被動轉(zhuǎn)子的混合電機設(shè)計，定子相A與定子相B通過環(huán)永磁體分開；
[0025]圖26示出了具有軸向場設(shè)計的電機；
[0026]圖27示出了具有帶有被動轉(zhuǎn)子的無刷設(shè)計的電機；
[0027]圖28-圖29示出了具有帶齒的被動轉(zhuǎn)子的電機；
[0028]圖30-圖31示出了具有帶齒的被動轉(zhuǎn)子的電機；
[0029]圖32-圖33示出了具有帶齒的被動轉(zhuǎn)子的電機；
[0030]圖34-圖35示出了具有帶齒的被動轉(zhuǎn)子的電機;以及
[0031]圖36-圖37示出了具有帶齒的被動轉(zhuǎn)子的電機。
【具體實施方式】
[0032]參照圖1，示出了基板傳送裝置2的機器人驅(qū)動器10的示意圖。盡管參照真空機器人描述了機器人驅(qū)動器10，但是可以提供具有如公開的特征的任何適當(dāng)?shù)臋C器人驅(qū)動器(大氣或另外的)。驅(qū)動器10可以包括如前面公開或者這里公開的特征。除了優(yōu)選的實施方式或者公開的實施方式以外，本發(fā)明能夠具有其它實施方式并且以多種方式實施或執(zhí)行。因此，應(yīng)該理解的是發(fā)明不限于其應(yīng)用到在下面描述中闡述的或者在附圖中描述的構(gòu)造的細節(jié)與部件的布置。如果僅在這里描述了一個實施方式，其權(quán)利要求不限于此實施方式。此夕卜，其權(quán)利要求不應(yīng)被限制性地閱讀除非有清楚并且令人信服的證據(jù)證明某些排除、限制、或棄權(quán)。
[0033]圖1中示出了本發(fā)明的一個或多個實施方式的包括真空兼容直接驅(qū)動系統(tǒng)的示例機器人操縱器或裝置2。機器人操縱器可以構(gòu)建在框架101周圍，例如從凸耳或安裝裝置102懸置的鋁制突出部?？商鎿Q地，安裝裝置可以在框架101的一側(cè)上，在框架101的底部或者框架101可以以任何適其它適當(dāng)?shù)姆绞桨惭b?？蚣?01可以包括具有線性軸承104的一個或多個豎直軌道103以便對通過電機106經(jīng)由滾珠絲杠機構(gòu)107驅(qū)動的外殼105提供引導(dǎo)。為了簡便僅示出了一個軌道103。可替換地，可以通過直接附接到框架101或者以任何其它適當(dāng)可移動或不可移動方式耦合到框架101的線性電機驅(qū)動電機外殼105。如下面將要更加詳細地描述的，電機外殼105可以包括一個、兩個、三個、四個或更多個直接驅(qū)動單元。外殼105可以容納裝配有位置編碼器110和111的電機108、109。外殼105示出為示例性結(jié)構(gòu)，其中如下面將要更加詳細地描述的，外殼105可以具有相對于電機108、109以及位置編碼器110和111配置的部分。波紋管120可以用于適應(yīng)沿著豎直軌道103的電機105的運動，以使例如真空的電機108、109與編碼器110、111的可移動部件在其中操作的環(huán)境與例如大氣的外部環(huán)境分離。
