一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種開啟裝置，尤其是一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有等離子體處理裝置，大多是通過一簡單的結(jié)構(gòu)組件來實(shí)現(xiàn)上蓋板的成功開啟。通常是通過簡單的連接銷來實(shí)現(xiàn)開關(guān)上蓋板，下端采用螺栓實(shí)現(xiàn)其與腔體間的連接。通過該結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)上蓋板開關(guān)操作及其固定。
[0003]在上述工藝過程中，在開關(guān)上蓋板時，上蓋板會松動不固定，同時該連接組件與腔體間也存在松動，而這些都會造成上蓋板與密封圈、襯墊和腔體間產(chǎn)生摩擦，使得腔體上表面不平整，最終導(dǎo)致腔體的密封性不好，需要外力協(xié)助才能實(shí)現(xiàn)抽真空的操作。綜上所述，不論從設(shè)備維護(hù)本身還是操作方面，該結(jié)構(gòu)都亟需改進(jìn)。
[0004]目前，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，等離子體處理裝置需求不斷加大，傳統(tǒng)的上蓋板開啟結(jié)構(gòu)組件導(dǎo)致腔體損害及密封性變差的問題會越發(fā)顯著。因此，需要設(shè)計一種新型的上蓋板開啟結(jié)構(gòu)，準(zhǔn)確定位上蓋板，以避免上蓋板與密封圈、襯墊和腔體之間的摩擦，避免設(shè)備的損傷，改善腔體密封性能，以適應(yīng)技術(shù)不斷提高的需要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型是鑒于改善等離子體處理設(shè)備上蓋板開啟方式，其目的是提供一種可以實(shí)現(xiàn)避免磨損腔體的簡便開啟上蓋板的結(jié)構(gòu)。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，包括上鉸鏈和下鉸鏈，兩者通過定位連接銷連接。上鉸鏈與上蓋板固定連接，下鉸鏈與腔體的外壁固定連接。上鉸鏈上設(shè)有上定位孔，其下端的平面為上蓋板接觸面；下鉸鏈的上端設(shè)有下定位孔，其側(cè)面的平面為腔體接觸面，在腔體接觸面上設(shè)有固定銷軸。
[0007]優(yōu)選的，所述的固定銷軸為四個。
[0008]優(yōu)選的，所述的下鉸鏈上還設(shè)有定位銷。
[0009]本實(shí)用新型準(zhǔn)確定位上蓋板和腔體外壁，以避免上蓋板與密封圈、襯墊和腔體之間的摩擦，避免設(shè)備的損傷，改善腔體密封性能。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0012]如圖1所示:一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，包括上鉸鏈1和下鉸鏈2，兩者通過定位連接銷3連接。上鉸鏈1與上蓋板固定連接，下鉸鏈2與腔體的外壁固定連接。上鉸鏈1上設(shè)有上定位孔8，其下端的平面為上蓋板接觸面4 ;下鉸鏈2的上端設(shè)有下定位孔7，其側(cè)面的平面為腔體接觸面6，在腔體接觸面6上設(shè)有四個固定銷軸5。固定銷軸5與腔體的外壁固定定位，來實(shí)現(xiàn)下鉸鏈2與腔體外表面充分接觸，上鉸鏈1通過螺釘固定在上蓋板上并充分接觸，避免松動而引起上蓋板與腔體間的摩擦。
[0013]當(dāng)上蓋板需要開啟時，上鉸鏈1隨著上蓋板的開啟沿著定位連接銷3做逆時針轉(zhuǎn)動，當(dāng)上定位孔8與下定位孔7重合時，用定位銷9插入到上定位孔8和下定位孔7內(nèi)，實(shí)現(xiàn)定位，避免了上蓋板與腔體間松動，通過該結(jié)構(gòu)可以簡便打開上蓋板，同時也不會對腔體造成磨損。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，其特征在于:包括上鉸鏈和下鉸鏈，兩者通過定位連接銷連接；上鉸鏈與上蓋板固定連接，下鉸鏈與腔體的外壁固定連接；上鉸鏈上設(shè)有上定位孔，其下端的平面為上蓋板接觸面；下鉸鏈的上端設(shè)有下定位孔，其側(cè)面的平面為腔體接觸面，在腔體接觸面上設(shè)有固定銷軸。2.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，其特征在于:所述的固定銷軸為四個。3.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，其特征在于:所述的下鉸鏈上還設(shè)有定位銷。
【專利摘要】一種半導(dǎo)體等離子體處理裝置的上蓋板開啟裝置，包括上鉸鏈和下鉸鏈，兩者通過定位連接銷連接。上鉸鏈與上蓋板固定連接，下鉸鏈與腔體的外壁固定連接。上鉸鏈上設(shè)有上定位孔，其下端的平面為上蓋板接觸面；下鉸鏈的上端設(shè)有下定位孔，其側(cè)面的平面為腔體接觸面，在腔體接觸面上設(shè)有固定銷軸。本實(shí)用新型準(zhǔn)確定位上蓋板和腔體外壁，以避免上蓋板與密封圈、襯墊和腔體之間的摩擦，避免設(shè)備的損傷，改善腔體密封性能。
【IPC分類】H01J37/02
【公開號】CN205081087
【申請?zhí)枴緾N201520821306
【發(fā)明人】馬壯, 李思
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月22日