本發(fā)明涉及開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，更具體地說(shuō)，特別涉及一種mo源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、隨著mocvd?設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用，作為配套設(shè)施之一的mo源瓶溫控裝置也越來(lái)越重要。mo源瓶是mo（metalorganic?source）源的專用包裝容器。

2、mocvd已經(jīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體材料和器件的關(guān)鍵設(shè)備和工藝，在開(kāi)啟mo源瓶時(shí)，源瓶?jī)?nèi)外的壓力不同，容易造成原料液體倒灌到流量控制器或者壓強(qiáng)控制器里面去，這樣就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器，這兩種儀器只能接觸氣體介質(zhì)而不是液體介質(zhì)，一旦接觸到液體介質(zhì)就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器。

3、于是，有鑒于此，針對(duì)現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)及缺失予以研究改良，提供一種mo源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，以期達(dá)到更具有更加適應(yīng)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種mo源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，以解決以上的問(wèn)題。

2、本發(fā)明一種mo源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，由以下具體技術(shù)手段所達(dá)成：

3、一種mo源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)，包括mo源瓶，所述mo源瓶的上端固定安裝有控制組件，所述控制組件的上端安裝有出氣管和進(jìn)氣管，所述控制組件的下端安裝有短管和長(zhǎng)管，

4、所述控制組件包括與mo源瓶固定連接的安裝殼，所述安裝殼的內(nèi)部滑動(dòng)安裝有第一安裝塊和第二安裝塊，所述第一安裝塊與安裝殼之間通過(guò)螺栓安裝，所述安裝殼上端和下端分別開(kāi)設(shè)有配合導(dǎo)氣槽組使用的連接氣槽組，所述安裝殼的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤的側(cè)壁安裝有旋鈕組件；

5、通過(guò)所述?mo?源瓶開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)開(kāi)啟mo?源瓶的順序如下，先轉(zhuǎn)動(dòng)第三閥組，再轉(zhuǎn)動(dòng)第一閥組，最后轉(zhuǎn)動(dòng)第二閥組，關(guān)閉源瓶的順序如下，先轉(zhuǎn)動(dòng)第二閥組，再轉(zhuǎn)動(dòng)第一閥組，最后轉(zhuǎn)動(dòng)第三閥組，以上每一步時(shí)間間隔2秒至20秒之間；

6、在開(kāi)啟之前狀態(tài)：第一閥組和第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設(shè)置，而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽平行設(shè)置；

7、開(kāi)啟狀態(tài)：先旋轉(zhuǎn)第三閥組，由于短管與液體沒(méi)有接觸，即使源瓶?jī)?nèi)外有壓強(qiáng)不一致，只要旋轉(zhuǎn)第三閥組并延時(shí)一段時(shí)間，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致，此時(shí)再旋轉(zhuǎn)第一閥組，mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去，這就避免了mo源瓶開(kāi)啟時(shí)的液體逆流和倒灌；

8、關(guān)閉前狀態(tài)：第一閥組、第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設(shè)置，而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽垂直設(shè)置；

9、關(guān)閉狀態(tài)：先旋轉(zhuǎn)第二閥組，這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致了，然后先旋轉(zhuǎn)第一閥組，最后在旋轉(zhuǎn)第三閥組，也同樣不會(huì)造成液體逆流和倒灌。

10、進(jìn)一步的，所述導(dǎo)氣槽組包括開(kāi)設(shè)于第一安裝塊外壁的第一豎槽、第二豎槽和橫槽，所述第三閥組安裝于第一豎槽的中間位置，所述第二閥組安裝于橫槽的中間位置，所述第一閥組安裝于第二豎槽的中間位置，所述第二安裝塊的外壁開(kāi)設(shè)的導(dǎo)氣槽組與第一安裝塊外壁的外壁的導(dǎo)氣槽組相同，所述連接氣槽組分別由開(kāi)設(shè)于安裝殼上端一側(cè)與進(jìn)氣管和第二豎槽連接的第一連接孔、開(kāi)設(shè)于安裝殼上端另一側(cè)與出氣管和第一豎槽連接的第二連接孔、開(kāi)設(shè)于安裝殼下端一側(cè)與長(zhǎng)管和第二豎槽連接的第三連接孔以及開(kāi)設(shè)于安裝殼下端另一側(cè)與短管和第一豎槽連接的第四連接孔組成；

11、所述第三閥組包括與第一安裝塊和第二安裝塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接的密封盤，所述密封盤的中間位置開(kāi)設(shè)有第一導(dǎo)氣孔，所述密封盤的一端中間位置固定連接有連接桿，所述連接桿貫穿第二安裝塊并與之轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連接桿的末端固定安裝有第一齒輪，所述第一閥組和第二閥組的結(jié)構(gòu)相同第三閥組，其中第二閥組中的第二導(dǎo)氣孔與第三閥組中的第一導(dǎo)氣孔相垂直；

12、在實(shí)際應(yīng)用中，通過(guò)可以相互可以連通的第一豎槽、第二豎槽和橫槽與第一閥組、第二閥組和第三閥組之間的相互配合使用，從而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽的通斷，從而避免第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓不平衡，而導(dǎo)致液體從長(zhǎng)管中流出，具體為，旋鈕組件旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)盤中的一段齒牙組帶動(dòng)第一齒輪旋轉(zhuǎn)，第一齒輪帶動(dòng)，第一齒輪帶動(dòng)密封盤旋轉(zhuǎn)90度，從而使第一導(dǎo)氣孔與第一豎槽連通或者關(guān)閉，同理第一閥組和第二閥組控制第二豎槽和橫槽的連通或者關(guān)閉，進(jìn)而在打開(kāi)時(shí)，保障第一豎槽、第二豎槽和橫槽之間的壓力平衡，避免液體從長(zhǎng)管中流出而損壞流量控制器或者壓強(qiáng)控制器。