[0034]在圖1的示例中，示出了每個都具有一個電機與一個編碼器的兩個直接驅(qū)動單元。然而，可以使用具有任何適當(dāng)數(shù)量電機與編碼器的任何適當(dāng)數(shù)量的直接驅(qū)動單元。如圖1中所示，反轉(zhuǎn)的服務(wù)回路222可以被用于將能量供給到直接驅(qū)動單元并且方便在直接驅(qū)動單元與諸如控制器224的機器人系統(tǒng)的其它部件之間發(fā)射信號?？商鎿Q地，可以使用常規(guī)的、非反轉(zhuǎn)服務(wù)回路226。如圖1中所示，上電機108可以驅(qū)動連接到機械臂的第一連桿114的中空外軸112。下電機109可以連接到可以經(jīng)由帶驅(qū)動件115耦合到第二連桿116的共軸的內(nèi)軸113。另一個帶裝置117可以用于在不考慮第一兩個連桿114和116的位置的情況下保持第三連桿118的徑向定向。這可以由于包括在第一連桿中的滑輪與連接到第三連桿的滑輪之間的1: 2的比率實現(xiàn)。第三連桿118可以形成可以承載例如半導(dǎo)體基板的有效載荷119的端部效應(yīng)器。應(yīng)該指出的是僅為示例性的目的示出了圖1的機械臂?？梢詥为毣蚪Y(jié)合地使用任何其它適當(dāng)?shù)谋蹤C構(gòu)或驅(qū)動機構(gòu)。例如，可以在單個機械操縱器或者具有多個操縱器的機械操縱器或任何適當(dāng)組合中使用根據(jù)本發(fā)明的一個或多個實施方式的多個直接驅(qū)動單元。這里，此單元可以沿著基本上相同的旋轉(zhuǎn)軸堆疊在不同的平面中，同心地定位在基本上相同平面中，布置在結(jié)合堆疊與同心布置的構(gòu)造中，或者以任何其它適當(dāng)?shù)姆绞桨ㄔ跈C械操縱器中。
[0035]本發(fā)明的一個或多個實施方式的真空兼容直接驅(qū)動系統(tǒng)可以包括殼體與具有定子與轉(zhuǎn)子的徑向場電機裝置，所述轉(zhuǎn)子布置在定子附近使得其可以相對于定子旋轉(zhuǎn)并且通過相對于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸基本上徑向的磁場與定子相互作用?？商鎿Q地，可以提供軸向場電機或徑向/軸向場電機的組合，或者其組合。定子可以包括基于相對于定子的轉(zhuǎn)子的相對位置通過適當(dāng)?shù)目刂破鞴┠艿囊唤M繞組。轉(zhuǎn)子可以包括一組具有交替極性的永磁體。
[0036]在示出的實施方式中，殼體可以將在殼體的外部上的大氣類型環(huán)境與殼體內(nèi)部的真空或者其它非大氣環(huán)境分開。如將要描述的，諸如編碼器讀取頭或定子的活動部件可以緊固到殼體和/或與殼體對接，例如，讀取頭或定子可以按壓到到殼體中或者另外地緊固到殼體以取消傳統(tǒng)的夾緊部件，并且如將要描述的，可以以諸如真空兼容環(huán)氧樹脂為基礎(chǔ)的灌封的適當(dāng)?shù)牟牧戏庋b，以限制部件到真空或者其它非大氣環(huán)境的滲氣。這里，封裝的部件可以是在真空、大氣或者其中封裝保護定子遠離環(huán)境，例如防止腐蝕、并且促進有效的熱移除的任何適當(dāng)?shù)沫h(huán)境中。封裝還可以將讀取頭或定子結(jié)合到外殼或者其它部件或者子部件，以相對于外殼進一步固定裝置。如將要參照圖2描述的，到繞組或讀取頭的的其它活動部件或者定子的繞組的引線可以穿過通過封裝密封的殼體的開口，由此消除了例如對單獨的真空饋通件的需要。可替換地，讀取頭或者定子可以被夾緊、螺栓連接或者以任何其它適當(dāng)?shù)姆绞礁浇拥綒んw，并且從大氣環(huán)境引到繞組或者讀取頭的其它活動部件或者定子的繞組的引線可以布線通過真空饋通件或者以任何其它適當(dāng)?shù)姆绞酱┻^殼體的壁，例如參照圖3A-圖3D描述的。
[0037]在圖2中，饋通件202示出為與外殼105對接，其中外殼105可以使第一環(huán)境204與第