13、進(jìn)一步的，所述旋鈕組件包括與旋轉(zhuǎn)盤固定連接的旋轉(zhuǎn)體，所述旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)部為空心設(shè)置，所述旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)部滑動(dòng)安裝有滑塊，所述滑塊的一端設(shè)置有復(fù)位彈簧，所述滑塊的一端固定設(shè)置有固定桿，所述固定桿貫穿旋轉(zhuǎn)體并與之滑動(dòng)連接，所述安裝殼的外壁開(kāi)設(shè)有配合固定桿使用的弧形槽，所述弧形槽的內(nèi)部粘貼有橡膠片；

14、在實(shí)際應(yīng)用中，本旋鈕組件設(shè)置有固定桿和與之配合使用的弧形槽，當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候，當(dāng)?shù)谝婚y組、第二閥組和第三閥組發(fā)生旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，固定桿就會(huì)進(jìn)入弧形槽內(nèi)部，固定桿與橡膠片之間會(huì)增加摩擦力，從而為工作人員提供一種輕微的阻力，進(jìn)而提醒工作人員旋轉(zhuǎn)速90度，避免旋轉(zhuǎn)速90度過(guò)快，導(dǎo)致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓還未完成平衡就打開(kāi)，進(jìn)而導(dǎo)致液體從長(zhǎng)管中流出。

15、進(jìn)一步的，旋轉(zhuǎn)盤的內(nèi)壁固定設(shè)置有多組配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的齒牙組，每組所述齒牙能帶動(dòng)第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度，所述第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置；

16、在實(shí)際應(yīng)用中，齒牙組可以根據(jù)實(shí)際使用做出相對(duì)應(yīng)的改變，由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置，因此當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候，旋鈕組件帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)部的不同齒牙組分別帶動(dòng)相對(duì)應(yīng)的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度，進(jìn)而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部連通，從而有效的避免新人在操作中，因?yàn)樾o打開(kāi)順序出錯(cuò)，導(dǎo)致mo源瓶?jī)?nèi)部的液體從長(zhǎng)管內(nèi)部進(jìn)入控制組件、進(jìn)氣管和出氣管中，進(jìn)而避免液體進(jìn)入流量控制器或者壓強(qiáng)控制器內(nèi)部，導(dǎo)致流量控制器或者壓強(qiáng)控制器損壞。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下有益效果：

18、1、在開(kāi)啟之前狀態(tài)：第一閥組和第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設(shè)置，而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽平行設(shè)置；

19、開(kāi)啟狀態(tài)：先旋轉(zhuǎn)第三閥組，由于短管與液體沒(méi)有接觸，即使源瓶?jī)?nèi)外有壓強(qiáng)不一致，只要旋轉(zhuǎn)第三閥組并延時(shí)一段時(shí)間，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致，此時(shí)再旋轉(zhuǎn)第一閥組，mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去，這就避免了mo源瓶開(kāi)啟時(shí)的液體逆流和倒灌；

20、關(guān)閉前狀態(tài)：第一閥組、第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設(shè)置，而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽垂直設(shè)置；

21、關(guān)閉狀態(tài)：先旋轉(zhuǎn)第二閥組，這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致了，然后先旋轉(zhuǎn)第一閥組，最后在旋轉(zhuǎn)第三閥組，也同樣不會(huì)造成液體逆流和倒灌。

22、2、本旋鈕組件設(shè)置有固定桿和與之配合使用的弧形槽，當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候，當(dāng)?shù)谝婚y組、第二閥組和第三閥組發(fā)生旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，固定桿就會(huì)進(jìn)入弧形槽內(nèi)部，固定桿與橡膠片之間會(huì)增加摩擦力，從而為工作人員提供一種輕微的阻力，進(jìn)而提醒工作人員旋轉(zhuǎn)速90度，避免旋轉(zhuǎn)速度過(guò)快，導(dǎo)致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓還未完成平衡就打開(kāi)，進(jìn)而導(dǎo)致液體從長(zhǎng)管中流出。

23、3、齒牙組可以根據(jù)實(shí)際使用做出相對(duì)應(yīng)的改變，由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置，因此當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候，旋鈕組件帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)部的不同齒牙組分別帶動(dòng)相對(duì)應(yīng)的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度，進(jìn)而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部連通，從而有效的避免新人在操作中，因?yàn)樾o打開(kāi)順序出錯(cuò)，導(dǎo)致mo源瓶?jī)?nèi)部的液體從長(zhǎng)管內(nèi)部進(jìn)入控制組件、進(jìn)氣管和出氣管中，進(jìn)而避免液體進(jìn)入流量控制器或者壓強(qiáng)控制器內(nèi)部，導(dǎo)致流量控制器或者壓強(qiáng)控制器損壞。

24、本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目標(biāo)和特征將部分通過(guò)下面的說(shuō)明體現(xiàn)，部分還將通過(guò)對(duì)本發(fā)明的研究和實(shí)踐而為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所理解。